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1. 发明专利

TW201729325A 輸送處理裝置與輸送處理方法审中-公开
简体标题：输送处理设备与输送处理方法
公开(公告)号：TW201729325A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：TW105103164
申请日：2016-02-01
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：詹益全 , CHAN, YI CHUAN , 丁啓民 , TING, CHI MIN , 陳志昂 , CHEN, CHIH ANG , 邱顯煒 , CHIU, HSIEN WEI
IPC分类号： H01L21/677
摘要：本發明揭露一種輸送處理裝置，輸送處理裝置包含框架、第一輸送裝置、第二輸送裝置、第三輸送裝置、處理單元、第一滾輪平台及第二滾輪平台。第一、第二及第三輸送裝置分別位於框架中的中層、下層及上層平台。第一輸送裝置將基板由第一端部輸送至第二端部。第一滾輪平台將基板由第二端部移動至第二輸送裝置的第三端部。第二輸送裝置將基板由第三端部輸送至第四端部，處理單元對基板進行製程處理。第二滾輪平台將基板由第四端部移動至第三輸送裝置的第五端部。第三輸送裝置將基板由第五端部移動至第六端部。此外，一種輸送處理方法亦被提出。
简体摘要：本发明揭露一种输送处理设备，输送处理设备包含框架、第一输送设备、第二输送设备、第三输送设备、处理单元、第一滚轮平台及第二滚轮平台。第一、第二及第三输送设备分别位于框架中的中层、下层及上层平台。第一输送设备将基板由第一端部输送至第二端部。第一滚轮平台将基板由第二端部移动至第二输送设备的第三端部。第二输送设备将基板由第三端部输送至第四端部，处理单元对基板进行制程处理。第二滚轮平台将基板由第四端部移动至第三输送设备的第五端部。第三输送设备将基板由第五端部移动至第六端部。此外，一种输送处理方法亦被提出。

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