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1. 发明专利

TWI582827B 製程設備與製程設備降溫方法有权
简体标题：制程设备与制程设备降温方法
公开(公告)号：TWI582827B
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：TW104143824
申请日：2015-12-25
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：顏英哲 , YAN, YING ZHE , 黃建凱 , HUANG, CHIEN KAI
IPC分类号： H01L21/02 , F25D17/02

2. 发明专利

TW201643936A 製程設備與製程設備降溫方法审中-公开
简体标题：制程设备与制程设备降温方法
公开(公告)号：TW201643936A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW104143824
申请日：2015-12-25
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：顏英哲 , YAN, YING ZHE , 黃建凱 , HUANG, CHIEN KAI
IPC分类号： H01L21/02 , F25D17/02
摘要：本發明揭露一種製程設備，製程設備包括藥液槽、第一偵測裝置、冷卻裝置以及排出裝置。藥液槽用以容置藥液。第一偵測裝置用以偵測藥液槽的溫度。冷卻裝置連通於藥液槽，冷卻裝置用以注入冷卻流體至藥液槽內。當第一偵測裝置偵測藥液槽的溫度超過一門檻溫度時，冷卻裝置注入冷卻流體至藥液槽內。排出裝置連通於藥液槽，排出裝置用以排出藥液槽內的流體，其中流體包含藥液且/或冷卻流體。當冷卻裝置注入冷卻流體至藥液槽內之後，排出裝置排出流體。此外，一種製程設備降溫方法亦被提出。
简体摘要：本发明揭露一种制程设备，制程设备包括药液槽、第一侦测设备、冷却设备以及排出设备。药液槽用以容置药液。第一侦测设备用以侦测药液槽的温度。冷却设备连通于药液槽，冷却设备用以注入冷却流体至药液槽内。当第一侦测设备侦测药液槽的温度超过一门槛温度时，冷却设备注入冷却流体至药液槽内。排出设备连通于药液槽，排出设备用以排出药液槽内的流体，其中流体包含药液且/或冷却流体。当冷却设备注入冷却流体至药液槽内之后，排出设备排出流体。此外，一种制程设备降温方法亦被提出。

3. 发明专利

TWI623359B 基板清洗方法與清洗設備有权
简体标题：基板清洗方法与清洗设备
公开(公告)号：TWI623359B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：TW106108967
申请日：2017-03-17
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：黃建凱 , HUANG, CHIEN KAI , 丁啓民 , TING, CHI MIN
IPC分类号： B08B3/04 , B08B3/02 , B08B11/00

4. 发明专利

TWI562942B 導引機構及其製程設備有权
简体标题：导引机构及其制程设备
公开(公告)号：TWI562942B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：TW103115618
申请日：2014-04-30
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：黃志強 , HUANG, JHIH CHIANG , 黃建凱 , HUANG, CHIEN KAI , 姚昶劦 , YAO, CHANG HSIEH
IPC分类号： B65G39/18 , B65G49/06 , H01L21/677

5. 发明专利

TW201834756A 基板清洗方法與清洗設備审中-公开
简体标题：基板清洗方法与清洗设备
公开(公告)号：TW201834756A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW106108967
申请日：2017-03-17
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：黃建凱 , HUANG, CHIEN KAI , 丁啓民 , TING, CHI MIN
IPC分类号： B08B3/04 , B08B3/02 , B08B11/00
摘要：一種清洗設備，包括第一腔室、移動元件、滾輪組、承接元件及噴管元件。移動元件位於第一腔室內。滾輪組容置於第一腔室，承接元件位於第一腔室內，承接元件用以承接移動元件所傳送的基板。噴管元件位於第一腔室內，且噴管元件位於承接元件之下，噴管元件用以朝承接元件的簍空部內的基板的下表面噴灑液體。此外，一種基板清洗方法亦被提出。
简体摘要：一种清洗设备，包括第一腔室、移动组件、滚轮组、承接组件及喷管组件。移动组件位于第一腔室内。滚轮组容置于第一腔室，承接组件位于第一腔室内，承接组件用以承接移动组件所发送的基板。喷管组件位于第一腔室内，且喷管组件位于承接组件之下，喷管组件用以朝承接组件的篓空部内的基板的下表面喷洒液体。此外，一种基板清洗方法亦被提出。

6. 发明专利

TW201524871A 導引機構及其製程設備审中-公开
简体标题：导引机构及其制程设备
公开(公告)号：TW201524871A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW103115618
申请日：2014-04-30
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：黃志強 , HUANG, JHIH CHIANG , 黃建凱 , HUANG, CHIEN KAI , 姚昶劦 , YAO, CHANG HSIEH
IPC分类号： B65G39/18 , B65G49/06 , H01L21/677
摘要：一種導引機構及其製程設備，用以輸送一板件，導引機構包含複數輸送滾輪與複數導引壓輪，每一導引壓輪具有一輪軸與至少一軸套，軸套凸設於輪軸上，用以與板件接觸，其中軸套的硬度值介於C硬度值(C-Hardness)7至11，軸套的摩擦係數介於0.3至0.5，且軸套的硬度低於或等於輸送滾輪的硬度；藉此，輸送滾輪與導引壓輪用以夾置板件，並藉由輸送滾輪與導引壓輪的轉動，導引板件沿一輸送方向移動。
简体摘要：一种导引机构及其制程设备，用以输送一板件，导引机构包含复数输送滚轮与复数导引压轮，每一导引压轮具有一轮轴与至少一轴套，轴套凸设于轮轴上，用以与板件接触，其中轴套的硬度值介于C硬度值(C-Hardness)7至11，轴套的摩擦系数介于0.3至0.5，且轴套的硬度低于或等于输送滚轮的硬度；借此，输送滚轮与导引压轮用以夹置板件，并借由输送滚轮与导引压轮的转动，导引板件沿一输送方向移动。

