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    • 11. 发明专利
    • 雙層輸送處理裝置與雙層輸送處理方法
    • 双层输送处理设备与双层输送处理方法
    • TW201628117A
    • 2016-08-01
    • TW104101829
    • 2015-01-20
    • 亞智科技股份有限公司MANZ TAIWAN LTD.
    • 江勳偉CHIANG, HSUN WEI蔡宗錡TSAI, TSUNG CHI丁啓民TING, CHI MIN呂國榮
    • B65G49/07H05K3/00
    • 本發明揭露一種雙層輸送處理裝置。雙層輸送處理裝置包括上滾輪組、下滾輪組、滾輪平台以及處理單元。下滾輪組設於上滾輪組之下。滾輪平台於上滾輪組與下滾輪組之間移動。處理單元設於下滾輪組的第三端部與第四端部之間。基板由上滾輪組的第一端部輸送至上滾輪組的第二端。滾輪平台承接由上滾輪組的第二端部所送來的基板,滾輪平台將基板下移並輸送至下滾輪組的第三端部。基板由下滾輪組的第三端部輸送至下滾輪組的第四端部,以將基板輸送至外界。處理單元對基板噴灑液體,以進行製程處理。此外,一種雙層輸送處理方法亦被提出。
    • 本发明揭露一种双层输送处理设备。双层输送处理设备包括上滚轮组、下滚轮组、滚轮平台以及处理单元。下滚轮组设于上滚轮组之下。滚轮平台于上滚轮组与下滚轮组之间移动。处理单元设于下滚轮组的第三端部与第四端部之间。基板由上滚轮组的第一端部输送至上滚轮组的第二端。滚轮平台承接由上滚轮组的第二端部所送来的基板,滚轮平台将基板下移并输送至下滚轮组的第三端部。基板由下滚轮组的第三端部输送至下滚轮组的第四端部,以将基板输送至外界。处理单元对基板喷洒液体,以进行制程处理。此外,一种双层输送处理方法亦被提出。
    • 15. 发明专利
    • 氣泡分離機構與氣泡分離方法、及其應用於含有藥液供給之製程機台
    • 气泡分离机构与气泡分离方法、及其应用于含有药液供给之制程机台
    • TW201609231A
    • 2016-03-16
    • TW103130848
    • 2014-09-05
    • 亞智科技股份有限公司MANZ TAIWAN LTD.
    • 林文勝LIN, WEN SHENG
    • B01D19/02
    • 本發明為一種氣泡分離機構及其方法,其包含有一腔體;一活塞,設於腔體的底面並且具有一初始高度;一第一通道,一端耦接腔體的側面並且相通於腔體,而第一通道設有一第一切換閥並且具有一第一高度;一第三通道,一端耦接腔體之側面並且相通於腔體,而第三通道具有一第二高度;一第二通道,一端耦接腔體之頂面並且相通於腔體,而第二通道設有一第二切換閥並且具有一第三高度,而初始高度、第一高度、第二高度與第三高度分別為活塞頂部表面、第一通道中心、第二通道與第三通道中心距離地面之垂直距離,而第二高度大於第一高度,第一高度大於或等於第三高度,第三高度大於初始高度,其中因進入腔體中之流體具有第一高度的高度差,使其具有的位能差轉換成存於腔體中流體內的分子動能,以使流體中的氣泡移動至液面的效率增加,提升氣泡分離的效率。
    • 本发明为一种气泡分离机构及其方法,其包含有一腔体;一活塞,设于腔体的底面并且具有一初始高度;一第一信道,一端耦接腔体的侧面并且相通于腔体,而第一信道设有一第一切换阀并且具有一第一高度;一第三信道,一端耦接腔体之侧面并且相通于腔体,而第三信道具有一第二高度;一第二信道,一端耦接腔体之顶面并且相通于腔体,而第二信道设有一第二切换阀并且具有一第三高度,而初始高度、第一高度、第二高度与第三高度分别为活塞顶部表面、第一信道中心、第二信道与第三信道中心距离地面之垂直距离,而第二高度大于第一高度,第一高度大于或等于第三高度,第三高度大于初始高度,其中因进入腔体中之流体具有第一高度的高度差,使其具有的位能差转换成存于腔体中流体内的分子动能,以使流体中的气泡移动至液面的效率增加,提升气泡分离的效率。