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1. 发明申请

WO2017051243A1 IMPROVED MICROELECTROMECHANICAL ACCELEROMETER DEVICE 审中-公开
标题翻译：改进的微电子机械加速度计装置
公开(公告)号：WO2017051243A1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：PCT/IB2016/001356
申请日：2016-09-23
申请人： MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人： LIUKKU, Matti , NISKANEN, Severi
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18 , B81B5/00 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/125 , B81B5/00 , B81B2201/0235 , B81B2203/0163 , B81B2203/051 , G01P15/18 , G01P2015/0811 , G01P2015/0848
摘要： The structure enables two-directional sensing of accelerations with compact component dimensions and with minimal cross-axis sensitivity. The rotation mass (100) includes a first frame (102) and a second frame (102). In one sense direction, the structure employs a combined proof mass of the first frame and the second frame, which improves the signal to noise level achievable with said device dimensions. In the other sense direction, a detection structure (140) with at least two sensing elements is used to detect displacements of the proof mass of the second frame. Due to the specific internal configuration of the detection structure (140), signal contributions of the sensing elements in the one direction cancel each other.
摘要翻译：该结构使得能够以紧凑的部件尺寸并且具有最小的跨轴灵敏度的双向感测加速度。旋转质量块（100）包括第一框架（102）和第二框架（102）。在一个感测方向上，该结构采用第一帧和第二帧的组合证明质量，这提高了所述设备尺寸可实现的信噪比水平。在另一感测方向，具有至少两个感测元件的检测结构（140）用于检测第二框架的检验质量块的位移。由于检测结构（140）的具体内部结构，感测元件在一个方向上的信号贡献彼此抵消。

2. 发明申请

WO2016202790A2 MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN 审中-公开
标题翻译： MEMS变流交互，以与流体并且方法的流程生产同样
公开(公告)号：WO2016202790A2
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：PCT/EP2016/063611
申请日：2016-06-14
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： SCHENK, Harald , CONRAD, Holger , GAUDET, Matthieu , SCHIMMANZ, Klaus , LANGA, Sergiu , KAISER, Bert
IPC分类号： H04R19/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B2201/0257 , B81B2201/036 , B81B2203/0109 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81B2203/0136 , B81B2203/019 , B81B2203/051 , B81C1/00142 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , H04R1/023 , H04R1/08 , H04R9/02 , H04R15/00 , H04R17/00 , H04R19/005 , H04R23/002 , H04R2201/003 , H04R2499/11
摘要： Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst eine Substrat, das eine Kavität aufweist und einen elektromechanischen Wandler, der in der Kavität mit dem Substrat verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Beweg ungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements entlang der lateralen Bewegungsrichtung und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen.
摘要翻译： MEMS换能器用于与包括具有腔体和在与所述基板相关联的空腔中的机电换能器和具有向ungsrichtung变形沿横向移动元件的基板中的流体的体积流相互作用，可变形的，其中一个变形沿着运动的横向方向和流体的体积流量因果相关的元件。

3. 发明申请

WO2016121214A1 静電アクチュエータおよびスイッチ审中-公开
标题翻译：静电执行器和开关
公开(公告)号：WO2016121214A1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：PCT/JP2015/083447
申请日：2015-11-27
申请人：ソニー株式会社
发明人：盛田　伸也 , 池田　浩一
IPC分类号： H02N1/00 , B81B3/00 , H01H59/00
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B3/0013 , B81B3/0016 , B81B2201/018 , B81B2201/033 , B81B2203/04 , B81B2203/051 , H01H59/00 , H01H59/0009 , H02N1/00
摘要：　静電アクチュエータは、ベース部と、半導体を含んで構成されると共に、ベース部に対して第１の方向に沿って変位可能に支持された可動電極と、半導体を含んで構成されると共に、ベース部に対して固定され、第１の方向において離間した状態で可動電極と対向する固定電極とを備える。可動電極と固定電極との各対向面のうちの少なくとも一部に形成されると共に、その周囲の領域よりも不純物濃度の低い高抵抗領域を有するものである。
摘要翻译：该静电致动器设置有：基部; 可动电极，其通过包括半导体构造并被支撑到所述基部，使得所述可动电极可以在所述第一方向上移位; 并且通过包括半导体构造的固定电极固定到所述基部，并且在与所述可动电极沿第一方向分离的状态下面对所述可动电极。静电致动器具有高电阻区域，其形成为可动电极和/或固定电极的相对表面的一部分，并且其杂质浓度低于围绕高电阻区域的区域的杂质浓度。

