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    • 8. 发明专利
    • レーザ装置およびその制御方法
    • JP2021125587A
    • 2021-08-30
    • JP2020018717
    • 2020-02-06
    • 古河電気工業株式会社
    • 清田 和明
    • H01S5/0687
    • 【課題】FTF制御における消費電力の増大を抑制できるレーザ装置およびその制御方法を提供すること。 【解決手段】レーザ共振器の光学長を調整する位相調整部を有し、前記位相調整部の制御によって、出力するレーザ光の周波数を可変とするレーザ素子部と、前記レーザ光の周波数に対応するモニタ値を取得するモニタ部と、を備えるレーザ部と、前記レーザ部の温度を制御する温度制御器と、制御部と、を備え、前記制御部は、前記温度制御器に対する設定温度を一定にしながら、前記モニタ値が、前記レーザ光の周波数として設定された目標周波数に対応する目標モニタ値となるように、前記位相調整部を制御する第1制御モードと、前記レーザ光の周波数に対する連続微調整制御が指示された場合に、前記レーザ光の周波数が、前記レーザ光の周波数として設定された目標周波数となるように、前記温度制御器を制御する第2制御モードと、を実行可能に構成されている。 【選択図】図4