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1. 发明授权

KR101912647B1 측정 물체들에 대한 두께 측정을 위한 방법 및 상기 방법을 적용하기 위한 장치 有权
公开(公告)号：KR101912647B1
公开(公告)日：2018-10-29
申请号：KR1020167013913
申请日：2014-08-28
申请人： 마이크로-엡실론 메세테크니크 게엠베하 앤체오. 카게
发明人： 푸엘마이어,헤르버트 , 샬모서,귄터
IPC分类号： G01B21/08 , G01B21/04
CPC分类号： G01B11/06 , G01B11/14 , G01B21/042 , G01B21/045 , G01B21/08 , G01B2210/44
摘要： 측정물체들의두께를측정하기위한방법으로서, 센서들서로에대하여미리정해진거리에서, 적어도하나의센서는상부로부터측정물체에대하여측정을하고, 적어도하나의다른센서는하부로부터측정물체에대하여측정을한다. 물체의두께는수식 D = Gap - (S1 + S2)에의해계산되며, D = 측정물체의두께, Gap = 센서들사이의거리, S1 = 센서로부터측정물체의상면까지의거리, 및 S2 = 하부센서로부터측정물체의하면까지의거리이다. 측정물체의기울기및/또는센서들의변위및/또는센서들의기울기에의해생성된측정오차는보정된다. 변위및/또는기울기는계측에의해판단되며, 이에따라, 계산된두께또는계산된두께프로파일은수정된다. 부가적으로, 본발명은상기방법을적용하기위한장치와관련이있다.

2. 发明公开

KR20180071934A 광학적 위치 측정 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20180071934A
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：KR20170149350
申请日：2017-11-10
申请人： HEIDENHAIN GMBH DR JOHANNES
发明人： LEPPERDINGER GOTTHARD
IPC分类号： G01B11/14 , G01B11/25 , G01D13/12 , G06F17/10
CPC分类号： G01B11/14 , G01D5/34723 , G01D5/38 , G02B26/106
摘要： 본발명은두 물체의상대적위치를측정하는광학적위치측정장치에관한것이다. 측정눈금(10)과광패턴(M) 간의상호작용을통해서검출장치(21) 상에명부영역과암부영역을포함하는버니어(vernier) 패턴이생성된다. 측정눈금은위상격자로서, 입사하는광패턴(M)에대하여, 기하광학및 파동광학사이의작용을통해서버니어패턴의명부영역의세기가극대화되도록형성된다.

3. 发明授权

KR101872431B1 교량 신축 이음부 유간 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR101872431B1
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：KR1020170058933
申请日：2017-05-11
申请人： 한국도로공사
发明人： 김인배 , 이병주 , 박창호 , 이상래
IPC分类号： G01B11/14 , G06T7/00 , G06T7/136 , G06T7/50 , G01D21/00
CPC分类号： G01B11/14 , G01D21/00 , G06T7/001 , G06T7/136 , G06T7/50
摘要： 본발명은교량신축이음부유간측정장치에관한것으로, 이동차량에신축이음부유간측정장비를장착함으로써, 이동차량을이용하여교량도로를주행하는방식으로교량의신축이음부유간을편리하고신속하게측정할수 있고, 교통차단없이도교량의주행차로에대한신축이음부유간을측정할수 있고, 점검자의안전사고위험을제거할수 있으며, 이동차량에장착된신축이음부유간측정장비로서지면을고속촬영할수 있는영상측정부를적용하여촬영영상을분석하는방식으로신축이음부의영상을신속하고편리하게분석할수 있고, 지면의높낮이에대한단차프로파일을측정할수 있는단차측정부를추가장착하여영상정보에의한신축이음부유간측정결과를검증할수 있어더욱정확한측정결과를산출할수 있는교량신축이음부유간측정장치를제공한다.

