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1. 发明申请

WO2008131890A3 SCHICHTWIDERSTAND IM ABGASROHR 审中-公开
公开(公告)号：WO2008131890A3
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：PCT/EP2008/003236
申请日：2008-04-23
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , MUZIOL, Matthias , ULLRICH, Karlheinz
发明人： WIENAND, Karlheinz , MUZIOL, Matthias , ULLRICH, Karlheinz
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/698 , F02M25/07
摘要： Die Erfindung betrifft die Anordnung eines Schichtwiderstands (Chip) in einem Abgasrohr oder Abgasrückführrohr, wobei der Schichtwiderstand in einem Träger befestigt ist, der gegen eine Abschirmung oder ein Gehäuse abgedichtet ist, die oder das dicht mit dem Abgasrohr oder Abgasrückführrohr verbunden ist, wobei der Träger und die Abschirmung oder das Gehäuse radial außerhalb des Abgasrohrs oder Abgasrückführrohrs von diesem beabstandet gegeneinander abgedichtet sind.

2. 发明申请

WO2007104483A3 EPITAXIAL SUBSTANCE-SENSITIVE SENSOR 审中-公开
标题翻译：外延材料敏感的传感器
公开(公告)号：WO2007104483A3
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/EP2007002056
申请日：2007-03-09
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND KARLHEINZ , LOOSE THOMAS
发明人： WIENAND KARLHEINZ , LOOSE THOMAS
IPC分类号： G01N27/12 , G01N27/14
CPC分类号： G01N27/128
摘要： The invention enables the reproducible production of miniaturised sensors with extremely high selectivity and precision by means of an electrical sensor. According to the invention, a metallic strip conductor (1) is grown in a targeted manner (epitaxially) on a monocrystalline, electrically insulating surface (2), the layer thickness of the strip conductor being less than 50 nm. The invention also relates to the use of an electrical sensor having an epitaxially grown resistance structure (1) on the monocrystalline, electrically insulating surface of a substrate (2) for determining substances adsorbed on the resistance structure.
摘要翻译：本发明使得可再现生产具有非常高的选择性和精确度微型传感器的通过电传感器，其中长大，在单个晶体的电绝缘表面（2）指向的金属导体（1）（外延）和导体轨迹的小于50nm的层厚度量，以及对单晶采用电传感器的具有外延生长的电阻结构（1），在基板（2）的吸附在电阻结构材料的确定的电绝缘表面。

3. 发明申请

WO2007048573A1 STRÖMUNGSSENSORELEMENT UND DESSEN SELBSTREINIGUNG 审中-公开
标题翻译：流量传感器元件和其自我清洁
公开(公告)号：WO2007048573A1
公开(公告)日：2007-05-03
申请号：PCT/EP2006/010232
申请日：2006-10-24
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , MUZIOL, Matthias
发明人： WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz , MUZIOL, Matthias
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： G01F1/6983 , G01F1/6845 , G01F1/692
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Selbstreinigung eines Strömungssensorelements bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement auf einem Trägerelement angeordnet sind, wobei das Temperaturmesselement einen Platindünnfilmwiderstand auf keramischem Untergrund zur Temperaturmessung aufweist und mit einem zusätzlichen Platindünnfilmwiderstand geheizt wird, sowie ein Strömungssensorelement bei dem ein Temperaturmesselement und ein Heizelement auf einem Trägerelement angeordnet wird und die Verwendung eines solchen Strömungssensorelements. Ein erfindungsgemäßes Strömungssensorelement kann auch ein mehrteiliges Keramikbauteil aufweisen, das ein Trägerelement, ein Temperaturmesselement und ein Heizelement umfasst. Eine Messeinrichtung, insbesondere anemometrische Messeinrichtung eines Strömungssensors, enthält Schichtwiderstände in einer oder mehrerer Öffnung(en) eines Deckels oder eines Hohlkörpers. Die Schichtwiderstände sind erfindungsgemäß in der oder den Öffnung(en) befestigt. Zwei Schichtwiderstände unterscheiden sich bezüglich ihres Widerstandes um ein bis drei Größenordnungen. Bei einer anemometrischen Messeinrichtung eines Strömungssensors sind erfindungsgemäß ein Temperatursensor und ein Heizleistungssensor in ein Trägerelement gesteckt. Der Temperatursensor weist einen Temperaturmesswiderstand und einen Heizleiter als Platin-Dünn- oder Dickfilm-Widerstände auf keramischen Untergrund auf.
摘要翻译：本发明涉及一种用于流量传感器元件，其中，温度传感元件和加热元件被布置在承载元件上，其中所述温度传感元件包括陶瓷衬底的温度测量上的铂薄膜电阻，并且与附加的铂薄膜电阻加热的自清洁的方法，和一个流量传感器元件，其中，温度测量元件和一个加热元件被布置在承载元件和使用这样的流量传感器元件的上。根据本发明的流量传感器元件也可以包括一个多片式陶瓷元件，它包括一个支撑元件，温度传感元件和一个加热元件。的测量装置，在流量传感器的特定风力测定测量装置，包括一个盖的一个或多个开口（一个或多个）或空心体层的电阻。根据本发明的薄膜电阻器被紧固在一个或多个开口（一个或多个）。两个膜电阻由一至三个数量级的电阻不同。在流量传感器的一个风力测定测量装置，温度传感器和根据本发明的加热传感器被插入到一个载体元件。该温度传感器包括温度测量电阻器和一个热导体作为陶瓷基板上的铂薄膜或厚膜电阻器。

