基本信息:
- 专利标题： 一种衬底及其加工方法、发光二极管及其制造方法
- 申请号：CN202310010419.4 申请日：2023-01-04
- 公开(公告)号：CN116169220A 公开(公告)日：2023-05-26
- 发明人： 张佳浩 , 周光权 , 曾柏翔 , 李瑞评 , 陈铭欣
- 申请人： 福建晶安光电有限公司
- 申请人地址： 福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园
- 专利权人： 福建晶安光电有限公司
- 当前专利权人： 福建晶安光电有限公司
- 当前专利权人地址： 福建省泉州市安溪县湖头镇横山村光电产业园
- 优先权： 2022111883652 20220927 CN
- 主分类号： H01L33/20
- IPC分类号： H01L33/20 ; H01L21/304 ; H01L21/66
摘要：
本发明的目的在于提供一种不对称面型衬底的加工方法、发光二极管及其制造方法。首先确定衬底所呈现的不对称面型，并确定所述不对称面型的不对称取向，在不对称取向上对衬底进行局部的喷砂处理，将该局部区域调凹，补偿衬底的应力分布，使所述衬底由不对称面型收敛为对称面型。呈现对称面型，例如碗型的衬底，对称面型的衬底有利于优化后续形成的外延层的波长均匀性。