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1. 发明专利

JP6400262B1 極低温冷凍機および磁気シールド有权
公开(公告)号：JP6400262B1
公开(公告)日：2018-10-03
申请号：JP2018537676
申请日：2018-03-27
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：松村陽介 , 森江孝明 , 吉田潤
IPC分类号： F25B9/00
CPC分类号： F25B9/00 , F25B9/14 , H05K9/00
摘要：極低温冷凍機は、二段冷却ステージ72と、二段冷却ステージ72を末端に備える二段シリンダ51と、磁性蓄冷材60bを備え、二段シリンダ51内を往復動可能に二段シリンダ51に収容された二段ディスプレーサ52と、二段冷却ステージ72に設置され、二段シリンダ51の外側を二段シリンダ51に沿って延在する磁気シールド70と、を備える。磁気シールド70は、常伝導体で形成され、10K以下の温度領域における電気伝導率と磁気シールド70の肉厚との積が60MS(メガジーメンス)以上1980MS以下である。

2. 发明专利

JP2018151148A 極低温冷凍機审中-公开
公开(公告)号：JP2018151148A
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：JP2017049497
申请日：2017-03-15
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：包乾 , 許名堯
IPC分类号： F25B9/14 , F25B9/00
CPC分类号： F25B9/00 , F25B9/14
摘要：【課題】多段式の極低温冷凍機の冷却性能を向上できる極低温冷凍機を提供する。【解決手段】極低温冷凍機100は、一段シリンダ34および二段シリンダ40と、一段シリンダ34の二段シリンダ40側の端部に設けられる一段ステージ32と、二段シリンダ40の一段シリンダ34とは反対側の端部に設けられる二段ステージ38と、二段ステージ38を収容し、二段ステージ38への外部からの輻射熱をシールドするための輻射シールド16と、二段ステージ38に取り付けられ、二段ステージ38の温度を検出する温度センサ48と、を備える。輻射シールド16には、輻射シールド16の中から外に温度センサ48の出力ケーブルを引き出すためのケーブル挿通孔58が形成されており、ケーブル挿通孔58は、輻射シールド16の外から中に入り込む輻射熱が二段ステージ38に直射しないように構成されている。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2018128252A コールドヘッドの製造方法、超電導磁石の製造方法、検査装置の製造方法、およびクライオポンプの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018128252A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：JP2018083737
申请日：2018-04-25
申请人：株式会社東芝 , 東芝マテリアル株式会社
发明人：山田勝彦 , 布施圭一
IPC分类号： H01F6/04 , G01N24/00 , F25B9/00
CPC分类号： F25B9/14 , C09K5/14 , F25B2309/003 , F28D17/02
摘要：【課題】コールドヘッドのステージに対する蓄冷材粒子の充填率を高めつつ、冷媒ガスの通気性の低下を抑制するコールドヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】実施形態のコールドヘッドの製造方法は、蓄冷容器内に第1の蓄冷材粒子群を充填する工程と、蓄冷容器内に第1の蓄冷材粒子群と金属メッシュ材4で区分けしつつ、第2の蓄冷材粒子群を充填する工程とを具備する。金属メッシュ材4として、メッシュ状に編み込まれ、線径が20μm以上90μm以下である金属線7を有し、かつ長辺の長さが第1および第2の蓄冷材粒子群の平均粒径の1/10以上1/3以下である四角形状のメッシュ穴6を有するメッシュ材を用いる。【選択図】図3

4. 发明专利

JP2018100793A フリーピストン型冷凍機审中-公开
公开(公告)号：JP2018100793A
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：JP2016246241
申请日：2016-12-20
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：湯本健太 , 平塚善勝 , 中野恭介
IPC分类号： F16F15/02 , F25B9/14
CPC分类号： F16F15/02 , F25B9/14
摘要：【課題】外部から作用する振動の影響を受けにくいフリーピストン型冷凍機を提供する。【解決手段】フリーピストン型冷凍機は、圧力容器17と、圧力容器17に収容された軸方向に往復動可能なフリーピストンと、軸方向と異なる方向を向く少なくとも1つの回転軸まわりに圧力容器17を回転させることによってフリーピストンの姿勢を変える姿勢変更機構20と、を備える。フリーピストン型冷凍機は、圧力容器17に設けられた冷却ステージ13aと、被冷却物に冷却ステージ13aを接続する柔軟伝熱部と、をさらに備えてもよい。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6305219B2 スターリング型パルス管冷凍機有权
公开(公告)号：JP6305219B2
公开(公告)日：2018-04-04
申请号：JP2014116446
申请日：2014-06-05
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：中野恭介 , 平塚善勝
IPC分类号： F25B9/00
CPC分类号： F25B9/145 , F25B9/14 , F25B2309/001 , F25B2309/1408 , F25B2309/1413 , F25B2309/1421