4. 发明申请

WO2016120319A1 BESCHLEUNIGUNGSSENSOR MIT FEDERKRAFTKOMPENSATION 审中-公开
标题翻译：弹簧力补偿的加速度传感器
公开(公告)号：WO2016120319A1
公开(公告)日：2016-08-04
申请号：PCT/EP2016/051693
申请日：2016-01-27
申请人： NORTHROP GRUMMAN LITEF GMBH
发明人： KÖNIG, Stefan , LEINFELDER, Peter
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , B81B5/00
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0054 , B81B3/0059 , B81B2201/0235 , B81B2203/0163 , B81B2203/04 , B81B2203/051 , G01P2015/0814 , G01P2015/0862 , G01P2015/0882
摘要： Ein Beschleunigungssensor (100) weist eine Sensormasse (120), die mittels Federelementen (130) entlang einer Bewegungsachse (x) beweglich über einem Substrat (110) gelagert ist, erste Trimmelektroden (140), die mit der Sensormasse (120) verbunden sind, und zweite Trimmelektroden (150), die mit dem Substrat (110) verbunden und den ersten Trimmelektroden (140) zugeordnet sind, auf. Dabei wird durch die Federelemente (130) bei Auslenkung der Sensormasse entlang der Bewegungsachse eine Federkraft auf die Sensormasse (120) und durch Anlegen einer elektrischen Trimmspannung zwischen den ersten Trimmelektroden (140) und den zweiten Trimmelektroden (150) bei Auslenkung der Sensormasse (120) eine elektrostatische Kraft auf die Sensormasse (120) erzeugt, die der Federkraft entgegenwirkt.
摘要翻译：的加速度传感器（100）具有其上安装由弹簧元件（130）沿一个移动轴线（X）上移动在衬底（110）的装置一个传感器质量块（120），第一微调电极（140），其被连接到感测质量块（120）和第二微调连接到基板（110）和所述第一微调电极（140）被关联到电极（150）。在这种情况下，通过弹簧部件（130）在沿着运动，在感测质量块（120）的弹簧力的轴的传感块的偏转，并通过在所述检测质量块的偏转施加第一微调电极（140）和所述第二冲切电极（150）之间的电微调电压（120）生成其上反作用于弹簧力的感测质量块（120）的静电力。

