专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

CN103703424B 处理设备(PROCESSINGFACILITY) 有权
公开(公告)号：CN103703424B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201280037374.X
申请日：2012-07-04
申请人：株式会社大福
发明人：铃木正美
IPC分类号： G05B19/418 , B65G1/00 , G05D1/02 , H01L21/02
CPC分类号： G05B19/41895 , G05B2219/31013 , H01L21/67276 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , Y02P90/20 , Y02P90/285 , Y02P90/60
摘要：处理设备具备管理运送车(3)的运送管理单元(HC)，该运送车(3)沿着经由多个处理装置(1)和贮存处理对象物的贮存装置(Q)的运送线行驶而运送处理对象物。运送管理单元(HC)实行以下预备运送控制：监视从处理装置(1)对主管理单元(JC)发送的处理进行信息，在多个处理装置(1)之中，将处理对象物的处理结束或临近结束的处理装置(1)在从主管理单元(JC)发送运送指令信息以前作为预备运送起点选出，为了从该处理装置(1)运出处理对象物，使运送车(3)相对于作为预备运送起点选出的处理装置(1)行驶。

2. 发明公开

CN103703424A 处理设备(PROCESSINGFACILITY) 有权
公开(公告)号：CN103703424A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201280037374.X
申请日：2012-07-04
申请人：株式会社大福
发明人：铃木正美
IPC分类号： G05B19/418 , B65G1/00 , G05D1/02 , H01L21/02
CPC分类号： G05B19/41895 , G05B2219/31013 , H01L21/67276 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , Y02P90/20 , Y02P90/285 , Y02P90/60
摘要：处理设备具备管理运送车(3)的运送管理单元(HC)，该运送车(3)沿着经由多个处理装置(1)和贮存处理对象物的贮存装置(Q)的运送线行驶而运送处理对象物。运送管理单元(HC)实行以下预备运送控制：监视从处理装置(1)对主管理单元(JC)发送的处理进行信息，在多个处理装置(1)之中，将处理对象物的处理结束或临近结束的处理装置(1)在从主管理单元(JC)发送运送指令信息以前作为预备运送起点选出，为了从该处理装置(1)运出处理对象物，使运送车(3)相对于作为预备运送起点选出的处理装置(1)行驶。

3. 发明授权

CN1196059C 半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法失效
公开(公告)号：CN1196059C
公开(公告)日：2005-04-06
申请号：CN00122667.3
申请日：2000-05-20
申请人：现代电子产业株式会社
发明人：李胎浩 , 蔡荣桓 , 李愚圭 , 安钟模 , 李光浩 , 金镇先 , 金文基 , 洪昌基 , 曹援秀
IPC分类号： G06F9/00 , H01L21/00 , B65G49/07
CPC分类号： G05B19/41895 , G05B2219/31002 , G05B2219/31013 , G05B2219/31086 , G05B2219/32277 , Y02P90/18 , Y02P90/285 , Y02P90/60
摘要：半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法，该方法包括：在工艺设备中处理容纳在半导体晶片盒中的一批半导体晶片；当工艺设备处理完这批晶片时，将盒传送请求由工艺设备发送到单元管理服务器；响应于盒传送请求产生传送指令；以及如果晶片盒通过AGV由工艺设备传送到储料器，则通过将传送指令同时发送到AGV和储料器同时启动AGV和储料器。该方法可减少传送半导体晶片的时间。

