基本信息:
- 专利标题： 用于检测快充电设备中的时间相关缺陷的装置和方法
- 申请号：CN202411949671.2 申请日：2019-09-13
- 公开(公告)号：CN119852153A 公开(公告)日：2025-04-18
- 发明人： 祃龙 , 任志榆 , 董仲华 , 张培磊 , 方伟 , 李川
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理人： 杨飞
- 优先权： 62/733,040 2018.09.18 US
- 分案原申请号： CN201980061018.3 2019.09.13
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; G01N23/2251 ; H01J37/26 ; H01L21/66
摘要：
公开了一种改进的带电粒子束检查装置，更具体地公开了一种用于检查晶片的粒子束装置，包括用于检测快充电缺陷的改进的扫描机构。一种改进的带电粒子束检查装置可以包括带电粒子束源，该带电粒子束源向晶片的区域传送带电粒子并且扫描该区域。改进的带电粒子束装置还可以包括控制器，该控制器包括电路以在时间序列内产生该区域的多个图像，对这些图像被比较以检测快充电缺陷。