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    • 10. 发明公开
    • 다결정질 실리콘 증착용 반응기
    • KR20180051627A
    • 2018-05-16
    • KR20187010328
    • 2016-10-11
    • WACKER CHEMIE AG
    • KRAUS HEINZKUTZA CHRISTIAN
    • C01B33/035
    • C01B33/035
    • 본발명은반응기벽에의해측방향및 상방향이정해지고(delimited) 베이스플레이트(base plate)에의해하방향이정해지는다결정질실리콘증착용반응기에관한것이며, 상기반응기는, 베이스플레이트에부착되어있으며전류의직접통과에의해가열가능한복수의필라멘트로드(rod)들, 상기베이스플레이트내의하나이상의개구부(opening)를통과하고실리콘-함유반응기체혼합물을상기반응기내에도입하기위한공급기체시스템, 및상기베이스플레이트내의하나이상의개구부를통과하고배출기체를상기반응기로부터배출하기위한배출기체시스템을포함한다. 본발명은, 공급기체시스템및/또는배출기체시스템이, 금속, 세라믹또는 CFC로제조되고개구부또는메쉬(mesh)를포함하는하나이상의보호요소(protective element)를포함하는것을특징으로한다. 보호요소의개구부및 메쉬는, 공급기체또는배출기체시스템으로부터플러싱(flushing)에의해제거될수 있는실리콘컴포넌트만이상기보호요소아래의공급기체또는배출기체시스템에도달할수 있도록배열된다.