4. 发明公开

CN1278620A 半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法失效
公开(公告)号：CN1278620A
公开(公告)日：2001-01-03
申请号：CN00122667.3
申请日：2000-05-20
申请人：现代电子产业株式会社
发明人：李胎浩 , 蔡荣桓 , 李愚圭 , 安钟模 , 李光浩 , 金镇先 , 金文基 , 洪昌基 , 曹援秀
IPC分类号： G06F9/00 , H01L21/00 , B65G49/07
CPC分类号： G05B19/41895 , G05B2219/31002 , G05B2219/31013 , G05B2219/31086 , G05B2219/32277 , Y02P90/18 , Y02P90/285 , Y02P90/60
摘要：半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法,该方法包括:在工艺设备中处理容纳在半导体晶片盒中的一批半导体晶片;当工艺设备处理完这批晶片时,将盒传送请求由工艺设备发送到单元管理服务器;响应于盒传送请求产生传送指令;以及如果晶片盒通过AGV由工艺设备传送到储料器,则通过将传送指令同时发送到AGV和储料器同时启动AGV和储料器。该方法可减少传送半导体晶片的时间。

5. 发明申请

US20070276531A1 METHODS AND APPARATUS FOR ENHANCED OPERATION OF SUBSTRATE CARRIER HANDLERS 审中-公开
标题翻译：基板载波处理器的增强操作方法和装置
公开(公告)号：US20070276531A1
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：US11838322
申请日：2007-08-14
申请人： Michael Teferra , Amitabh Puri
发明人： Michael Teferra , Amitabh Puri
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B19/4189 , G05B2219/31013 , G05B2219/31276 , G05B2219/31429 , Y02P90/28 , Y02P90/285
摘要： A carrier handler is provided that may be adapted to (1) accept transfer commands for carriers before the carriers arrive within the domain of the carrier handler; (2) accept termination commands that result in prior commands being cancelled or aborted independent of the state of the prior commands; (3) select queued commands for out-of-order execution to take advantage of earliest arriving transport system carrier supports suitable for use with the selected commands and/or based upon the anticipated time needed to execute the commands; (4) remove empty carriers from an associated tool to improve port availability; (5) continue to operate even after transfers involving storage locations fail by removing the failed locations from a usable locations list; (6) verify the integrity of carrier and transfer destination status data with sensors prior to attempting a transfer; and (7) calibrate carrier handoffs with a transport system using a calibration carrier equipped with sensors.
摘要翻译：提供一种载波处理器，其可以适于（1）在载波到达载波处理器的域内之前接受载波的传输命令; （2）接受终止命令，导致先前的命令被取消或中止，而与先前命令的状态无关; （3）选择用于无序执行的排队命令，以利用适合于使用所选择的命令的最早到达的传输系统载波支持和/或基于执行命令所需的预期时间; （4）从相关联的工具中删除空载体以提高端口可用性; （5）即使在涉及存储位置的转移失败后，仍然可以从可用位置列表中删除失败的位置; （6）在尝试传输之前，使用传感器验证载体的完整性和传输目的地状态数据; 和（7）使用配有传感器的校准载体，用传输系统校准载波切换。

6. 发明授权

US5687085A Substrate processing apparatus and method 失效
标题翻译：基板加工装置及方法
公开(公告)号：US5687085A
公开(公告)日：1997-11-11
申请号：US418512
申请日：1995-04-07
申请人： Toru Morimoto , Kenji Hashinoki , Tetsuya Hamada , Kenji Kamei
发明人： Toru Morimoto , Kenji Hashinoki , Tetsuya Hamada , Kenji Kamei
IPC分类号： B65G49/07 , G05B19/418 , G06F19/00
CPC分类号： G05B19/4189 , G05B2219/31013 , G05B2219/34388 , G05B2219/45026 , Y02P90/083 , Y02P90/28 , Y02P90/285
摘要： Transport robot circulates in a predetermined order among a plurality of substrate processing parts while holds substrates, thereby to perform circulating transportation of the substrates. Controller calculates a minimum wait cycle which corresponds to the number of circulating transportation during time from first circulating of a first substrate to first circulating of a second substrate under the condition that interference between the first and second substrates is prohibited. When the minimum wait cycle is shorter than a standard wait cycle which corresponds to the number of circulating transportation for processing of the first substrate, starting of the circulating transportation of the second substrate is delayed in the range of the minimum wait cycle to a standard wait cycle. Hence, the processing of the second substrate can be started without waiting for completion of the processing of the first substrate, resulting in that through put is improved.
摘要翻译：运送机器人在保持基板的同时在多个基板处理部中以预定顺序循环，从而进行基板的循环输送。控制器计算最小等待周期，其对应于在禁止第一和第二基板之间的干扰的条件下，从第一基板的第一循环到第二基板的第一循环的时间期间的循环输送次数。当最小等待周期短于与第一基板的处理循环输送次数对应的标准等待周期时，第二基板的循环输送的开始在最小等待周期的范围内延迟到标准等待周期。因此，可以在不等待第一基板的处理完成的情况下开始第二基板的处理，从而提高了投入。