5. 发明申请

WO2016080317A1 光学素子审中-公开
标题翻译：光学元件
公开(公告)号：WO2016080317A1
公开(公告)日：2016-05-26
申请号：PCT/JP2015/082020
申请日：2015-11-13
申请人：住友精密工業株式会社
发明人：内納　亮平
IPC分类号： G02B26/00 , B81B3/00 , G02B26/02
CPC分类号： G02B7/003 , B81B3/0045 , B81B2201/033 , B81B2203/051 , G02B7/023 , G02B26/00 , G02B26/02 , G02B26/085 , G02B26/0858 , G03F7/70266
摘要：　光学フィルタ装置（１０００）は、入射した光の一部を透過させる第１ミラー（１０１）と、第１ミラー（１０１）と間隔を空けて配置され、入射した光の一部を透過させる第２ミラー（２０１）と、第１ミラー（１０１）を駆動して、第１ミラー（１０１）と第２ミラー（２０１）との間隔を変更するアクチュエータ（３００，３００）と、第１ミラー（１０１）の変位を検出する検出電極（４００）とを備えている。検出電極（４００）は、複数の可動櫛歯（４１４，４１４，…）を含み、第１ミラー（１０１）に連結された可動櫛歯電極（４１０）と、可動櫛歯（４１４，４１４，…）と互いに平行な状態で対向する複数の固定櫛歯（４２４，４２４，…）を含む固定櫛歯電極（４２０）とを有している。可動櫛歯（４１４）は、可動櫛歯電極（４１０）が第１ミラー（１０１）と一体的に変位する際に、固定櫛歯（４２４）に対して平行な状態で変位する。
摘要翻译：光学滤光器装置（1000）具有：允许透射部分入射光的第一反射镜（101）第二反射镜（201），设置有从第一反射镜（101）开口的间隙，并允许部分入射光的透射; 用于驱动第一反射镜（101）并改变第一反射镜（101）和第二反射镜（201）之间的间隙的致动器（300,300）; 以及用于检测第一反射镜（101）的位移的检测电极（400）。检测电极（400）具有可移动的梳齿电极（410），其包括多个可移动的梳齿（414,414，...）并且连接到第一反射镜（101）和固定的梳齿电极（420）在彼此平行的状态下面对可动梳齿（414,414，...）的多个固定梳齿（424,424 ...）。当可动梳齿电极（410）与第一反射镜（101）一体位移时，可动梳齿（414）在与固定梳齿（424）平行的状态下移位。

6. 发明申请

WO2015187262A1 COMPACT ANCHOR FOR EMS DISPLAY ELEMENTS 审中-公开
标题翻译： EMS显示元件的紧凑型锚杆
公开(公告)号：WO2015187262A1
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：PCT/US2015/027832
申请日：2015-04-27
申请人： PIXTRONIX, INC.
发明人： MATSUMOTO, Katsumi
IPC分类号： B81C1/00 , G02B26/02
CPC分类号： G02B26/02 , B81B2201/047 , B81B2203/0163 , B81B2203/0307 , B81B2203/051 , B81C1/00039 , G02B1/12 , G02B26/023 , G06F3/01 , G06T1/20 , G06T1/60 , G09G5/00
摘要： This disclosure provides systems, methods and apparatus for shutter-based EMS light modulators controlled by electrode actuators that include a compact anchor. The compact anchor includes four sides. Each of the four sides includes a lower wall, while only three of the sides include a lower shelf, upper wall and eave. That is, a first side includes a lower wall having an upper surface that is substantially the same thickness as the material forming the lower wall.
摘要翻译：本公开提供了由包括紧凑型锚的电极致动器控制的基于快门的EMS光调制器的系统，方法和装置。紧凑的锚包括四个侧面。四边中的每一侧包括下壁，而仅三个侧面包括下架，上壁和檐。也就是说，第一侧包括具有与形成下壁的材料基本相同厚度的上表面的下壁。

