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1. 发明专利

JP2018513387A 深さを決定する方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018513387A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：JP2017555571
申请日：2016-01-11
申请人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト , Siemens Aktiengesellschaft
发明人：シック、アントン
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02038 , G01B11/2441 , G01B11/25 , G01B11/254
摘要：対象物(10)の深さを決定するために干渉計による方法が提案されている。この方法には、検出装置(2)、計算装置(3)、並びに、少なくとも1つの第1コヒーレント光源(41)及び第2コヒーレント光源(42)を含む投影装置(4)の準備が含まれる。本発明はさらに、この方法を実施するための装置(1)に関する。【選択図】図1

4. 发明专利

JP6170385B2 測定装置、測定方法および物品の製造方法有权
公开(公告)号：JP6170385B2
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：JP2013186578
申请日：2013-09-09
申请人：キヤノン株式会社
发明人：岩崎靖
IPC分类号： G01B5/20
CPC分类号： G01N3/56 , G01B11/007 , G01B7/012 , G01B7/28 , G01B9/02027

5. 发明专利

JPWO2014156785A1 光断層像撮影装置および医療用観察装置有权
标题翻译：光学断层成像装置和医用观察装置
公开(公告)号：JPWO2014156785A1
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：JP2015508329
申请日：2014-03-17
申请人：株式会社ニデック
发明人：潤平西山 , 潤平西山 , 幸弘樋口 , 幸弘樋口
IPC分类号： A61B3/10 , A61B1/00 , G01N21/17
CPC分类号： A61B3/102 , A61B3/0058 , A61B3/14 , A61B5/0066 , A61B5/7425 , G01B9/02004 , G01B9/02027 , G01B9/02091 , G01B2290/45
摘要：断層画像の撮影に用いる照射ユニットを容易に変更することができる光断層像撮影装置を提供することを目的の一つとする。光断層像撮影装置1は、被検体の組織の断層画像を取得する。光断層像撮影装置1は、カップラー12およびユニット切換スイッチ20を備える。カップラー12は、測定光源11から出射された光束を測定光と参照光に分割する。また、カップラー12は、組織で反射された測定光と、分割された参照光とを合成して、断層画像を取得するための干渉光を生成する。ユニット切換スイッチ20は、測定光を組織に照射する複数の照射ユニット17〜19のうち、測定光源12から出射された光束を導波する照射ユニットを切り換える。図1
摘要翻译：本发明的另一个目的是提供一种光学断层成像装置，该装置可以很容易地改变照射单元将用于对断层图像成像。光学断层成像装置1获得的受试者的组织的断层图像。光学断层成像装置1设置有一个耦合器12和单元切换开关20。耦合器12将来自测量光源11的测量光与参照光射出的光束。此外，耦合器12包括由组织所反射的测量光，由分割参考光合成以生成干涉光，用于捕获的断层图像。单元切换开关20，所述多个照明单元中的17〜19照射测量光到组织，切换所述照射单元用于引导从测量光源12发射的光束。图1

6. 发明专利

JP5787255B2 PS−OCTの計測データを補正するプログラム及び該プログラムを搭載したPS−OCTシステム有权
标题翻译： PS-OCT系统与程序和用于校正PS-OCT的测量数据中的节目
公开(公告)号：JP5787255B2
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：JP2011153594
申请日：2011-07-12
申请人：国立大学法人筑波大学
发明人：安野嘉晃 , 段煉 , 伊藤雅英
IPC分类号： G01N21/17
CPC分类号： G06F7/483 , A61B5/0066 , A61B5/7203 , G01B9/02011 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/0207 , G01B9/02088 , G01B9/02091 , A61B3/102 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/274 , G01N21/4795