7. 发明申请

US20140249667A1 Processing Facility 有权
标题翻译：处理设施
公开(公告)号：US20140249667A1
公开(公告)日：2014-09-04
申请号：US14234244
申请日：2012-07-04
申请人： Masami Suzuki
发明人： Masami Suzuki
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/677
CPC分类号： G05B19/41895 , G05B2219/31013 , H01L21/67276 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , Y02P90/20 , Y02P90/285 , Y02P90/60
摘要： A processing facility includes transport management means for managing a transport vehicle which transports a processing target object by traveling along a transporting route which extends along a plurality of processing devices and a storage device for storing the processing target objects. The transport managing means: monitors process advancement information which is transmitted from the processing device to the primary managing means; selects, as advance transport origin and before the transport command information is transmitted from the primary managing means, a processing device, among the plurality of processing devices, in which a process performed on the processing target object has been completed, or is nearly completed; and performs advance transport control in which the transport vehicle is caused to travel to the processing device selected as the advance transport origin in order to carry out the processing target object from the processing device.
摘要翻译：一种处理设备包括：运输管理装置，用于管理沿着沿着多个处理装置延伸的运送路线行进运送处理对象物体的运送车辆和用于存储处理对象物体的存储装置。传输管理装置：监视从处理装置发送到主管理装置的进程提前信息; 选择作为提前传送原点，并且在从主要管理装置发送传输命令信息之前，在对处理目标对象执行的处理已经完成或接近完成的多个处理装置中的处理装置; 并且执行使运输车辆行进到选择为先进运输原点的处理装置的前进运输控制，以便从处理装置执行处理对象物体。

8. 发明申请

US20140121828A1 ULTRA-FLEXIBLE PRODUCTION MANUFACTURING 有权
标题翻译：超灵活生产制造
公开(公告)号：US20140121828A1
公开(公告)日：2014-05-01
申请号：US14069465
申请日：2013-12-09
申请人： ABB Research Ltd.
发明人： Thomas A. Fuhlbrigge , Jeremy Newkirk , Carlos Martinez , George Q. Zhang , Gregory F. Rossano , Harald Staab , Remus Boca , Sangeun Choi , Soenke Kock , William John Eakins
IPC分类号： B25J5/00
CPC分类号： B25J5/00 , G05B19/41895 , G05B2219/31003 , G05B2219/31013 , G05B2219/32388 , G05D1/0297 , G05D2201/0216 , Y02P90/285 , Y02P90/60 , Y10S901/01
摘要： A manufacturing system has one or more work cells that each performs one or more manufacturing processes. The system also has one or more mobile transport units (“MTUs”) that deliver transportable containers containing workpieces to and from said work cells. The MTUs deliver the containers to the work cells in a manner such that the workpieces are localized in the work cells. The manufacturing system also has a computer system that has status information for each of the one or more MTUs and uses the status information to control each of the one or more MTUs to deliver the transportable containers to and from the one or more work cells.
摘要翻译：制造系统具有每个执行一个或多个制造过程的一个或多个工作单元。该系统还具有一个或多个可移动的运输单元（“MTU”），该运输单元将包含工件的可运输容器运送到所述工作单元。 MTU以将工件定位在工作单元中的方式将容器输送到工作单元。制造系统还具有计算机系统，其具有针对一个或多个MTU中的每一个的状态信息，并使用该状态信息来控制一个或多个MTU中的每一个以将运送的容器传送到一个或多个工作单元并从该一个或多个工作单元传送。

