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    • 10. 发明授权
    • Semiconductor memory devices with high gate coupling ratio and methods of manufacturing the same
    • 具有高栅极耦合比的半导体存储器件及其制造方法相同
    • US08487360B2
    • 2013-07-16
    • US12876711
    • 2010-09-07
    • Cheng-Chi LinShih-Chin LienShyi-Yuan WuChin-Pen Yeh
    • Cheng-Chi LinShih-Chin LienShyi-Yuan WuChin-Pen Yeh
    • H01L27/112
    • H01L27/0629H01L27/11558H01L29/66825H01L29/7881
    • A semiconductor memory device includes a substrate of a first impurity type, a first well region of a second impurity type in the substrate, the second impurity type being different from the first impurity type, a second well region of the first impurity type in the substrate, a patterned first dielectric layer on the substrate extending over the first and second well regions, a patterned first gate structure on the patterned first dielectric layer, a patterned second dielectric layer on the patterned first gate structure, and a patterned second gate structure on the patterned second dielectric layer. The patterned first gate structure may include a first section extending in a first direction and a second section extending in a second direction orthogonal to the first section, wherein the first section and the second section intersects each other in a cross pattern. The patterned second gate structure may include at least one of a first section extending in the first direction over the first section of the patterned first gate structure or a second section extending in the second direction over the second section of the patterned first gate structure.
    • 半导体存储器件包括:第一杂质型衬底,衬底中第二杂质类型的第一阱区,第二杂质型不同于第一杂质型;衬底中第一杂质型第二阱区; 在衬底上的图案化的第一介电层延伸在第一和第二阱区上,图案化的第一介电层上的图案化的第一栅极结构,图案化的第一栅极结构上的图案化的第二介电层,以及图案化的第二栅极结构 图案化的第二介电层。 图案化的第一栅极结构可以包括沿第一方向延伸的第一部分和沿与第一部分正交的第二方向延伸的第二部分,其中第一部分和第二部分以交叉图案彼此相交。 图案化的第二栅极结构可以包括在图案化的第一栅极结构的第一部分上的第一方向上延伸的第一部分或者在图案化的第一栅极结构的第二部分上沿第二方向延伸的第二部分中的至少一个。