4. 发明申请

WO2006079488A3 THERMOPILE 审中-公开
标题翻译： THERMO COLUMN
公开(公告)号：WO2006079488A3
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/EP2006000548
申请日：2006-01-23
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , VERETA GMBH , WIENAND KARLHEINZ , ASMUS TIM , RENGSHAUSEN DETLEF
发明人： WIENAND KARLHEINZ , ASMUS TIM , RENGSHAUSEN DETLEF
IPC分类号： H01L35/34 , G01K7/02 , H01L35/32
CPC分类号： H01L35/32 , G01K7/02 , G01K7/021 , H01L35/34
摘要： The invention relates to a method for producing a thermopile from several thermoelements consisting in placing several conductor tracks on a self-supporting and electrically insulated substrate using thin and thick film technology, in applying the thus arranged conductor tracks to the substrate by means of resinate techniques or in electrically connecting bonding wires to the conductor tracks.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造多个热电偶，其中多个导体轨迹在薄膜或厚膜技术被施加于一个的热电堆自支撑电绝缘性基板，特别是，在上基板布置导体轨迹的另一步骤是由Resinattechnik或接合线来施加电连接到导体轨道。

5. 发明申请

WO1995023338A1 SENSOR ARRANGEMENT FOR A HOT-FILM ANEMOMETER 审中-公开
标题翻译：传感器装置热膜风速计
公开(公告)号：WO1995023338A1
公开(公告)日：1995-08-31
申请号：PCT/EP1995000659
申请日：1995-02-23
申请人： HERAEUS SENSOR GMBH , PIERBURG GMBH , WIENAND, Karlheinz , DIETMANN, Stefan , KOCH, Christian , LÖSING, Karl-Heinrich , WITKOWSKI, Peter
发明人： HERAEUS SENSOR GMBH , PIERBURG GMBH
IPC分类号： G01P05/12
CPC分类号： G01P5/12
摘要： A sensor arrangement for measuring mass flow rates of gaseous or liquid media comprises a multiplier (2) resistor and a heating film in the form of a flat, elongated heating resistor (3) with a controllable current supply, whose temperature during operation is increased above the temperature measured by the multiplier resistor (3) by a fixed, predefined difference. In order to attain the smallest possible response time when flow fluctuations occur, as well as high mechanical stability, the heating resistor (3) is secured in a holder with low heat transfer. There are two opposing securing regions (16, 17), each with a bearing surface (13), two lateral boundary surfaces (15) and one boundary surface (14) in the longitudinal direction for receiving the end region of the heating resistor (3). At least one of these surfaces is rigidly connected mechanically to the edge region of the heating resistor. The sensor arrangement is intended for the measurement of air flow in the internal combustion engine of a motor vehicle.
摘要翻译：以气态或液态介质的质量流量测量，对于热膜风速计的传感器装置提供了一种测量电阻（2）和一个由可调电源平面的细长发热电阻（3）供给作为热膜，由一个固定的预定差量从在操作状态下的温度（从测量电阻2 ）确定的温度升高; 到尽可能低的响应时间，以在流动和高的机械稳定性，以实现所述加热电阻器的变化（3）被安装在保持器具有低的热传递，其中两个相对的固定区域（16,17），每个具有一个轴承表面（13），两个横向边界表面（15）并且设置用于接收所述发热电阻体（3）的端部的边界表面（14）在纵向方向上，其中，这些表面与所述加热电阻器的边缘区域中的至少一个以机械方式牢固地连接。该传感器系统的应用被引导至空气流量测量，用于在车辆中的内燃发动机。

