基本信息:
- 专利标题： 一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器
- 申请号：CN201910893549.0 申请日：2019-09-20
- 公开(公告)号：CN110501098B 公开(公告)日：2020-11-20
- 发明人： 程荣俊 , 李振阳 , 宋鹏程 , 黄强先 , 张连生 , 李瑞君 , 苗恩铭
- 申请人： 合肥工业大学
- 申请人地址： 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 专利权人： 合肥工业大学
- 当前专利权人： 合肥工业大学
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- 代理机构： 合肥金安专利事务所
- 代理人： 金惠贞
- 主分类号： G01L1/16
- IPC分类号： G01L1/16
摘要：
本发明公开了一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器，包括压力膜层和石英谐振层，压力膜层设置有两个压力膜和两个偏置凸台，用来传递待测压力；所述的石英谐振层上设置有弱耦合谐振系统和一对激励及检测电极，所述的弱耦合谐振系统包含两个双端固支石英梁和一根弱耦合梁，其中第一双端固支石英梁两端的锚点与压力膜层上的偏置凸台接合，用于承受由待测压力引起的压缩应力，所述的激励及检测电极用于驱动两双端固支石英梁发生谐振。利用两个石英梁振动不平衡所引起的模态局部化效应，并检测二者的振幅比作为输出量即可获取待测压力值。本发明解决了传统谐振压力传感器微压测量灵敏度低的难题，具有灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
公开/授权文献:
- CN110501098A 一种基于双压力膜和弱耦合谐振系统的高灵敏微压传感器 公开/授权日：2019-11-26
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01L | 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力 |
| ------G01L1/00 | 力或应力的一般计量 |
| --------G01L1/16 | .应用压电器件的性质 |