6. 发明专利

JP2017215129A GM冷凍機审中-公开
公开(公告)号：JP2017215129A
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：JP2016110946
申请日：2016-06-02
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：許名堯 , 包乾 , 森江孝明
IPC分类号： F25B9/14
CPC分类号： F25B9/14
摘要：【課題】複数のディスプレーサを有するGM冷凍機に関し、改善されたバルブ構成を提供する。【解決手段】GM冷凍機は、第1コールドヘッド14aの吸気を可能とする第1吸気バルブV1と、第1コールドヘッド14aの排気を可能とする第1排気バルブV2と、第1コールドヘッド14aと第2コールドヘッド14bの均圧化を可能とする均圧バルブV5と、を含むバルブ群を定めるバルブ部72と、を備える。バルブ部72のバルブロータは、バルブステータのステータ平面に面接触するロータ平面を備える。バルブロータは、ロータ平面に開口し第1吸気バルブV1の一部を形成する高圧流路と、ロータ平面に開口し第1排気バルブV2の一部を形成する低圧流路と、ロータ平面に開口し均圧バルブV5の一部を形成する均圧流路と、を備え、高圧流路、低圧流路、および均圧流路がロータ平面上でバルブ回転軸まわりに円周状に配列されている。【選択図】図1

7. 发明专利

JPWO2015146761A1 スターリング冷凍機审中-公开
公开(公告)号：JPWO2015146761A1
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：JP2016510280
申请日：2015-03-19
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：中野　恭介 , 恭介中野 , 善勝平塚 , 善勝平塚 , 健太湯本 , 健太湯本
IPC分类号： F25B9/14
CPC分类号： F25B9/14 , F25B2309/001 , F25B2309/003 , F25B2309/1428
摘要：スターリング冷凍機において、ディスプレーサ22は、ガスが満たされた内部空間を有する。膨張機本体20は、ディスプレーサ22を往復移動可能に収容する。ディスプレーサ22は、ガスの対流を抑制する1または複数の対流抑制板42を内部空間に収容する。対流抑制板は、ディスプレーサの長手軸に交差する方向に配置されている。蓄冷器38は、ディスプレーサ22の外周部においてディスプレーサ22の長手軸を中心軸とする円筒形状の所定の領域に位置するように膨張機本体20に備えられてもよい。対流抑制板42は、ディスプレーサ22が往復移動しても、蓄冷器38が位置する所定の領域と対応する位置となるように備えられてもよい。

8. 发明专利

JPWO2015072086A1 基板処理装置および方法有权
公开(公告)号：JPWO2015072086A1
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：JP2015547620
申请日：2014-10-21
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：雄二梶原 , 雄二梶原
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67109 , C23C14/58 , F25B9/002 , F25B9/02 , F25B9/14 , H01L21/67115 , H01L21/68742 , H01L43/02 , H01L43/08 , H01L43/10 , H01L43/12 , H05B1/0227 , H05B1/0247
摘要：本発明は、よりクリーンな状態で基板を搬送可能な、基板を冷却するための基板処理装置および方法を提供する。本発明の一実施形態に係る基板処理装置としての基板冷却装置100は、チャンバ101と、冷却を行う冷却部109、112と、チャンバ内において基板Sを載置するための基板載置面103aを有しているとともに、冷却部により冷却される基板ホルダ103と、チャンバ内において基板載置面の側方を取り囲む側壁部を有しているとともに、冷却部により冷却されるシールド111と、を備える。さらに、シールドの内側の面の近傍には、シールドヒータ116が設けられている。

9. 发明专利

JP2017036731A クライオポンプ审中-公开
标题翻译：低温泵
公开(公告)号：JP2017036731A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2016155282
申请日：2016-08-08
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：谷津貴裕
IPC分类号： F04B37/16 , F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , F25B9/14
摘要：【課題】クライオポンプの気体吸蔵量を向上する。【解決手段】クライオポンプ10は、シールド主開口34から流入する気体の流れを冷凍機構造部21から偏向させる気体流れ調整部材80を備える。気体流れ調整部材80は、冷凍機16の第2冷却ステージ24及び第2クライオパネルユニット20の両方と非接触であるように冷凍機構造部21に隣接して配置されている。気体流れ調整部材80は、冷凍機16の第1冷却ステージ22に熱的に結合されていてもよい。【選択図】図1
摘要翻译：本发明的一个目的是提高低温泵的气体存储容量。的低温泵10上设置有燃气流量调节部件80以偏转气体从从冰箱结构21屏蔽主开口34流出的流动。气流调节构件80位于邻近该冰箱结构21，使得两个第二冷却台24的非接触式和冰箱16的第二低温板单元20。燃气流量调节部件80可以被热耦合到冰箱16的第一冷却级22。点域1

10. 发明专利

JP6067477B2 極低温冷凍機有权
标题翻译：低温冰箱
公开(公告)号：JP6067477B2
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：JP2013104502
申请日：2013-05-16
申请人：住友重機械工業株式会社
发明人：森江孝明 , 許名堯
IPC分类号： F25B9/14
CPC分类号： F25B9/14 , F25B2500/01 , F25B9/10

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