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    • 7. 发明公开
    • 具有集成光电二极管的垂直腔面发射激光器装置
    • CN111801858A
    • 2020-10-20
    • CN201980016943.4
    • 2019-01-09
    • 通快光电器件有限公司
    • P·H·格拉赫
    • H01S5/026H01S5/183
    • 本发明描述一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)装置、包括VCSEL装置的光学传感器以及制造这样的VCSEL装置的方法。VCSEL装置包括第一电接触体(105)、第三电接触体(130)、第四电接触体(150)和光学谐振器。光学谐振器包括第一分布式布拉格反射器(115)、光电二极管、第二分布式布拉格反射器和用于发光的有源层(120)。有源层(120)被布置在第一分布式布拉格反射器(115)与第二分布式布拉格反射器之间。第二分布式布拉格反射器包括第一部分(125)、第二部分(135)和第三部分(145)。第一部分(125)包括具有不同折射率的至少一对成对层。所述至少一对成对层的特征在于是第二导电类型的。第二部分(135)包括具有不同折射率的至少一对成对层。所述至少一对成对层的特征在于是与第二导电类型不同的第一导电类型的。第三部分包括具有不同折射率的至少一对成对层,其中,所述至少一对成对层的特征在于是第二导电类型的。光电二极管的光吸收结构(140)被布置在第二部分(135)与第三部分(145)之间。第一电接触体(105)和另一电接触体被布置为能够提供电驱动电流,以电泵浦光学谐振器。光吸收结构(140)被布置在电驱动电流的电流路径之外。第三电接触体(130)和第四电接触体(150)被布置为能够电接触光电二极管。
    • 9. 发明授权
    • 具有集成光电二极管的垂直腔面发射激光器装置
    • CN111801858B
    • 2023-07-25
    • CN201980016943.4
    • 2019-01-09
    • 通快光电器件有限公司
    • P·H·格拉赫
    • H01S5/026H01S5/183
    • 本发明描述一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)装置、包括VCSEL装置的光学传感器以及制造这样的VCSEL装置的方法。VCSEL装置包括第一电接触体(105)、第三电接触体(130)、第四电接触体(150)和光学谐振器。光学谐振器包括第一分布式布拉格反射器(115)、光电二极管、第二分布式布拉格反射器和用于发光的有源层(120)。有源层(120)被布置在第一分布式布拉格反射器(115)与第二分布式布拉格反射器之间。第二分布式布拉格反射器包括第一部分(125)、第二部分(135)和第三部分(145)。第一部分(125)包括具有不同折射率的至少一对成对层。所述至少一对成对层的特征在于是第二导电类型的。第二部分(135)包括具有不同折射率的至少一对成对层。所述至少一对成对层的特征在于是与第二导电类型不同的第一导电类型的。第三部分包括具有不同折射率的至少一对成对层,其中,所述至少一对成对层的特征在于是第二导电类型的。光电二极管的光吸收结构(140)被布置在第二部分(135)与第三部分(145)之间。第一电接触体(105)和另一电接触体被布置为能够提供电驱动电流,以电泵浦光学谐振器。光吸收结构(140)被布置在电驱动电流的电流路径之外。第三电接触体(130)和第四电接触体(150)被布置为能够电接触光电二极管。
    • 10. 发明公开
    • 用于记录三维图像的SMI传感器的VCSEL装置
    • CN112335142A
    • 2021-02-05
    • CN201980043221.8
    • 2019-06-17
    • 通快光电器件有限公司
    • P·H·格拉赫
    • H01S5/00H01S5/026H01S5/42
    • 本发明涉及一种用于记录三维图像的自混合干涉传感器(300)的垂直腔面发射激光器(VCSEL)装置(100),所述VCSEL装置(100)包括VCSEL阵列、多个检测器(140)、第一电激光器接触体(105)和至少一个第二电激光器接触体(127),其中,VCSEL阵列包括多个激光二极管(122),其中,每个激光二极管(122)包括光学谐振器,其中,光学谐振器包括第一分布式布拉格反射器(115)、第二分布式布拉格反射器(135)和用于发光的有源层(120),其中,有源层(120)布置在第一分布式布拉格反射器(115)和第二分布式布拉格反射器(135)之间,其中,第一电激光器接触体(105)和所述至少一个第二电激光器接触体(127)被布置为能够提供电驱动电流,以对激光二极管(122)的光学谐振器电泵浦,其中,第一电激光器接触体(105)是VCSEL阵列的所有激光二极管(122)的公共接触体,其中,所述至少一个第二电激光器接触体(127)被布置为能够与VCSEL阵列的所述多个激光二极管(122)中的至少一个子组电接触,其中,每个检测器(140)被布置为能够在接收到激光(10)时产生与至少一个激光二极管(122)相关联的电自混合干涉测量信号。本发明还涉及一种用于记录三维(3D)图像的自混合干涉传感器(300)、VCSEL装置以及一种制造这样的VCSEL装置的方法。