6. 发明申请

WO2013007343A2 MESSWIDERSTAND MIT SCHUTZRAHMEN 审中-公开
标题翻译：用保护FRAME测量电阻
公开(公告)号：WO2013007343A2
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：PCT/EP2012/002706
申请日：2012-06-27
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , SANDER, Margit
发明人： WIENAND, Karlheinz , SANDER, Margit
IPC分类号： G01K7/18
CPC分类号： G01K7/18 , C23C14/18 , C23C16/06
摘要： Die Erfindung betrifft einen Temperatursensor, insbesondere Hochtemperatursensor, umfassend ein Substrat, zumindest zwei Anschlusskontakte und zumindest eine Widerstandsstruktur, wobei die Anschlusskontakte und die zumindest eine Widerstandsstruktur auf einer ersten Seite des Substrats angeordnet sind und wobei zumindest eine der Widerstandsstrukturen durch die Anschlusskontakte elektrisch kontaktiert ist, wobei an beiden Anschlusskontakten jeweils zumindest eine Elektrode neben der Widerstandsstruktur auf der ersten Seite des Substrats angeordnet ist, die elektrisch mit dem jeweiligen Anschlusskontakt verbunden sind oder zumindest an einem Anschlusskontakt zumindest eine Elektrode neben der Widerstandsstruktur auf der ersten Seite des Substrats angeordnet ist, wobei die Elektrode oder die Elektroden einteilig mit der Widerstandsstruktur ausgebildet ist oder sind. Die Erfindung betrifft auch einen Hochtemperatursensor umfassend einen solchen Temperatursensor. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Temperatursensors, bei dem zumindest eine Widerstandsstruktur auf einer ersten Seite eines Substrats aufgebracht wird, wobei eine vorzugsweise metallische Beschichtung auf dem Substrat derart aufgebracht wird, dass die Beschichtung die zumindest eine Widerstandsstruktur, zumindest zwei Anschlusskontakte und zumindest eine Elektrode bildet, so dass die Anschlusskontakte die zumindest eine Widerstandsstruktur elektrisch kontaktieren und zumindest eine Elektrode mit zumindest einem Anschlusskontakt elektrisch kontaktieren.
摘要翻译：本发明涉及一种温度传感器，特别是高的温度传感器，其包括一个基板，至少两个连接触点和至少一个电阻器结构，其中所述连接器接触，并且被布置在衬底的第一侧上的至少一个电阻结构，并且其中所述至少一个电阻结构由所述终端触点电接触，其中，至少一个电极是在两个端子触点分别被电连接到相应的端子接触，或者除了电阻结构的至少一个电极布置成邻近所述电阻结构在所述衬底的所述第一侧被设置在所述衬底的所述第一侧到端子接触，至少所述电极或电极与所述电阻结构一体地形成或正在。本发明还涉及一种包括温度传感器，例如一个高的温度传感器。本发明还涉及一种用于制造这样的温度传感器的方法，其特征在于，至少一个电阻器图案被施加到基材上，其中，优选金属涂层在基材上施加，使得所述涂层至少一个电阻器图案，至少两个连接触点和的第一侧形成至少一个电极，以使连接触点接触所述至少一个电阻器结构和电接触具有至少一个端子电接触的至少一个电极。

