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    • 1. 发明专利
    • テープの剥離強度測定装置
    • JP2021148482A
    • 2021-09-27
    • JP2020046187
    • 2020-03-17
    • 株式会社村田製作所
    • 森川 克史岩本 耕一
    • B65H41/00B65H7/02G01N19/04
    • 【課題】基材テープに対するカバーテープの剥離点における剥離角度を90°以下に設定することができるテープの剥離強度測定装置を提供する。 【解決手段】キャリアテープ(基材テープ)5に貼着されたカバーテープ6をキャリアテープ5から剥離する装置であって、カバーテープ6が貼着されたキャリアテープ5が長手方向に沿って搬送される搬送路10と、キャリアテープ5から剥離されるカバーテープ6を引っ張ってカバーテープ6の剥離動作を連続的に行う剥離駆動部20と、搬送路10と剥離駆動部20との間に配置され、カバーテープ6がキャリアテープ5から剥離する剥離点Pにおけるキャリアテープ5に対するカバーテープ6の剥離角度θを90°以下に調整する剥離角度調整部30と、剥離駆動部20によってカバーテープ6をキャリアテープ5から剥離させる力を剥離強度として測定する剥離強度測定手段50と、を備える。 【選択図】図1
    • 9. 发明专利
    • テープ貼着装置
    • JP2021064732A
    • 2021-04-22
    • JP2019189466
    • 2019-10-16
    • 株式会社ディスコ
    • 伊藤 史哲千東 謙太
    • B65H41/00B65H37/04H01L21/683
    • 【課題】テープ貼着装置において、気泡が入らないように、かつ均一なテンションでリングフレーム及びウェーハに円形のテープを貼着する。 【解決手段】リングフレーム保持部20とフレーム開口内のウェーハ保持部21とからなる保持手段2と、テープユニットTUを送り出すユニット80とテープT2が剥がされたシートT1を巻き取るユニット82との間でテープユニットTUを屈曲させシートT1からテープT2を剥離させるピールプレート15と、テープT2をリングフレームとウェーハとに押し付けながら貼着し絶縁体で形成されたローラ30と、を備え、ローラ30表面部分に、剥離帯電したテープT2の電荷の反対電荷を帯電させる手段を備え、ピールプレート15先端部でシートT1から剥離されたことで帯電したテープT2を、ローラ30表面部分に静電気で貼り付けさせ、転動するローラ30でテープT2をリングフレームとウェーハとに貼着する、テープ貼着装置1。 【選択図】図2