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1. 发明授权

KR102483237B1 기판 겹침 장치 및 기판 겹침 방법 有权
公开(公告)号：KR102483237B1
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：KR1020177018876
申请日：2015-12-09
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 기판겹침장치로서, 일부가접촉한제1 기판및 제2 기판의접촉영역을일부에서부터확장하여제1 기판과제2 기판을서로겹치는기판겹침장치로서, 접촉영역이확장될때, 적어도제1 기판의복수의방향으로생기는변형량이상이하고, 변형량의차이에의한제1 기판및 제2 기판의사이의위치어긋남을억제하는억제부를구비한다. 상기기판겹침장치에있어서, 억제부는위치어긋남의양이소정의값 이하가되도록위치어긋남을억제해도된다.

2. 发明授权

KR102483224B1 반도체 칩 반송 장치 및 이를 구비하는 소잉 소터 시스템 有权
公开(公告)号：KR102483224B1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：KR1020200167836
申请日：2020-12-03
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673 , H01L21/67 , H01L21/66
摘要： 단거리스트로크조건에서고속으로구동하는경우가진력을저감하여진동저감효과를얻을수 있는반도체칩 반송장치및 이를구비하는소잉소터시스템을제공한다. 상기반도체칩 반송장치는, 가이드레일상에설치되는베이스모듈; 메인로봇이며, 반도체칩을운반하는제1 로봇; 및보조로봇이며, 반도체칩을운반하는제2 로봇을포함하며, 제1 로봇및 제2 로봇은스트로크에따라구분하여작동한다.

3. 发明授权

KR102482139B1 반도체 칩 픽업 장치 및 반도체 칩 픽업 장치의 하부 픽업부 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102482139B1
公开(公告)日：2022-12-29
申请号：KR1020200133989
申请日：2020-10-16
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/683 , H05K13/04
摘要： 반도체칩 픽업장치는진공흡입을통하여반도체칩을픽업하기위한것으로써, 상부픽업부및 하부픽업부를구비할수 있다. 상기하부픽업부는상기상부픽업부에결합되는결합부및 상기반도체칩의픽업시상기반도체칩과면접하는면접부가일체구조를갖도록구비됨과아울러상기반도체칩의픽업시상기반도체칩 쪽으로플로우될수 있는정전기를차단하기위한정전기차단물질을포함할수 있다. 상기결합부는상기상부픽업부와자력에의해결합될수 있게실리콘내에자성물질이혼합되는실리콘혼합물질을포함할수 있고, 상기면접부는상기반도체칩의픽업시상기자성물질로부터의자력이상기반도체칩으로전달되는것을차단할수 있게실리콘을포함할수 있다.

4. 发明授权

KR102482831B1 물품 반송 설비 有权
公开(公告)号：KR102482831B1
公开(公告)日：2022-12-28
申请号：KR1020180113063
申请日：2018-09-20
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 제1 조정부재는, 제1 본체주행면에연결되는주행면을형성하는제1 조정주행면을가지는동시에, 제1 조정주행면중 적어도일부가제2 간극으로돌출하도록배치된다. 제2 조정부재는, 제2 본체주행면에연결되는주행면을형성하는제2 조정주행면을가지는동시에, 제2 조정주행면중 적어도일부가제2 간극으로돌출하도록배치된다. 제1 조정부재와제2 조정부재와의대향하는간극이제1 간극이며, 제1 간극의위치를, 주행경로를따르는방향으로변경가능하게하는조정기구가설치되어있다.

5. 发明授权

KR102480169B1 RFID가 탑재된 매거진 이송장치 有权
公开(公告)号：KR102480169B1
公开(公告)日：2022-12-21
申请号：KR1020220096444
申请日：2022-08-03
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673 , H01L21/67
摘要： 본발명의일 실시예에따른 RFID가탑재된매거진이송장치는, 상부에 RFID가탑재되고트레이가복수개적층된매거진을이송방향으로이송하는컨베이어모듈; 상기컨베이어모듈의양측에수직하게구비되고, 상기이송방향의전방에배출부가형성되고상기이송방향의후방에인입부가형성되고, 상기매거진의측면을외부로부터차폐시키는사이드패널; 상기컨베이어모듈에구비되고상기배출부에배치되고, 상기 RFID를인식하는리더모듈; 상기컨베이어모듈에구비되고상기배출부에배치되고, 상기리더모듈에서상기 RFID를인식후 상기매거진을상기컨베이어모듈에서배출시 상기배출부를개방시키는게이트모듈; 및상기컨베이어모듈의일측에구비되고, 상기매거진의인입또는배출을감지하는센서모듈; 을포함한다.