4. 发明公开

KR20180067523A 시공간 객체 인벤토리를 발생하도록 이동 로봇들의 객체 관측들을 이용하고, 이동 로봇들에 대한 모니터링 파라미터들을 결정하도록 인벤토리를 이용 审中-公开
公开(公告)号：KR20180067523A
公开(公告)日：2018-06-20
申请号：KR20187009186
申请日：2016-09-09
申请人： X DEV LLC
发明人： ANDERSON SPRECHER PETER ELVING
IPC分类号： B25J9/16 , G01B11/14 , G01C21/00 , G05D1/02 , G06K9/00
CPC分类号： B25J9/1664 , B25J5/00 , B25J9/1694 , G01B11/14 , G01C21/00 , G05D1/0274 , G05D1/0297 , G05D2201/0216 , G06K7/10376 , G06K9/00664 , G06K2017/0045 , G06K2017/0051 , G06Q10/087 , Y10S901/01
摘要： 방법들, 장치들, 시스템들및 컴퓨터판독가능매체는이동로봇들로부터의객체관측들에근거하여시공간객체인벤토리를발생하고, 상기시공간객체인벤토리에근거하여하나이상의미래시간기간들동안상기이동로봇들에대한모니터링파라미터들을결정하기위해제공된다. 일부구현예들은상기시공간객체인벤토리를사용하여하나이상의특정기준이만족될때 상기환경의하나이상의영역들에서발생하는객체들의이동량을결정하는것과, 그리고그 결정을사용하여상기하나이상의특정기준이또한만족될때 미래시간기간들에서상기이동로봇들의이동의하나이상의양태에영향을주는명령들을상기이동로봇들중 하나이상에제공하도록사용될수 있는모니터링파라미터들을결정하는것에관한것이다.

5. 发明授权

KR101864770B1 위치 측정 장치 및 이러한 위치 측정 장치를 포함하는 시스템 有权
公开(公告)号：KR101864770B1
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：KR20130025270
申请日：2013-03-08
IPC分类号： G01S17/06 , G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01B11/14 , G01B11/26 , G01D5/34715 , G01D5/34746
摘要： 위치측정장치및 이러한위치측정장치를포함하는시스템. 위치측정장치는제2 대상에대한제1 대상의위치를기록하는데사용되고, 제1 및제2 대상은적어도 2개의측정방향을따라서로에대하여이동가능하게구성된다. 위치측정장치는두 대상의하나와연결되는광 유닛을포함하고정의된구성에서적어도하나의광원, 검출기시스템및 부가의광 요소를포함한다. 또한, 위치측정장치는다른대상상에구성된측정기준 - 반사기유닛을포함하고, 위치감지를위한광 유닛에의해광학적으로스캔가능한하나의트랙에서적어도 2개의다르게형성된영역을포함한다. 영역의다른형성은위치감지동안다양한측정방향사이에서스위칭을가능하게한다; 위치신호는각 측정방향에대해 2개의대상의상대적인이동과관련하여광 유닛에의해생성될수 있다.

6. 发明授权

KR101847836B1 도로 경계 검출 시스템 및 방법과 이를 이용한 차량 有权
公开(公告)号：KR101847836B1
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：KR1020150186097
申请日：2015-12-24
申请人： 현대자동차주식회사 , 기아자동차주식회사 , 연세대학교 산학협력단
发明人： 박성근 , 이훈 , 유민균 , 김현주 , 김영원 , 노주윤 , 김은태 , 김범성
IPC分类号： G06K9/00 , G06K9/46 , B60W30/12
CPC分类号： G01C21/26 , B60R11/04 , B60R2011/004 , G01B11/14 , G01B11/26 , G01C21/3602
摘要： 개시된발명은도로경계검출시스템및 방법과이를이용한차량에관한것으로서, 물체를향해광을조사하여물체로부터반사되는계측데이터를획득하는광 스캐너; 및계측데이터를기초로복수의접촉점이포함된개수의우선순위에따라복수의직선을추출하고, 추출된복수의직선각각에포함된접촉점및 접촉점과동일기울기를가지는타 직선에포함된비접촉점에점수를부여하여각 직선별점수를산출하고, 산출된각 직선별점수의우선순위에따라도로경계를선택하는프로세서;를포함할수 있다.

7. 发明授权

KR101833396B1 프레넬 회절 보더 프로파일들을 평가하여 오브젝트의 적어도 하나의 에지의 포지션을 결정하는 방법 有权
标题翻译：评估菲涅耳衍射边界轮廓以确定物体的至少一个边缘的位置的方法
公开(公告)号：KR101833396B1
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR1020157015226
申请日：2013-10-09
申请人： 시코라 아게
发明人： 블롬워너 , 시코라해럴드
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/02 , G01B11/10
CPC分类号： G01B11/14 , G01B11/028 , G01B11/105
摘要： 본발명은, 오브젝트의, 특히스트랜드의적어도하나의에지의포지션을결정하는방법으로서, 적어도하나의코히어런트광원으로부터의광을사용하여상기오브젝트를조명하는단계로서, 회절보더들이오브젝트에의하여생긴음영의기하학적경계둘 다에생성되는, 단계, 적어도하나의회절보더의공간적강도프로파일을적어도하나의단일또는다중라인(multi line) 광센서들을사용하여기록하는단계, 적어도하나의기록된강도프로파일을위치에대하여미분하고이것을제곱된위치축에서도시하는단계, 위치에대하여미분되고제곱된위치축에서도시된적어도하나의기록된강도프로파일을적어도하나의주기적참조강도프로파일과비교하는단계, 상기오브젝트의적어도하나의에지의포지션을완료된비교에기초하여결정하는단계를포함하는, 방법에관련된다.
摘要翻译：本发明涉及一种确定物体的至少一个边缘的位置的方法，尤其是线的方法，包括用来自至少一个相干光源的光照射物体，该方法包括以下步骤：在至少一个单线或多线光学传感器上记录至少一个衍射边界空间强度分布，产生至少一个记录的强度分布，将微分和平方位置轴中所示的关于该位置的至少一个记录的强度分布与至少一个周期性参考强度分布进行比较; 并且基于完成的比较来确定至少一个边缘的位置。