9. 发明授权

US06516238B1 Semiconductor factory automation system and method for transporting semiconductor wafers 失效
标题翻译：半导体工厂自动化系统和半导体晶圆传输方法
公开(公告)号：US06516238B1
公开(公告)日：2003-02-04
申请号：US09576418
申请日：2000-05-22
申请人： Jin-Sun Kim , Moon-Gi Kim , Chang-Kee Hong , Tae-Ho Lee , Won-Soo Cho , Yung-Hwan Chae , Woo-Kyu Lee , Jong-Mo Ahn , Kwang-Ho Lee
发明人： Jin-Sun Kim , Moon-Gi Kim , Chang-Kee Hong , Tae-Ho Lee , Won-Soo Cho , Yung-Hwan Chae , Woo-Kyu Lee , Jong-Mo Ahn , Kwang-Ho Lee
IPC分类号： G06F1900
CPC分类号： G05B19/41895 , G05B2219/31002 , G05B2219/31013 , G05B2219/31086 , G05B2219/32277 , Y02P90/18 , Y02P90/285 , Y02P90/60
摘要： A method for transporting semiconductor wafers in semiconductor factory automation system, includes the steps of: a) processing a lot of semiconductor wafers to be contained in a semiconductor wafer cassette in a process equipment; b) sending a cassette transportation request from the process equipment to a cell management server when the process equipment has processed the lot of semiconductor wafers; c) generating a transportation instruction in response to the cassette transportation request; and d) if the semiconductor wafer cassette is transported from the process equipment to a stocker by an automatic guide vehicle (AGV), simultaneously activating the AGV and the stocker by simultaneously sending the transportation instruction to the AGV and the stocker. The method in accordance with the present invention can reduce a time taken to transport the semiconductor wafers.
摘要翻译：一种在半导体工厂自动化系统中传送半导体晶片的方法，包括以下步骤：a）处理要包含在处理设备中的半导体晶片盒中的许多半导体晶片; b）当处理设备处理了许多半导体晶片时，将处理设备的盒式磁带运送请求发送到单元管理服务器; c）响应于盒运输请求产生运输指令; 以及d）如果通过自动导向车辆（AGV）将半导体晶片盒从处理设备运送到储盘器，则同时通过向AGV和储料器发送运输指令来激活AGV和储料器。根据本发明的方法可以减少运输半导体晶片所花费的时间。

10. 发明授权

US06298274B1 Conveyance system in a semiconductor manufacturing process and method for processing semiconductor wafer therein 失效
标题翻译：半导体制造工艺中的输送系统及其中半导体晶片的处理方法
公开(公告)号：US06298274B1
公开(公告)日：2001-10-02
申请号：US09388194
申请日：1999-09-01
申请人： Katsuhiro Inoue
发明人： Katsuhiro Inoue
IPC分类号： G06F1900
CPC分类号： H01L21/67276 , G05B19/4189 , G05B2219/31013 , Y02P90/28 , Y02P90/285
摘要： A conveyance system in a semiconductor manufacturing process comprises a process unit processing a semiconductor wafer, a conveyer conveying the semiconductor wafer, a conveyer controller controlling the conveyer, and a computer controlling the conveyer and the conveyer controller. In the system, the process unit sends a warning signal to said computer, indicating time of the process completion in the process unit before the process is completed, and the conveyer is moved to the process unit in response to the warning signal.
摘要翻译：半导体制造工艺中的输送系统包括处理半导体晶片的处理单元，输送半导体晶片的输送机，控制输送机的输送机控制器以及控制输送机和输送机控制器的计算机。在系统中，处理单元向处理单元发送警告信号，指示在处理完成之前在处理单元中处理完成的时间，并且响应于警告信号将传送器移动到处理单元。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式