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    • 24. 发明专利
    • 等間距調整裝置
    • 等间距调整设备
    • TW201829115A
    • 2018-08-16
    • TW106103817
    • 2017-02-06
    • 盟立自動化股份有限公司MIRLE AUTOMATION CORPORATION
    • 張哲瑞CHANG, CHE RUEI
    • B23Q3/02B23Q1/25
    • 本發明公開一種等間距調整裝置,其包括一基座、一第一承載模組、一第二承載模組、一驅動模組、一驅動桿件。第一承載模組可滑動地設置在基座上。第二承載模組可滑動地設置在基座上。驅動模組設置於基座上,第一承載模組通過驅動模組往一預定方向移動一第一位移距離。驅動桿件連接於第一承載模組,以通過第一承載模組帶動驅動桿件往預定方向移動,第二承載模組通過驅動桿件的帶動,以往預定方向移動一第二位移距離。由於第一承載模組所移動的第一位移距離為第二承載模組所移動的第二位移距離的兩倍,所以本發明能夠達到等間距的效果。
    • 本发明公开一种等间距调整设备,其包括一基座、一第一承载模块、一第二承载模块、一驱动模块、一驱动杆件。第一承载模块可滑动地设置在基座上。第二承载模块可滑动地设置在基座上。驱动模块设置于基座上,第一承载模块通过驱动模块往一预定方向移动一第一位移距离。驱动杆件连接于第一承载模块,以通过第一承载模块带动驱动杆件往预定方向移动,第二承载模块通过驱动杆件的带动,以往预定方向移动一第二位移距离。由于第一承载模块所移动的第一位移距离为第二承载模块所移动的第二位移距离的两倍,所以本发明能够达到等间距的效果。
    • 30. 发明专利
    • 用以於蒸鍍機台提升基板與光罩間的對位精度的對位方法
    • 用以于蒸镀机台提升基板与光罩间的对位精度的对位方法
    • TW201806210A
    • 2018-02-16
    • TW105125533
    • 2016-08-11
    • 盟立自動化股份有限公司MIRLE AUTOMATION CORPORATION
    • 陳文山CHEN, WEN-SHAN張致盛CHANG, CHIH-SHENG
    • H01L51/56C23C14/12C23C14/24C23C14/54
    • 一種對位方法包含一處理單元於一記號影像的一周緣擷取複數個邊界抽取範圍;該處理單元對各邊界抽取範圍擷取複數列影像列,且各影像列具有複數個像素;該處理單元將該複數個像素轉換為複數個強度值,其中各強度值為對應的該像素的一像素位置的函數;該處理單元根據該複數個強度值得出通過各強度值的一曲線方程式;以及該處理單元將該曲線方程式作二次微分,以得出該曲線方程式的一反曲點,並將該曲線方程式的該反曲點定義為對應的該影像列的一邊界點;該處理單元依據各影像列的該邊界點計算出該記號的一記號中心。
    • 一种对位方法包含一处理单元于一记号影像的一周缘截取复数个边界抽取范围;该处理单元对各边界抽取范围截取复数列影像列,且各影像列具有复数个像素;该处理单元将该复数个像素转换为复数个强度值,其中各强度值为对应的该像素的一像素位置的函数;该处理单元根据该复数个强度值得出通过各强度值的一曲线方进程;以及该处理单元将该曲线方进程作二次微分,以得出该曲线方进程的一反曲点,并将该曲线方进程的该反曲点定义为对应的该影像列的一边界点;该处理单元依据各影像列的该边界点计算出该记号的一记号中心。