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1. 发明专利

TWI473904B 用於使化學液與基板表面均勻反應之方法及其設備有权
简体标题：用于使化学液与基板表面均匀反应之方法及其设备
公开(公告)号：TWI473904B
公开(公告)日：2015-02-21
申请号：TW101135758
申请日：2012-09-28
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：陳立凱 , CHEN, LI KAI , 游柏清 , YU, PO CHING , 穆勒約阿希姆利奧波德路德維希 , 陳傳宜 , CHEN, CHUAN YI , 藍受龍 , LAN, SHOU LONG
IPC分类号： C23C18/02
CPC分类号： B01F11/0022 , B01F11/0025 , B01F15/065

2. 发明专利

TWI580061B 化學濕製程方法有权
简体标题：化学湿制程方法
公开(公告)号：TWI580061B
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：TW103136724
申请日：2014-10-23
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：王春雅 , WANG, CHUEN YA , 陳立凱 , CHEN, LI-KAI , 藍受龍 , LAN, SHOU-LONG , 陳家達 , CHEN, CHIA-TA
IPC分类号： H01L31/042 , H01L21/306
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521

3. 发明专利

TW201413050A 用於使化學液與基板表面均勻反應之方法及其設備审中-公开
简体标题：用于使化学液与基板表面均匀反应之方法及其设备
公开(公告)号：TW201413050A
公开(公告)日：2014-04-01
申请号：TW101135758
申请日：2012-09-28
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：陳傳宜 , CHEN, CHUAN YI , 游柏清 , YU, PO CHING , 藍受龍 , LAN, SHOU LONG , 陳立凱 , CHEN, LI KAI
IPC分类号： C23C18/02
CPC分类号： B01F11/0022 , B01F11/0025 , B01F15/065
摘要：一種用於使化學液與基板表面均勻反應之方法及其設備，用以供一化學反應盒進行化學反應；該設備至少包括一輸送單元，輸送單元又包含複數由橫向排列之旋轉體所構成，以對上述化學反應盒提供一輸送方向進行橫向往復之輸送；其中，各旋轉體對上述化學反應盒進行橫向往復之輸送中，係以一相對所述輸送方向為側向搖晃手段而與化學反應盒接觸。
简体摘要：一种用于使化学液与基板表面均匀反应之方法及其设备，用以供一化学反应盒进行化学反应；该设备至少包括一输送单元，输送单元又包含复数由横向排列之旋转体所构成，以对上述化学反应盒提供一输送方向进行横向往复之输送；其中，各旋转体对上述化学反应盒进行横向往复之输送中，系以一相对所述输送方向为侧向摇晃手段而与化学反应盒接触。

4. 发明专利

TW201616668A 藥液回收設備及其系統與方法审中-公开
简体标题：药液回收设备及其系统与方法
公开(公告)号：TW201616668A
公开(公告)日：2016-05-01
申请号：TW103136723
申请日：2014-10-23
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：王春雅 , WANG, CHUEN YA , 陳傳宜 , CHEN, CHUAN-YI , 藍受龍 , LAN, SHOU-LONG , 陳立凱 , CHEN, LI-KAI
IPC分类号： H01L31/18 , C23C18/00 , F28D1/047
CPC分类号： Y02P70/521
摘要：一種藥液回收設備及其系統與方法，用於回收藥液，藥液回收設備包括：一藥液槽，用於容納藥液；一回收路徑，包含藥液集中槽與回流管路，藥液集中槽連通回流管路，藥液集中槽設於藥液槽旁，用以導引一外流藥液，外流藥液為由藥液槽外流的至少部份藥液；一回收容器，透過回收路徑導引外流藥液進入回收容器；一冷卻管路，熱接觸藥液槽，並提供冷卻流體在冷卻管路中流動；以及一冷卻機，與冷卻管路連通，降溫冷卻管路內的冷卻流體，並驅動冷卻流體流動。
简体摘要：一种药液回收设备及其系统与方法，用于回收药液，药液回收设备包括：一药液槽，用于容纳药液；一回收路径，包含药液集中槽与回流管路，药液集中槽连通回流管路，药液集中槽设于药液槽旁，用以导引一外流药液，外流药液为由药液槽外流的至少部份药液；一回收容器，透过回收路径导引外流药液进入回收容器；一冷却管路，热接触药液槽，并提供冷却流体在冷却管路中流动；以及一冷却机，与冷却管路连通，降温冷却管路内的冷却流体，并驱动冷却流体流动。

5. 发明专利

TWI573287B 藥液回收設備及其系統與方法有权
简体标题：药液回收设备及其系统与方法
公开(公告)号：TWI573287B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW103136723
申请日：2014-10-23
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：王春雅 , WANG, CHUEN YA , 陳傳宜 , CHEN, CHUAN-YI , 藍受龍 , LAN, SHOU-LONG , 陳立凱 , CHEN, LI-KAI
IPC分类号： H01L31/18 , C23C18/00 , F28D1/047
CPC分类号： Y02P70/521