6. 发明授权

KR102478040B1 집적회로 소자 제조용 이송 장치 有权
公开(公告)号：KR102478040B1
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：KR1020160028068
申请日：2016-03-09
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 집적회로소자제조용이송장치는집적회로소자를제조하는제조라인상부에구비되는주행레일로이루어지는레일부; 상기레일부의주행레일을따라주행하도록구비되는주행휠, 상기주행휠과결합되어상기주행휠의주행에의해상기제조라인에서상기집적회로소자의제조에필요한목적물을이송하도록구비되는몸체부, 및상기몸체부와결합되어상기주행휠을구동시키도록구비되는구동부로이루어지는차량부; 및상기주행레일사이에배치되는조향레일, 및상기조향레일로진입하여강제접촉함에의해위치가강제적으로변경되어상기차량부의주행방향을조정하는조향휠로이루어지는조향부를포함할수 있다.

7. 发明授权

KR102477013B1 로드 포트 有权
公开(公告)号：KR102477013B1
公开(公告)日：2022-12-14
申请号：KR1020227000190
申请日：2017-03-16
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： FOUP를도어를향하여이동시켰을때에, FOUP와도어가접촉하는것을방지하고, 로드포트와, FOUP 또는도어의시일이해제되는것을방지할수 있는로드포트를제공한다. 이때문에, 베이스(21)와, 개구부(43)와, 도어(51)와, 베이스(21)와용기(7) 사이를시일하는제1 시일부재(43)와, 베이스(21)와도어(51) 사이를시일하는제2 시일부재(44)를구비하고, 용기(7)를적재하는적재대(24)에용기(7)가적재된후, 도어(51)가제2 시일부재(44)와맞닿고, 또한도어(51)의용기(7)측의단부면이도어(51)와제2 시일부재(44)의맞닿음면보다도용기(7)측에있는초기위치로부터, 용기(7)와반대방향으로도어(51)를퇴피시킨다.

8. 发明授权

KR102473569B1 기판 반송 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 有权
公开(公告)号：KR102473569B1
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：KR1020200005548
申请日：2020-01-15
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 반송로봇의주변에냉각판을설치하여반송로봇의온도가상승하는것을방지할수 있는기판처리시스템을제공한다. 상기기판처리시스템은, 기판을처리하는복수개의공정챔버; 복수개의공정챔버사이에배치되며, 기판을공정챔버로반입하거나공정챔버로부터기판을반출하는반송유닛; 및내부에냉각수가흐르는유로가설치되며, 반송유닛의측면에밀접하여형성되거나, 반송유닛의측면으로부터이격되어측벽으로형성되는냉각판을포함한다.

9. 发明授权

KR102472595B1 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102472595B1
公开(公告)日：2022-12-01
申请号：KR1020227020887
申请日：2017-08-07
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683 , G03F7/20 , G03F7/24 , B65H26/00 , B65H23/188 , B65G49/06
摘要： 장척의시트기판을장척방향으로반송하여, 시트기판에소정의처리를실시하는기판처리장치로서, 시트기판의장척방향의일부분마다소정의처리를실시하는처리기구와, 처리기구를통과하는시트기판에소정의장력을부여하면서, 시트기판을소정속도로장척방향으로반송하는반송기구와, 시트기판의반송경로중의특정위치에배치되고, 시트기판을특정위치에계류할수 있는계류기구와, 시트기판의반송을일시정지하는경우에는, 시트기판의반송속도를저하시키도록반송기구를제어함과아울러, 반송속도가소정값이하가된 시점에서시트기판이특정위치에계류되도록계류기구를제어하는제어장치를마련한다.

10. 发明授权

KR102470366B1 마스크 처리 장치 및 마스크 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102470366B1
公开(公告)日：2022-11-28
申请号：KR1020180046373
申请日：2018-04-20
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/02
摘要： 본발명은마스크처리장치및 이를이용하는마스크처리방법에관한것으로, 로딩로봇과공정로봇과언로딩로봇간에마스크를원활하게인수인계하기위한마스크처리장치및 마스크처리방법을제공함에그 목적이있다. 이를구현하기위한본 발명의마스크처리장치는, 마스크가반입되는로딩부와, 상기로딩부에구비된로딩로봇으로부터마스크를인계받는제1버퍼유닛과, 상기제1버퍼유닛의마스크를인계받아마스크처리를수행하는공정로봇과, 상기공정로봇으로부터마스크를인계받으며이동가능한제2버퍼유닛과, 상기제2버퍼유닛의마스크를인계받아반출하는언로딩로봇을포함하여이루어진다.

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