7. 发明专利

JP2015162396A ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置有权
标题翻译：阶段装置和使用该装置的充电颗粒束装置
公开(公告)号：JP2015162396A
公开(公告)日：2015-09-07
申请号：JP2014037689
申请日：2014-02-28
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：小川博紀 , 水落真樹 , 中川周一 , 菅原司
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/28 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , G01B9/02021 , G01B9/02027 , G01N23/2204 , G01B15/00 , H01J2237/20292 , H01J2237/2817
摘要：【課題】本発明は、試料室の小型化とレーザ干渉計による高精度な位置検出の両立を目的とする荷電粒子線装置およびステージ装置の提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するため、本発明では試料を搭載するための試料ステージと、当該試料ステージの位置を検出する第1の位置検出装置を備えたステージ装置であって、前記第1の位置検出装置が検出可能なステージ移動範囲の一部に、前記試料ステージが位置するときに、前記試料ステージの位置を検出する第2の位置検出装置と、当該第2の位置検出装置によって得られる位置検出結果に基づいて、前記第1の位置検出装置のオフセット量を調整する制御装置を備えたステージ装置、およびそれを用いた荷電粒子線装置を提案する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种满足样品室的压实和高精度位置检测的带电粒子束装置和载物台装置。解决方案：包括用于安装样品的样品台的载物台装置和用于检测样品的第一位置检测器样品台的位置还设置有第二位置检测器，用于当其位于可由第一位置检测器检测的载物台移动范围的一部分中时，用于检测样品台的位置;以及控制器，用于调节基于由第二位置检测器获得的位置检测结果，第一位置检测器的偏移量。还提出了使用平台装置的带电粒子束装置。

8. 发明专利

JP5752040B2 対チャープFMCWコヒーレントレーザレーダー用の小型の光ファイバ配置有权
标题翻译：用于对紧凑光纤配置啁啾相干FMCW激光雷达
公开(公告)号：JP5752040B2
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：JP2011526995
申请日：2009-09-11
申请人：ニコン・メトロロジー・エヌヴェ
发明人：ミナ・レツク , アンソニー・スロットヴィンスキー
IPC分类号： G01S17/32
CPC分类号： G01B9/02004 , G01B11/026 , G01B9/02003 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/0207 , G01B9/02077 , G01S17/325 , G01B2290/45 , G01B2290/60 , G01B2290/70 , G01S7/4818 , G02B6/32

9. 发明专利

JP5743380B2 光断層撮像装置および光断層撮像方法有权
标题翻译：所述光学断层成像装置和光学断层成像方法
公开(公告)号：JP5743380B2
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：JP2009052879
申请日：2009-03-06
申请人：キヤノン株式会社
发明人：沼尻泰幸 , 山田和朗 , 廣瀬太
IPC分类号： A61B3/12 , A61B3/10
CPC分类号： G01B9/02091 , A61B3/102 , G01B9/02017 , G01B9/02027 , G01B9/02044 , G01B9/02048 , G01B9/02077 , G01B9/02087 , G01B2290/45

10. 发明专利

JP2015106606A 位置決め装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法有权
标题翻译：定位装置，光刻装置和制造方法
公开(公告)号：JP2015106606A
公开(公告)日：2015-06-08
申请号：JP2013247124
申请日：2013-11-29
申请人：キヤノン株式会社
发明人：山田雅教
IPC分类号： G03F9/02 , G01B11/00 , H01L21/027
CPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02027 , G03F7/70725 , G03F7/70775
摘要：【課題】位置計測手段を切り替えて用いる位置決め装置において、従来よりも位置決め精度を高めることが可能な位置決め装置を提供することを目的とする。【解決手段】移動体を位置決めする位置決め装置であって、移動体の第1方向における位置を計測可能な第1及び第2計測手段と、移動体を第1方向に駆動可能な駆動手段と、移動体の第1方向における位置指令情報と第1または第2計測手段からの位置情報とに応じた制御偏差と、所定の値に設定可能な制御パラメータと、に基づいて駆動手段を駆動するための制御入力を生成する制御手段と、制御入力の生成において使用する計測手段を、第1計測手段から第2計測手段に、あるいは、第2計測手段から第1計測手段に切り替える切り替え手段と、切り替え手段による切り替えに応じて、制御パラメータの設定値を変更する変更手段と、を備えることを特徴とする。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种切换和使用位置测量装置并且可使定位精度高于以前的定位装置。解决方案：提供一种定位装置，其定位移动体，并且定位装置包括：第一和第二测量装置，其能够测量能够沿第一方向驱动所述移动体的所述移动体驱动装置的第一方向位置; 基于与所述移动体的第一方向位置指令信息相对应的控制偏差和来自所述第一或第二测量装置的位置信息，生成用于驱动所述驱动装置的控制输入的控制装置; 用于切换测量装置的切换装置，用于产生从第一测量装置到第二测量装置或从第二测量装置到第一测量装置的控制输入; 以及随着切换装置切换测量装置而改变控制参数的设定值的改变装置。

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