6. 发明专利

TW201616667A 化學濕製程方法审中-公开
简体标题：化学湿制程方法
公开(公告)号：TW201616667A
公开(公告)日：2016-05-01
申请号：TW103136724
申请日：2014-10-23
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：王春雅 , WANG, CHUEN YA , 陳立凱 , CHEN, LI-KAI , 藍受龍 , LAN, SHOU-LONG , 陳家達 , CHEN, CHIA-TA
IPC分类号： H01L31/042 , H01L21/306
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：一種化學濕製程方法，包括：提供一化學藥液；提供一基板，基板具有一反應面以及相對於反應面的一受熱面，將反應面接觸化學藥液；以及加熱受熱面，藉由熱傳導使反應面溫度升高並與化學藥液進行化學濕製程反應。藉此，以能大幅降低化學藥液在被加熱後的酸鹼值變化，使化學藥液能被回收再利用，從而達到減少環境污染並降低成本的效果。
简体摘要：一种化学湿制程方法，包括：提供一化学药液；提供一基板，基板具有一反应面以及相对于反应面的一受热面，将反应面接触化学药液；以及加热受热面，借由热传导使反应面温度升高并与化学药液进行化学湿制程反应。借此，以能大幅降低化学药液在被加热后的酸碱值变化，使化学药液能被回收再利用，从而达到减少环境污染并降低成本的效果。

7. 发明专利

TW201508089A 基板轉移暨處理系統以及基板轉移暨處理方法审中-公开
简体标题：基板转移暨处理系统以及基板转移暨处理方法
公开(公告)号：TW201508089A
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW102131316
申请日：2013-08-30
申请人：亞智科技股份有限公司
发明人：陳傳宜 , CHEN, CHUAN YI , 游柏清 , YU, PO CHING , 藍受龍 , LAN, SHOU LONG , 陳立凱 , CHEN, LI KAI
IPC分类号： C23C18/00
CPC分类号： Y02P70/521
摘要：一種基板轉移暨處理系統以及基板轉移暨處理方法。基板轉移暨處理系統包含一基板轉移裝置、至少一熱板裝置、一藥液裝置、一傾斜裝置。基板轉移裝置用以將基板於一輸送路徑上移動。熱板裝置設置於輸送路徑上，用以承載並加熱基板。藥液裝置設置於輸送路徑上。藥液裝置被驅動移動至熱板裝置所承載之基板處。藥液裝置與基板之上表面形成一封閉空間。於封閉空間提供一藥液與基板之上表面接觸以產生一化學反應。傾斜裝置用以傾斜熱板裝置、藥液裝置及基板至一角度。熱板裝置對基板加熱以使基板與藥液加速進行化學反應。
简体摘要：一种基板转移暨处理系统以及基板转移暨处理方法。基板转移暨处理系统包含一基板转移设备、至少一热板设备、一药液设备、一倾斜设备。基板转移设备用以将基板于一输送路径上移动。热板设备设置于输送路径上，用以承载并加热基板。药液设备设置于输送路径上。药液设备被驱动移动至热板设备所承载之基板处。药液设备与基板之上表面形成一封闭空间。于封闭空间提供一药液与基板之上表面接触以产生一化学反应。倾斜设备用以倾斜热板设备、药液设备及基板至一角度。热板设备对基板加热以使基板与药液加速进行化学反应。

8. 实用新型

TWM481221U 基板傳送裝置有权
简体标题：基板发送设备
公开(公告)号：TWM481221U
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102223369
申请日：2013-12-11
申请人：亞智科技股份有限公司 , INTECH MACHINES CO., LTD.
发明人：萊茲丹尼爾湯瑪斯 , LEITZ, DANIEL THOMAS , 福克斯貝蒂娜 , FUCHS, BETTINA , 穆勒利奧波德路德維希約阿希姆 , 藍受龍 , LAN, SHOU LONG , 陳傳宜 , CHEN, CHUAN YI , 游柏清 , YU, PO CHING , 陳立凱 , CHEN, LI KAI
IPC分类号： B65G49/06

9. 发明专利

TWI468543B 基板轉移暨處理系統以及基板轉移暨處理方法有权
简体标题：基板转移暨处理系统以及基板转移暨处理方法
公开(公告)号：TWI468543B
公开(公告)日：2015-01-11
申请号：TW102131316
申请日：2013-08-30
申请人：亞智科技股份有限公司
发明人：陳傳宜 , CHEN, CHUAN YI , 游柏清 , YU, PO CHING , 藍受龍 , LAN, SHOU LONG , 陳立凱 , CHEN, LI KAI
IPC分类号： C23C18/00
CPC分类号： Y02P70/521

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