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    • 41. 发明申请
    • 基板生産状況監視装置
    • 基板生产状态监测装置
    • WO2014076755A1
    • 2014-05-22
    • PCT/JP2012/079367
    • 2012-11-13
    • 富士機械製造株式会社
    • 江嵜 弘健稲垣 光孝天野 雅史森上 健
    • H05K13/08H05K13/04
    • G05B19/0428G05B11/011G05B2219/24012G05B2219/24015G05B2219/24033H05K13/08
    •  本発明の基板生産状況監視装置は、基板に所定の作業を施す基板用作業機器に設けられ作業の実施状況を動画で撮像して動画データを出力するカメラ部と、動画データを受け取り保存して表示するデータ操作部と、基板用作業機器内で作業の実施条件が変化する変化事象および作業が作業エラーとなる兆候を示すエラー兆候事象の少なくとも一方をトリガー事象として検出するトリガー事象検出部と、トリガー事象検出部がトリガー事象を検出するとカメラ部に動画撮像を開始させ、データ操作部に当該動画データを所定データ長単位で一時記憶させる撮像開始手段と、を備えた。これにより、作業エラーを未然に防止することができ、動画データを保存するためのメモリ装置の記憶容量を低減でき、作業エラーやその兆候事象が発生したときに効率的な対応が可能になる。
    • 该基板制造状态监视装置设置有:相机单元,设置在基板工作装置上,用于在基板上执行特定工作,捕获作业的执行状态的视频,并输出视频数据; 数据操作单元,接收,保存和显示视频数据; 触发事件检测单元,其检测作为触发事件的工作执行条件在基板工作装置内变化的变化事件和/或指示将发展成工作错误的事件的错误前兆事件; 以及图像拍摄开始装置,用于当触发事件检测单元检测到触发事件时,使摄像机单元开始视频捕获,并使图像数据由具有规定长度的数据单元暂时存储在数据操作单元中。 作为上述的结果,可以预先防止工作错误,可以减少用于保存视频数据的存储装置的存储容量,并且可以在出现工作错误或其前兆事件时有效地响应。