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    • 3. 发明申请
    • SHEET RESISTOR IN AN EXHAUST PIPE
    • 排气管中的涂层阻力
    • WO2008000494A3
    • 2008-06-19
    • PCT/EP2007005769
    • 2007-06-29
    • HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBHWIENAND KARLHEINZULLRICH KARLHEINZMUZIOL MATTHIAS
    • WIENAND KARLHEINZULLRICH KARLHEINZMUZIOL MATTHIAS
    • G01F1/684G01F1/692G01F1/698
    • G01F1/684G01F1/6845G01F1/692G01F1/6983G01P5/12Y10T29/49082
    • Disclosed is a measuring instrument, particularly an anemometric measuring instrument of a flow sensor, comprising sheet resistors in one or several openings of a cover or a hollow member. The inventive sheet resistors are mounted in the opening/s. The resistance of two sheet resistors differs by one to three magnitudes. A temperature sensor and a heating capacity sensor are inserted into a support element of an inventive anemometric measuring instrument of a flow sensor. The temperature sensor is equipped with a temperature measuring resistor and a heating conductor as platinum thin-film or thick-film resistors on a ceramic support. In order to self-clean an anemometric measuring instrument of a flow sensor in which a temperature measuring element and a heating element are inserted into a support element, the temperature measuring element is provided with a platinum thin-film resistor on a ceramic support for measuring the temperature and is heated with the aid of an additional platinum thin-film resistor. In order to produce an anemometric measuring instrument of a flow sensor from sheet resistors and a cover or a hollow member, two sheet resistors that differ by one to two magnitudes are inserted into openings of the cover or the hollow member and are fastened in the openings.
    • 测量装置,特别是流量传感器的风速测量装置,在盖或空心体的一个或多个开口中包含薄层电阻器。 根据本发明,薄片电阻器位于所附接的开口中。 两个薄膜电阻的阻值相差一到三个数量级。 在流量传感器的风速测量装置中,温度传感器和加热功率传感器被插入到根据本发明的载体元件中。 温度传感器在陶瓷基板上具有温度测量电阻器和加热导体作为铂薄膜或厚膜电阻器。 对于其中一个温度感测元件和加热元件被插入到一个载体元件的流量传感器的风力测定测量装置的自清洁,温度感测元件包括陶瓷衬底的温度测量上的铂薄膜电阻,并且与附加的铂薄膜电阻加热。 用于制造薄膜电阻和一个盖或两个空心体的一个流量传感器的测量风力测定装置是由一到两个数量级不同层电阻在盖或空心体的开口插入并固定在开口中。
    • 6. 发明申请
    • STRÖMUNGSSENSORELEMENT UND DESSEN SELBSTREINIGUNG
    • 流量传感器元件和其自我清洁
    • WO2007048573A1
    • 2007-05-03
    • PCT/EP2006/010232
    • 2006-10-24
    • HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBHWIENAND, KarlheinzULLRICH, KarlheinzMUZIOL, Matthias
    • WIENAND, KarlheinzULLRICH, KarlheinzMUZIOL, Matthias
    • G01F1/684
    • G01F1/6983G01F1/6845G01F1/692
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Selbstreinigung eines Strömungssensorelements bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement auf einem Trägerelement angeordnet sind, wobei das Temperaturmesselement einen Platindünnfilmwiderstand auf keramischem Untergrund zur Temperaturmessung aufweist und mit einem zusätzlichen Platindünnfilmwiderstand geheizt wird, sowie ein Strömungssensorelement bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement auf einem Trägerelement angeordnet wird und die Verwendung eines solchen Strömungssensorelements. Ein erfindungsgemäßes Strömungssensorelement kann auch ein mehrteiliges Keramikbauteil aufweisen, das ein Trägerelement, ein Temperaturmesselement und ein Heizelement umfasst. Eine Messeinrichtung, insbesondere anemometrische Messeinrichtung eines Strömungssensors, enthält Schichtwiderstände in einer oder mehrerer Öffnung(en) eines Deckels oder eines Hohlkörpers. Die Schichtwiderstände sind erfindungsgemäß in der oder den Öffnung(en) befestigt. Zwei Schichtwiderstände unterscheiden sich bezüglich ihres Widerstandes um ein bis drei Größenordnungen. Bei einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors sind erfindungsgemäß ein Temperatursensor und ein Heizleistungssensor in ein Trägerelement gesteckt. Der Temperatursensor weist einen Temperaturmesswiderstand und einen Heizleiter als Platin-Dünn- oder Dickfilm-Widerstände auf keramischen Untergrund auf.