8. 发明授权

KR101827494B1 이미지 수집 시스템과 이미지 수집 방법 有权
标题翻译：图像采集系统和图像采集方法
公开(公告)号：KR101827494B1
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：KR1020167029163
申请日：2015-11-03
申请人： 보에 테크놀로지 그룹 컴퍼니 리미티드
发明人： 천,숴
IPC分类号： H04N13/02 , H04N5/225 , H04N5/232
CPC分类号： H04N5/23232 , G01B11/14 , G06T3/4038 , H04N5/2258 , H04N5/23203 , H04N5/23238 , H04N5/23296 , H04N5/247 , H04N5/349
摘要： 이미지수집시스템과이미지수집방법에있어서, 상기이미지수집시스템은, 구동지지수단을구비하는받침대; 이미지조합에사용되는이미지를수집하되, 구동지지수단상에고정되고, 수평방향또는수직방향에서나란히배열되어설치되며, 렌즈는고정초점렌즈이고, 초점거리가동일한적어도두 개의이미지수집기기를포함하는이미지수집모듈; 피촬영대상과이미지수집모듈사이의거리를획득하는거리획득모듈; 상기거리, 및이미지수집기기의현재수평방향또는수직방향에서의시각에기반하여, 상기적어도두 개의이미지수집기기중의하나의이미지수집기기가수평방향또는수직방향에서촬영할수 있는피촬영대상의폭을산출하고, 상기폭에기반하여, 상기적어도두 개의이미지수집기기의수평방향또는수직방향에서의상대적회전각도를산출하는프로세서; 상기상대적회전각도에기반하여, 이미지수집기기가회전되도록제어하는컨트롤러를포함한다.
摘要翻译：一种图像获取系统和图像获取方法，该图像获取系统包括：具有驱动支持装置的基座; 但是，在组合获得的图像的图像，被固定到驾驶辅助可以是单相，并且安装被并排在水平方向或垂直方向上并排设置，所述透镜是固定焦距透镜，并且焦距的包含相同的至少两个图像收集器中的图像收集模块; 距离获取模块，用于获取待成像物体与图像获取模块之间的距离; 所述eseoui的距离，以及当前的水平方向或基于时间的图像采集装置的垂直方向，以及计算所述至少两个图像获取可以在水平方向上或在血液了目的地的装置的垂直方向的宽度取一个图像收集器组处理器，用于基于所述宽度来计算所述至少两个图像采集装置在水平方向或垂直方向上的相对旋转角度; 以及用于基于相对旋转角度来控制图像收集器的旋转的控制器。