7. 发明申请

WO2012020132A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEMS-VORRICHTUNG MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS, SOWIE WANDLER UND KONDENSATOR 审中-公开
标题翻译：一种用于生产MEMS器件具有高纵横比，和变压器和电容
公开(公告)号：WO2012020132A1
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：PCT/EP2011/063974
申请日：2011-08-12
申请人： ÖSTERREICHISCHE AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN (ÖAW) , TECNET EQUITY NÖ TECHNOLOGIEBETEILIGUNGS-INVEST GMBH , SACHSE, Matthias
发明人： SACHSE, Matthias
IPC分类号： B81C99/00 , H01G5/16
CPC分类号： B81C1/00619 , B81B2201/0221 , B81B2201/033 , B81B2203/051 , G01C19/5733 , G01P15/125 , H01G5/16 , H02N1/008
摘要： Vorgestellt wird eine Methode zur Herstellung mikrostrukturierter Vorrichtungen für Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme (MEMS). Zur Vergrößerung des maximalen Aspektverhältnisses bedingt durch physikalische oder chemische Mikrostrukturierungsmethoden, wird vorgeschlagen, relativ zueinander beweglich strukturierte flächige Elemente der Vorrichtung von einer ersten relativen Bezugslage zueinander (Strukturierungsposition) lateral in eine zweite Bezugslage (Betriebsposition) dauerhaft oder irreversibel überzuführbar zu gestalten. Dadurch können zwischen strukturierten Wandabschnitten höhere Grabenkapazitäten gebildet werden. Die Bezugslagenänderung kann durch integrierte Antriebe oder Energiezuführung von außen ermöglicht werden, und erfolgt in einer von der Messrichtung wesentlich unterschiedlichen Richtung. Neben mechanischer Arbeit, Energie aus elektrischen oder magnetischen Feldern, kann Wärme zur Ortsverschiebung in Antrieben durch die Kraftwirkung auf ein Element oder hervorgerufene Längenänderungen dienen. Dieses Verfahren ermöglicht die Herstellung hochsensitiver Sensoren für kleinste Anregungssignale oder die Herstellung von sparsamen Aktuatoren mit äußerst hohem Wirkungsgrad in Form von dämpfungsarmen, flächenoptimierten, hoch-kapazitiven Wandlern, sowie einstellbare Vertikalkondensatoren mit hoher Kapazität.
摘要翻译：一种方法，提出了一种用于制造用于微机电系统（MEMS）的微结构化的设备。增加最大纵横比因（操作位置），所以建议可相对于所述装置的从第一相对基准位置（结构化的位置）侧向地在第二基准位置的每个结构化表面元件彼此以使永久地或不可逆地überzuführbar物理或化学微结构的方法。其特征在于严重更高的容量可以在结构化壁部分之间形成。基准位置可以由集成驱动器的改变，或电源成为可能从外部，并且在从所述测量方向基本上不同的处理。除了从电场或磁场的机械功能，热，用于通过对一个项目或在长度上引起的变化的力作用在驱动器空间移都可以使用。该方法使得能够对最小的激励信号产生高度敏感的传感器，或生产经济的致动器与低损耗，面积优化，高电容换能器的形式的非常高的效率，以及可调节的垂直电容器具有高容量。

8. 发明申请

WO2008123525A1 ファブリペロー型波長可変フィルタおよびその製造方法审中-公开
标题翻译： FABRY-PEROT型波长变量滤波器及其制造方法
公开(公告)号：WO2008123525A1
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：PCT/JP2008/056491
申请日：2008-04-01
申请人：山一電機株式会社 , 光伸光学工業株式会社 , 山野井俊雄 , 遠藤尚
发明人：山野井俊雄 , 遠藤尚
IPC分类号： G02B26/00 , B81B3/00 , B81C1/00 , H02N13/00
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0054 , B81B2201/042 , B81B2203/051 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0256 , G01J3/26 , H02N1/008
摘要：　例えば赤外光から紫外光にわたる広い波長帯域の光において適用可能であり、小型で低電圧駆動するファブリペロー型波長可変フィルタを提供する。　ＳＯＩ基板１の表面に対し水平方向に変位する可動部２、可動部２を弾性可動に支持するサスペンション支持体３、ＳＯＩ基板１に固定された固定部４が設けられる。可動部３を変位させる櫛歯型静電アクチュエータの櫛型電極５により、可動部２表面に接合して形成された第１のミラー構造体６が水平方向に制御され変位する。このファブリペロー型波長可変フィルタでは、第１のミラー構造体６の第１のミラー面６ａと、固定部４の表面に接合して形成された第２のミラー構造体７の第２のミラー面７ａとが平行に対向配置されて光共振器をなし、上記水平方向の変位によりその共振器長を変える構成になっている。
摘要翻译：提供了一种小型的法布里 - 珀罗型波长可变滤波器，其可以由低电压驱动并且被施加到例如从红外线到紫外线的宽波长带的光。所述滤波器包括：SOI基板（1），相对于所述SOI基板的表面水平移动的可动部分（2），支撑所述可动部分（2）的悬架支撑体（3）可移动部分（2）可以弹性移动;以及固定部分（4），其固定到SOI衬底（1）上。移动可动部分（2）的梳状静电致动器具有在水平方向上控制/移位的梳状电极（5），形成在可动部分（2）的表面上的第一反射镜结构（6）。在法布里 - 珀罗型波长可变滤波器中，第一反射镜结构（6）的第一镜面（6a）和第二镜结构（7）的第二镜面（7a）彼此平行地布置，彼此相对以构成光学谐振器。谐振器长度通过上述水平方向的位移而改变。

