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1. 发明授权

KR102427104B1 냉각장치, 반도체 제조장치 및 반도체 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102427104B1
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：KR1020207020305
申请日：2018-11-29
IPC分类号： G03F7/20 , F25D17/02 , F25B29/00 , H01J37/32 , H01L21/027

2. 发明授权

KR102372462B1 급속가열과 급속냉각이 가능한 반도체 웨이퍼 장비용 칠러 有权
公开(公告)号：KR102372462B1
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：KR1020210089325
申请日：2021-07-07
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687 , F25B25/00 , F25B29/00 , F25B41/40 , F25B41/20
摘要： 본발명은반도체웨이퍼를처리하는노광, 에칭, 스퍼터링등의공정에서웨이퍼를급속냉각또는급속가열할수 있는급속가열과급속냉각이가능한반도체웨이퍼장비용칠러에관한것이다. 본발명의실시예에따른급속가열과급속냉각이가능한반도체웨이퍼장비용칠러는반도체웨이퍼가안착되는웨이퍼척을급속가열하거나, 급속냉각하는형태로상기반도체웨이퍼를급속냉각또는급속가열하도록열매체를상기웨이퍼척으로가열또는냉각하여공급하는, 급속가열과급속냉각이가능한반도체웨이퍼장비용칠러에있어서, 상기웨이퍼척으로열매체를공급하는공급라인, 상기공급라인으로열매체를가열하여공급하는매체가열부, 상기공급라인으로열매체를냉각시켜공급하는매체냉각부, 상기웨이퍼척으로공급한열매체를다시상기매체가열부또는상기매체냉각부로리턴시켜공급하는리턴라인, 상기공급라인에서상기웨이퍼척으로강제로상기열매체를공급하는매체순환펌프, 및상기매체가열부에서상기공급라인으로가열된열매체를공급하거나, 상기매체냉각부에서상기공급라인으로냉각된열매체를공급하도록상기공급라인으로공급되는열매체를선택하여공급하는선택밸브를포함한다.

3. 发明授权

KR102152499B1 냉매액 분리구조의 히트펌프 有权
公开(公告)号：KR102152499B1
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：KR1020180041509
申请日：2018-04-10
申请人： 노홍조
发明人： 노홍조
IPC分类号： F25B41/00 , F25B40/04 , F25B29/00

4. 发明授权

KR102069812B1 흡습제 공기 조화 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR102069812B1
公开(公告)日：2020-01-23
申请号：KR1020177007910
申请日：2014-02-28
申请人： 7에이씨 테크놀로지스, 아이엔씨.
发明人： 반데르물렌,피터,에프. , 라프렘,아서 , 알렌,마크 , 두디,로버트 , 피처,데이비드
IPC分类号： F24F3/14 , F24F11/30 , F25B29/00 , F25B25/00 , F24F12/00

5. 发明授权

KR102046214B1 공기조화기와 그 제어방법 有权
公开(公告)号：KR102046214B1
公开(公告)日：2019-12-04
申请号：KR1020160034682
申请日：2016-03-23
申请人： 주식회사 경동나비엔
发明人： 이동근 , 이기성 , 양승대
IPC分类号： F24F11/30 , F25B29/00 , F25B49/02 , F25B41/04 , F25B41/06 , F25B39/04 , F24F6/02 , F24F3/16 , F24F12/00

6. 发明授权

KR102039163B1 자동차용 히트펌프 有权
公开(公告)号：KR102039163B1
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：KR1020170155095
申请日：2017-11-20
申请人： 에스트라오토모티브시스템 주식회사
发明人： 김종원 , 장호영 , 최준호
IPC分类号： B60H1/00 , B60H1/14 , F25B29/00

7. 发明授权

KR102021525B1 냉난방 동시 급탕 및 제습 제상 기능을 갖는 다기능성 일체형 공기열원 히트펌프시스템 有权
公开(公告)号：KR102021525B1
公开(公告)日：2019-09-16
申请号：KR1020190080887
申请日：2019-07-04
申请人： 주식회사 우성에이스
发明人： 김재웅 , 안상순
IPC分类号： F25B29/00 , F25B41/04 , F25B47/02 , F16K11/10 , F16K31/06 , F16K31/04 , F16K15/18

8. 发明授权

KR102013648B1 전기에너지를 가공한 온열 및 냉열 공급 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102013648B1
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：KR1020170184661
申请日：2017-12-29
申请人： 이병준
发明人： 이병준
IPC分类号： F24F11/84 , F24F11/47 , F24F5/00 , F25B29/00 , G06Q50/06 , G06Q30/02

9. 发明授权

KR102009062B1 원심 냉매 증기 압축기 有权
公开(公告)号：KR102009062B1
公开(公告)日：2019-08-08
申请号：KR1020147021729
申请日：2012-12-20
申请人： 비너스 시스템즈 리미티드
发明人： 크리머,마이클
IPC分类号： F25B1/053 , F25B29/00 , F25B31/00 , F04D29/057

10. 发明授权

KR101971960B1 히터와 폐열을 활용한 제습 시스템 有权
公开(公告)号：KR101971960B1
公开(公告)日：2019-04-25
申请号：KR1020120046371
申请日：2012-05-02
申请人： 대우조선해양 주식회사
发明人： 고영호 , 노종화
IPC分类号： F25B27/02 , F25B29/00

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