    • 本发明涉及一种用于流量传感器元件,其中,温度传感元件和加热元件被布置在承载元件上,其中所述温度传感元件包括陶瓷衬底的温度测量上的铂薄膜电阻,并且与附加的铂薄膜电阻加热的自清洁的方法,和一个流量传感器元件,其中,温度测量元件和一个 加热元件被布置在承载元件和使用这样的流量传感器元件的上。 根据本发明的流量传感器元件也可以包括一个多片式陶瓷元件,它包括一个支撑元件,温度传感元件和一个加热元件。 的测量装置,在流量传感器的特定风力测定测量装置,包括一个盖的一个或多个开口(一个或多个)或空心体层的电阻。 根据本发明的薄膜电阻器被紧固在一个或多个开口(一个或多个)。 两个膜电阻由一至三个数量级的电阻不同。 在流量传感器的一个风力测定测量装置,温度传感器和根据本发明的加热传感器被插入到一个载体元件。 该温度传感器包括温度测量电阻器和一个热导体作为陶瓷基板上的铂薄膜或厚膜电阻器。
    • 9. 发明申请
    • ELECTRIC RESISTANCE WITH AT LEAST TWO CONTACT FIELDS ON A CERAMIC SUBSTRATE AND PROCESS FOR MANUFACTURING THE SAME
    • 至少有两个连接接触FIELDS电阻作为制作陶瓷基板和方法
    • WO1998026260A1
    • 1998-06-18
    • PCT/EP1997006757
    • 1997-12-03
    • HERAEUS SENSOR-NITE GMBHWIENAND, KarlheinzULLRICH, KarlheinzSANDER, MargitDIETMANN, Stefan
    • HERAEUS SENSOR-NITE GMBH
    • G01K07/18
    • G01K7/183H01C7/008H01C7/06H01C7/22H01C17/06H05K1/167H05K3/0029H05K2201/0394
    • A temperature-dependent measurement resistance with a fast reaction time is at least partially arranged on the electrically insulating surface of a ceramic substrate. Part of the printed circuit bridges a recess in the substrate and the remaining part of the printed circuit is fitted with contact fields in the marginal area of the substrate adjacent to the recess. The printed circuit is made of a platinum or Au layer and is partially provided with a covering layer made of glass which leaves free the contact fields. In another embodiment, the printed circuit is arranged together with the contact fields either on a screen-printed glass membrane or on a thin film membrane applied by a PVD process which covers the surface of the ceramic substrate, bridging the recess. When the substrate surface is covered by a glass membrane, the printed circuit covering layer is also selectively applied by screen printing. When the substrate surface is covered by a thin film membrane, the printed circuit covering layer is also selectively applied by a PVD process and may be made of the same material as the thin film membrane. The ceramic substrate preferably consists of aluminium oxide.
    • 甲依赖于温度的测量电阻器具有快速响应时间是至少部分地布置在陶瓷基板,其特征在于,所述带状导体的一部分跨越位于凹部的电绝缘表面在所述衬底上桥状方式和在邻近设置有连接接触垫是凹部中的基板的边缘区域中的导体的剩余部分; 导体路径由铂或Au层,其中,所述导体路径被部分地设置有玻璃的覆盖层的,且其中所述终端接触垫自由离开。 在另一个实施方式中,导体线路与连接接触垫在任一个丝网印刷的玻璃膜或通过PVD薄膜膜,其覆盖所述陶瓷基板的表面和桥接所述凹槽施加的涂层一起布置。 在玻璃膜的情况下,覆盖层还选择性地通过丝网印刷涂布。 在薄膜的膜和覆盖层的情况下,被选择性地通过PVD工艺沉积,且可以是相同的材料与薄膜的膜。 陶瓷基板优选由氧化铝制成。
    • 10. 发明申请
    • FOTOLITHOGRAPHISCH STRUKTURIERTER DICKSCHICHTSENSOR
    • 光刻技术结构化厚薄膜传感器
    • WO2010130370A1
    • 2010-11-18
    • PCT/EP2010/002791
    • 2010-05-06
    • HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBHWIENAND, KarlheinzASMUS, TimMAIER, AngelaULLRICH, Karlheinz
    • WIENAND, KarlheinzASMUS, TimMAIER, AngelaULLRICH, Karlheinz
    • G01N27/22G01N15/06
    • G01N15/0656Y10T29/49002
    • Bei einem Sensor, insbesondere Impedanzsensor, z. B. Rußsensor, der zwei voneinander elektrisch isolierte Elektroden aufweist, wobei wenigstens eine äußere Elektrode aus einem Verbund aus Metall und anorganischem Oxid als Schichtmuster mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 μm ausgebildet ist, beträgt erfindungsgemäß die Bahnbreite des Schichtmusters und der Abstand zwischen den Bahnen 5 bis 70 μm und der Randbereich schwankt um die Leiterbahnkante weniger als 10 μm. Beide Elektroden können in einer Ebene als Schichtmuster nebeneinander angeordnet werden. Der Sensor weist vorzugsweise einen Heizer auf. Zur Massenproduktion werden Elektroden auf elektrisch isolierenden oxidischen Untergründen zu einem Schichtmuster mit einer Schichtdicke von 0,5 bis 20 μm erzeugt und die Elektroden nach vollflächigem Aufdrucken einer Metallpulver und Oxid aufweisenden Paste aus der gedruckten Schicht zu Bahnen besonders genau strukturiert. Insbesondere wird die Schichtdicke der gedruckten Schicht reduziert.
    • 在一个传感器,特别阻抗传感器,Z。 B.烟灰传感器,包括两个相互电绝缘的电极,其特征在于,由金属和无机氧化物的复合体的至少一个外电极被形成为具有0.5至20微米的层厚度的膜图案,根据本发明,膜图案的纸幅宽度之间的距离和 泳道5至70微米和边缘区域附近波动的导体轨道边缘小于10微米。 两个电极可以被布置在一个平面内作为由侧的层图案侧。 所述传感器优选地具有一个加热器。 对于形成在由腹板特别准确地构造印刷在印刷层的金属粉末和含氧化物的糊剂电绝缘性基材氧化物层以具有0.5到20微米的层厚度和电极在整个表面上的图案大量生产的电极。 特别是,在印刷层的层厚度降低。