9. 发明申请

WO2007076732A3 ELECTROMECHANICAL TRANSDUCER 审中-公开
标题翻译：机电传感器
公开(公告)号：WO2007076732A3
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/CZ2006000094
申请日：2006-12-21
申请人： CZECH TECHNICAL UNIVERSITY IN , BOUDA VACLAV
发明人： BOUDA VACLAV
IPC分类号： H02N11/00 , B81B3/00 , B82B1/00 , F03G7/00
CPC分类号： H02N11/006 , B81B3/0021 , B81B2203/051 , F03G7/06
摘要： The function of the key element of the SMA. is based on a mutual alternating slipping of two systems of filaments. Its contraction is caused by the attractive effect of van der Waal's forces between the functional particles among the filaments. The relaxation is attained through the repulsive effect of the electrostatic repulsive forces between the functional particles. The alternating change of ionic concentration in the area of the particles results in the alternating function of van der Waal's attraction and repulsive electrostatic forces. The size and material of the particles, their configuration .and working temperature must be specifically optimized. The total contraction of the key element results from the summation of its partial contractions. The total force and contraction of the SNA result from the summation of the key elements in the parallel (collateral) and/or serial (linear ranked) arrangements, respectively. Large compound actuators with high performance can be built from key elements using the modular design.
摘要翻译： SMA的关键要素的功能。是基于两个细丝系统的相互交替滑动。其收缩是由范德华力在细丝之间的功能性颗粒之间的吸引力引起的。通过功能颗粒之间的静电排斥力的排斥作用来实现松弛。颗粒区域中离子浓度的交替变化导致范德瓦尔吸引力和排斥静电力的交替功能。颗粒的尺寸和材料，其结构和工作温度必须进行特别优化。关键要素的总体收缩是由于部分收缩的总和。 SNA的总力和收缩分别来自并行（抵押）和/或连续（线性排名）安排中的关键要素的总和。使用模块化设计的关键元件可以构建具有高性能的大型复合执行器。

10. 发明申请

WO2006091791A2 METHODS AND APPARATUS FOR ACTUATING DISPLAYS 审中-公开
标题翻译：用于激励显示的方法和设备
公开(公告)号：WO2006091791A2
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：PCT/US2006/006552
申请日：2006-02-23
申请人： PIXTRONIX, INC. , HAGOOD, Nesbitt, W. , STEYN, Jasper, Lodewyk
发明人： HAGOOD, Nesbitt, W. , STEYN, Jasper, Lodewyk
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/04 , G02B26/04 , G02B26/08 , G09G3/22
CPC分类号： G09G3/3433 , B81B3/0054 , B81B2201/032 , B81B2201/038 , B81B2201/045 , B81B2203/051 , G02B26/02 , G02B26/0841 , G09G2300/0809 , G09G2310/0262
摘要： The invention relates to MEMS-based display devices. In particular, the display devices may include actuators having two mechanically compliant electrodes. In addition, bi-stable shutter assemblies and means for supporting shutters in shutter assemblies are disclosed inclusion in the display devices.
摘要翻译：本发明涉及基于MEMS的显示装置。特别地，显示装置可以包括具有两个机械适应电极的致动器。另外，双稳态快门组件和用于在快门组件中支撑快门的装置被公开在显示装置中。

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