7. 发明申请

WO2009021734A1 RUSSSENSOR MIT GLATTER, REINER AI2O3-OBERFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：带缓和RUSS传感器，REINER氧化铝-SURFACE
公开(公告)号：WO2009021734A1
公开(公告)日：2009-02-19
申请号：PCT/EP2008/006688
申请日：2008-08-14
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz
发明人： WIENAND, Karlheinz , ULLRICH, Karlheinz
IPC分类号： G01N15/06
CPC分类号： G01N15/0656
摘要： Zur Herstellung eines Rußsensorchips, bei dem eine Leiterbahnstruktur auf einem elektrisch isolierenden Untergrund aufgetragen wird, wird erfindungsgemäß der elektrisch isolierende Untergrund durch Entfernen von Bindemittel, insbesondere SiO 2 , von der Oberfläche eines Aluminiumoxid-Substrats oder durch Auftragen von Aluminiumoxid ohne Bindemittelzusatz auf die Oberfläche eines Substrats erzeugt. Ein erfindungsgemäßer Rußsensorchip weist eine Leiterbahnstruktur auf Saphir auf oder eine AI 2 O 3 -Oberfläche, die ohne SiO 2 -Zusatz aufgetragen oder gesintert ist oder in einer Reinheit von 99,99 Gew.-% aufgetragen oder gesintert ist oder eine gegenüber einer Brennhaut verringerte Oberflächenrauheit aufweist.
摘要翻译：为了制备Rußsensorchips，其中一个导体路径结构的电绝缘基板上时，根据本发明，通过去除粘合剂的电绝缘性基板，特别是二氧化硅，从氧化铝基板的表面上，或通过三氧化二铝的涂层而不添加粘合剂到基材的表面产生。根据本发明的烟尘传感器芯片具有在蓝宝石或施加或不二氧化硅添加剂烧结或施加或以99.99重量％的烧结体的纯度或具有相反的内皮肤减小的表面粗糙度的Al 2 O 3表面上的布线图案。

8. 发明申请

WO2007131648A3 ELECTRICAL SENSOR PRODUCTION AND USE THEREOF 审中-公开
标题翻译：电传感器，其生产和使用
公开(公告)号：WO2007131648A3
公开(公告)日：2008-02-21
申请号：PCT/EP2007003954
申请日：2007-05-04
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND KARLHEINZ , ASMUS TIM , NOETHE HEIKE
发明人： WIENAND KARLHEINZ , ASMUS TIM , NOETHE HEIKE
IPC分类号： G01N27/07 , H05K3/34
CPC分类号： H05K1/141 , H05K1/0268 , H05K3/3442 , H05K2201/09072 , H05K2201/10151
摘要： A sensor chip (2, 3) having an electrically conductive thick-film structure, on the insulating base of which an electrically conductive thin-film structure is directly coated with an electrically conductive thick-film structure, is provided. According to the invention, an electrical sensor comprising that sensor chip (2, 3) and a printed circuit board has at least one FC or SMD chip (2, 3) which is fastened to a printed circuit board. According to the invention, an electrical sensor having a plurality of measuring units, comprising at least one first component as a printed circuit board (1), a second component (2) and a third component (3) as an FC or SMD component with respectively different conductor tracks on an electrically insulating base, wherein a printed circuit board (1) is electrically connected to at least one FC or SMD carrier component (2) by means of electrical contacts and is held mechanically, has an FC or SMD component (3) which is electrically connected to the FC or SMD carrier component (2), which is fastened to the printed circuit board (1), by means of further electrical contacts and is held mechanically. In the case of an electrical sensor having an FC or SMD carrier component (2) which is fastened to a printed circuit board, at least one conductor track which is designed using thick-film or thin-film technology is partially covered with an electrically insulating layer and the electrically insulating layer which partially covers said conductor track is, in turn, partially covered with an electrically conductive layer.
摘要翻译：有设置有导电厚层结构的传感器芯片（2，3），导电薄膜图案直接涂覆与绝缘基板上的导电厚膜结构。包含这些传感器芯片（2，3）和印刷电路板，根据本发明的电传感器包括至少一个安装在印刷电路板FC或SMD芯片（2，3）。具有多个测量单元的电传感器，包括至少第一组分作为一个电路板（1），第二（2）和第三（3）组分作为FC或SMD元件，每个具有一个电绝缘基板上的不同导体轨迹，其特征在于，板（ 1）（到至少一个FC或SMD载体组分2）被电通过电触点连接，并且机械地保持，根据本发明的具有经由另外的电触头与所述一FC或SMD元件（3）（在电路板1）安装FC - 或SMD支撑构件（2）电连接并且机械地保持。在具有附接在电路基板上的FC或SMD支撑构件（2）的电传感器是在厚膜或薄膜部分反过来部分地覆盖有至少一个电绝缘层，并与导电层的部分覆盖的电绝缘层延伸的导体轨道。

