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    • 5. 发明申请
    • 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法
    • 用于生产半导体器件的器件和用于生产半导体器件的方法
    • WO2015151137A1
    • 2015-10-08
    • PCT/JP2014/001970
    • 2014-04-04
    • ダイトロンテクノロジー株式会社
    • 北田 啓順
    • H01L21/52
    • H01L24/75G11B5/105G11B5/314G11B5/6088G11B2005/0021H01L24/83H01L2224/75262H01L2224/83192H01L2224/83224H01L2224/83815H01L2924/00014
    • 【課題】光源ユニットを構成する材料に関係なくハンダを溶融するレーザ光の波長を設定することができるとともに、光源ユニット及びスライダの熱による性能劣化を抑えることができる半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法を提供する。 【解決手段】チップ12を支持するステージ42は、加熱レーザ68から照射されるレーザ光を透過する透明材料で形成されており、チップ12と基板18の接合面14cに垂直なチップ12の垂直面14bに面接触する垂直支持面43bと、基板18に対向する対向面42aと、垂直支持面43bにおける対向面42aから離れた位置を覆い加熱レーザ68から照射されたレーザ光を遮光あるいは減光する遮光部61と、対向面42aと遮光部61との間に形成された透光部62とを有している。加熱レーザ68は、透光部62を通してチップ12にレーザ光を照射してチップ12と基板18との接合面14cに設けたハンダ30を溶融してチップ12と基板18を接合する。
    • 本发明提供一种用于制造半导体器件的方法和用于制造半导体器件的器件,其能够设置用于熔化焊料的激光的波长,而与构成光源单元的材料无关,并且可以抑制性能的劣化 由来自滑块和光源单元的热量产生。 [解决方案]支撑芯片(12)的台(42)由透射材料形成,该透明材料透射从加热激光器(68)辐射的激光,并且具有:接触的垂直支撑表面(43b) 其中所述芯片(12)的垂直于所述衬底(18)的接合表面(14c)和所述芯片(12)的垂直表面(14b); 与衬底(18)相对的相对表面(42a); 覆盖与相对表面(42a)分离的垂直支撑表面(43b)的位置并减少或屏蔽从加热激光器(68)辐射的激光的遮光部分(61); 以及形成在相对表面(42a)和遮光部分(61)之间的半透明部分(62)。 加热激光器(68)通过将设置在基板(18)和芯片(12)的接合表面(14c)上的焊料(30)辐射激光,从而将芯片(12)和基板(18) 芯片(12)穿过半透明部分(62)。