9. 发明授权

KR101817395B1 기판 반송 기구의 위치 검출 방법, 기억 매체 및 기판 반송 기구의 위치 검출 장치 有权
标题翻译：基板传送机构的位置检测方法，存储介质的位置检测装置和基板传送机构
公开(公告)号：KR101817395B1
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：KR1020150017299
申请日：2015-02-04
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 곤도게이스케
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66 , H01L21/68
CPC分类号： G01B11/14 , H01L21/67259 , H01L21/67766 , H01L21/681
摘要： (과제) 기판을반송하는기판반송기구의수평방향의위치를자동으로검출하는것. (해결수단) 기판반송기구인제 1 반송암(2)에마련된광투과형의광센서(5)를, 2개의원추체의저면끼리를접속한형상을이루는피검출부(3)에대하여승강시켜, 광센서(5)의광축 F를가로막는피검출부(3)의높이치수를계측한다. 포크(23)를제 1 방향및 제 2 방향으로각각설정하여피검출부(3)의높이치수를계측하고, 높이치수를계측한경사부(33)의위치로부터, 피검출부(3)의기준위치 N까지의수평방향의거리를각 방향마다파악한다. 기준위치 N을통과하고, 서로기울기가다른 2개의직선의식을구하고, 이들직선의교점을기준위치 N의좌표위치로서취득한다. 이기준위치 N의좌표위치는, 제 1 반송암(2)의구동계로관리되고있는좌표계를이용하여파악되고있으므로, 제 1 반송암(2)의수평방향의위치를자동으로검출할수 있다.
摘要翻译：（问题）自动检测用于输送基板的基板输送机构的水平方向上的位置。 [解决问题的手段基板搬送机构，以光学传感器5的光透射在西班牙提供给第一承载臂（2），血液检测器的提升（3）形成连接两个锥体之间的底表面的形状，所述光传感器测量与光纤5的光轴F相交的待检测部分3的高度尺寸。从叉23 reulje第一方向和Hankyong部（33）测量在两个方向上分别设定被检测部分的高度和高度测量尺寸的位置（3），到检测器的参考位置（3）N 掌握每个方向的水平方向的距离。通过参考位置N获得具有彼此不同斜率的两个直线表达式，并且获得这些直线的交点作为参考位置N的坐标位置。由于通过使用由第一传送臂2管理的坐标系来掌握第二传送臂2的坐标位置，所以能够自动检测第一传送臂2在水平方向上的位置。

10. 发明授权

KR101804527B1 다파장 광 주사 간섭계를 이용한 3차원 형상 측정장치 有权
标题翻译：使用波长扫描光干涉仪的三维形状测定装置
公开(公告)号：KR101804527B1
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：KR1020160062277
申请日：2016-05-20
申请人： 주식회사 미르기술 , 선문대학교 산학협력단
发明人： 김기영 , 윤종극 , 유상혁 , 박윤창
IPC分类号： G01N21/88 , H04N5/335 , G01B11/14 , G01B11/16
CPC分类号： G01B11/14 , G01B11/16 , G01N21/88 , H04N5/335
摘要： 본발명은다파장광 주사간섭계를이용한 3차원형상측정장치에관한것으로서, 적어도 2개이상의서로다른파장대역의광을조사하는광원과, 상기광원에서조사된광을분리하는광 분리기, 상기광 분리기의하단에배치되어상기광 분리기에서반사된광이조사되는시료, 상기광분리기에서투과된광의경로상에배치되고, 상기광의파장대역개수에상응하는개수의기준광을제공하는기준거울부, 상기시료에서반사된측정광과상기기준거울부에서반사된기준광들을수신하고, 수신된이미지를파장대역별로분리하여출력하는측정부및, 상기측정부로부터제공되는측정광과기준광에의해생성된서로다른파장대역별간섭이미지를분석함으로써, 서로다른높이영역에대한측정시료의높이를동시에계산하는 3차원형상생성단말을포함하여구성되고, 상기측정시료를측정시료의전체높이보다작은이동범위에서높이방향으로이동시키면서높이측정과정을반복적으로수행하되, 상기파장대역개수가많을수록측정시료의이동범위가보다작게설정되는것을특징으로한다.본발명에따르면, 스캔시간이현저하게감소됨에따라검사시간이단축되고그에따라수율이현저하게향상됨과아울러, 스캔을위한시료또는기준거울의이동거리가감소됨에따라구동계제작비용이감소되어제조원가를낮출수 있는효과가있다.
摘要翻译：本发明涉及使用波长扫描干涉仪中，光分路器，用于分离光源的光分路器，从所述光源照射的照射至少两个光不同的波长带的光的三维形状测定装置设置在样品的底部是由光分离器照射所反射的光，设置在由光分路器，所述参考反射镜部分透射的光的路径上，所述样本以提供数目对应于光带编号的波长的基准光接收的测量光，并通过反射镜部分所反射的参照光从反射的参照，以及由测量光和参考光，其从测量单元和用于分离和输出的各波长带中的测量单元提供所接收的图像中产生的不同波长的通过分析干涉图像，每个包括总yeokbyeol的：三维形状生成的终端计算用于在同一时间不同的高度区域中的测试样品的高度，测量测量样品是样品比但高性能的测量高度当然，同时从一个小范围的运动的移动反复方向，它其特征在于，所述波长数比设定较小的多个测量样品的运动的范围内。根据本发明，特别是扫描时间并按照产率降低了测试时间短，并且一个相应显著提高为好，则存在驱动系统的生产成本降低根据样品或参考反射镜的距离减小了扫描，以降低制造成本的效果。

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