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1. 发明专利

JP2021021588A 光学式測定装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021021588A
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：JP2019136829
申请日：2019-07-25
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：金原圭吾 , 黒木真吾
IPC分类号： G01B11/02
摘要：【課題】光ビームのスポット径よりも細い測定対象物の寸法を好適に測定可能な光学式測定装置を提供する。【解決手段】光学式測定装置は、測定対象物が配置される測定領域に光ビームを照射して走査方向に走査する光ビーム走査部と、測定領域を通過した光ビームを受光して受光信号を出力する受光部と、受光信号の値としきい値との大小関係を示す信号を出力する比較回路と、比較回路の出力信号に基づいて測定対象物の走査方向における寸法を出力する演算処理部と、比較回路のしきい値を調整するしきい値調整部と、を備える。受光信号の微分信号の値が最小値又は極小値となるタイミングに対応する受光信号の値を第1の値とし、受光信号の微分信号の値が最大値又は極大値となるタイミングに対応する受光信号の値を第2の値とすると、しきい値調整部は、しきい値を、第1の値、第2の値、及び、第1の値と第2の値との間の値の、少なくとも一つに調整する。【選択図】図8

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