9. 发明申请

WO2006079488A2 THERMOSÄULE 审中-公开
标题翻译： THERMO COLUMN
公开(公告)号：WO2006079488A2
公开(公告)日：2006-08-03
申请号：PCT/EP2006/000548
申请日：2006-01-23
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , VERETA GMBH , WIENAND, Karlheinz , ASMUS, Tim , RENGSHAUSEN, Detlef
发明人： WIENAND, Karlheinz , ASMUS, Tim , RENGSHAUSEN, Detlef
IPC分类号： H01L35/34 , H01L35/32
CPC分类号： H01L35/32 , G01K7/02 , G01K7/021 , H01L35/34
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Thermosäule aus mehreren Thermo elementen, bei dem auf einem sich selbsttragenden, elektrisch isolierenden Substrat mehrere Leiterbahnen in Dünn- oder Dickschichttechnik aufgetragen werden, insbesondere dass in ei nem weiteren Schritt auf dem Substrat angeordnete Leiterbahnen mittels Resinattechnik aufge tragen werden oder Bonddrähte an die Leiterbahnen elektrisch angeschlossen werden.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造多个热电偶的热电堆，其中施加到自支撑电绝缘衬底中的多个薄或厚的膜技术的导体路径，特别是在由Resinattechnik了磨损的手段在基片布置导体轨迹蛋NEM进一步的步骤是或接合线电连接到导体轨道。

10. 发明申请

WO2010089024A3 WIDERSTANDSTHERMOMETER MIT NICHTLEITFÄHIGEM ZIRCONIUMDIOXID 审中-公开
公开(公告)号：WO2010089024A3
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：PCT/EP2010/000307
申请日：2010-01-20
申请人： HERAEUS SENSOR TECHNOLOGY GMBH , WIENAND, Karlheinz , ZINKEVICH, Matsvei
发明人： WIENAND, Karlheinz , ZINKEVICH, Matsvei
IPC分类号： G01K7/18 , G01N27/02 , G01N27/12
摘要： Bei einem Widerstandsthermometer mit einem Messwiderstand in Form einer 0,1 bis 10 μm dicken strukturierten Platinschicht, die auf einer elektrisch isolierenden Oberfläche eines Substrats aufgebracht ist und mit einer elektrisch isolierenden Abdeckschicht versehen ist, enthält das Substrat oder dessen Oberfläche Zirconiumdioxid, welches mit Oxiden eines drei- und eines fünfwertigen Metalls stabilisiert ist. Insbesondere ist das dreiwertige Metall Yttrium und das fünfwertige Metall Tantal oder Niob. Vorzugsweise erfüllt die Kennlinie des Messwiderstands die DIN-IEC 751. Zur Massenproduktion von Widerstandsthermometern mit hoher und reproduzierbarer Messgenauigkeit wird auf einem elektrisch isolierenden Substrat mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten im Bereich von 8,5 bis 10,5 x 10 -6 /K und einer Rauigkeit unter 1 μm eine strukturierte 0,1 bis 10 μm dicke Platinschicht aufgebracht und die strukturierte Platinschicht elektrisch isolierend abgedeckt. Erfindungsgemäße Widerstandsthermometer ermöglichen genaue Temperaturmessungen zwischen -200 °C und +850 °C, insbesondere als Sensor einer Abgasbehandlungsanlage. Bei einem stoffsensitiven Sensor mit einer Leiterbahnstruktur auf einem Substrat weist die Leiterbahnstruktur eine epitaktisch aufgetragene Grundschicht auf und eine auf der epitaktisch aufgetragenen Grundschicht befestigte stoffsensitive Metallschicht.

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