7. 实用新型

TWM293919U 具有板厚間隙調整裝置之板件輸送機失效
简体标题：具有板厚间隙调整设备之板件输送机
公开(公告)号：TWM293919U
公开(公告)日：2006-07-11
申请号：TW095201037
申请日：2006-01-17
申请人：亞智科技股份有限公司
发明人：黃建凱 , 李來陽
IPC分类号： B65G
摘要：一種具有板厚間隙調整裝置之板件輸送機，包括有系列地設在輸送機之上、中、下不同高度位置的第一中心軸、第二中心軸與第三中心軸；第一、二中心軸分別設有複數滾輪與滾筒，以供夾持輸送板件。第一中心軸的第一端設有包含第一偏心齒輪與驅動齒輪的調整裝置，第二端則設置第二偏心齒輪。第二中心軸的第一端設置第一惰齒輪與第一被動齒輪，第二端則設置第二惰齒輪與第二被動齒輪，該第一惰齒輪及第一被動齒輪分別嚙合於所述第一偏心齒輪與驅動齒輪，第二惰齒輪嚙合於第二偏心齒輪。第三中心軸的第一、二端分別設有第一齒輪與第二齒輪，該第一齒輪嚙合於所述第一惰齒輪，並由調整動力機構驅動該第一齒輪，從而連動第一偏心齒輪與第二偏心齒輪同步旋轉而帶動第一中心軸在垂直方向移動，從而調整所述滾輪與滾筒彼此之間的間隙；該第二齒輪則由一輸送動力機構驅動而使第二中心軸旋轉，從而同步帶動第一中心軸旋轉，使所述滾輪與滾筒夾持輸送板件。
简体摘要：一种具有板厚间隙调整设备之板件输送机，包括有系列地设在输送机之上、中、下不同高度位置的第一中心轴、第二中心轴与第三中心轴；第一、二中心轴分别设有复数滚轮与滚筒，以供夹持输送板件。第一中心轴的第一端设有包含第一偏心齿轮与驱动齿轮的调整设备，第二端则设置第二偏心齿轮。第二中心轴的第一端设置第一惰齿轮与第一被动齿轮，第二端则设置第二惰齿轮与第二被动齿轮，该第一惰齿轮及第一被动齿轮分别啮合于所述第一偏心齿轮与驱动齿轮，第二惰齿轮啮合于第二偏心齿轮。第三中心轴的第一、二端分别设有第一齿轮与第二齿轮，该第一齿轮啮合于所述第一惰齿轮，并由调整动力机构驱动该第一齿轮，从而连动第一偏心齿轮与第二偏心齿轮同步旋转而带动第一中心轴在垂直方向移动，从而调整所述滚轮与滚筒彼此之间的间隙；该第二齿轮则由一输送动力机构驱动而使第二中心轴旋转，从而同步带动第一中心轴旋转，使所述滚轮与滚筒夹持输送板件。

8. 实用新型

TWM304518U 板件導引裝置失效
简体标题：板件导引设备
公开(公告)号：TWM304518U
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：TW095212010
申请日：2006-07-07
申请人：亞智科技股份有限公司
发明人：陳弘明 , 黃建凱 , 陳麒文
IPC分类号： B65G
摘要：一種板件導引裝置，包括有設於輸送機上方的兩組軌道，以及跨設在該二軌道上的活動座，該活動座兩側所設的滾輪提供活動座沿著軌道移動之用；所述活動座下方還設置了複數往下方垂直延伸且排列在一直線的立柱，且該立柱的下端樞設有可在水平位置旋轉的導輪；每一活動座均以一軸桿連接於一氣壓缸，藉由該氣壓缸的作動而驅動該活動座沿著軌道移動，從而依板件的寬度調整兩活動座之間的距離；板件被輸送機輸送進入機體內時，得以利用位於兩側的成排導輪予以導引順利輸送；此外，該活動座的移動也可以利用手動來完成。
简体摘要：一种板件导引设备，包括有设于输送机上方的两组轨道，以及跨设在该二轨道上的活动座，该活动座两侧所设的滚轮提供活动座沿着轨道移动之用；所述活动座下方还设置了复数往下方垂直延伸且排列在一直线的立柱，且该立柱的下端枢设有可在水平位置旋转的导轮；每一活动座均以一轴杆连接于一气压缸，借由该气压缸的作动而驱动该活动座沿着轨道移动，从而依板件的宽度调整两活动座之间的距离；板件被输送机输送进入机体内时，得以利用位于两侧的成排导轮予以导引顺利输送；此外，该活动座的移动也可以利用手动来完成。

9. 实用新型

TWM586456U 牙叉式基板運輸裝置有权
简体标题：牙叉式基板运输设备
公开(公告)号：TWM586456U
公开(公告)日：2019-11-11
申请号：TW108209296
申请日：2019-07-16
申请人：亞智科技股份有限公司
发明人：黃建凱 , 陳傳宜
IPC分类号： H01L21/677

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