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    • 10. 发明申请
    • DYNAMIC COMPENSATION IN ADVANCED PROCESS CONTROL
    • 高级过程控制中的动态补偿
    • US20110238197A1
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    • 2010-03-25
    • Chih-Wei HsuJin-Ning SungShin-Rung LuJong-I Mou
    • Chih-Wei HsuJin-Ning SungShin-Rung LuJong-I Mou
    • G05B13/04G06F17/00
    • G05B19/41875G05B2219/32017G05B2219/32189G05B2219/45031Y02P90/22
    • A method of semiconductor fabrication is provided. The method includes providing a model for a device parameter of a wafer as a function of first and second process parameters. The first and second process parameters correspond to different wafer characteristics, respectively. The method includes deriving target values of the first and second process parameters based on a specified target value of the device parameter. The method includes performing a first fabrication process in response to the target value of the first process parameter. The method includes measuring an actual value of the first process parameter thereafter. The method includes updating the model using the actual value of the first process parameter. The method includes deriving a revised target value of the second process parameter using the updated model. The method includes performing a second fabrication process in response to the revised target value of the second process parameter.
    • 提供了一种半导体制造方法。 该方法包括提供晶片的器件参数的模型作为第一和第二工艺参数的函数。 第一和第二工艺参数分别对应于不同的晶片特性。 该方法包括基于设备参数的指定目标值导出第一和第二处理参数的目标值。 该方法包括响应于第一过程参数的目标值执行第一制造过程。 该方法包括此后测量第一处理参数的实际值。 该方法包括使用第一过程参数的实际值更新模型。 该方法包括使用更新的模型导出第二过程参数的修正目标值。 该方法包括响应于修改的第二过程参数的目标值执行第二制造过程。