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1. 发明申请

WO2017059056A1 MEMS GRID FOR MANIPULATING STRUCTURAL PARAMETERS OF MEMS DEVICES 审中-公开
标题翻译：用于操纵MEMS器件结构参数的MEMS网格
公开(公告)号：WO2017059056A1
公开(公告)日：2017-04-06
申请号：PCT/US2016/054416
申请日：2016-09-29
申请人： MEMS DRIVE, INC.
发明人： GUTIERREZ, Roman , TANG, Tony , LIU, Xiaolei , WANG, Guiqin , NG, Matthew
IPC分类号： B81B7/04 , B81B5/00 , B81B3/00
CPC分类号： H01L21/76816 , B81B3/0045 , B81B7/0029 , B81B2203/0353 , B81C1/00674 , B81C1/00682 , B81C2201/0112 , B81C2201/0135 , H01L21/768 , H01L21/76898 , H01L23/485 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/0002 , H01L2924/1461 , H01L2924/181
摘要： A system and method for manipulating the structural characteristics of a MEMS device including etching a plurality of holes into the surface of a MEMS device, wherein the plurality of holes comprise one or more geometric shapes determined to provide specific structrual characteristics desired in the MEMS device.
摘要翻译：一种用于操纵MEMS器件的结构特性的系统和方法，包括将多个孔蚀刻到MEMS器件的表面中，其中所述多个孔包括被确定为提供MEMS器件中期望的特定结构特征的一个或多个几何形状。

2. 发明申请

WO2015015666A1 アクチュエータ装置及びミラー駆動装置审中-公开
标题翻译：执行器装置和反射器驱动装置
公开(公告)号：WO2015015666A1
公开(公告)日：2015-02-05
申请号：PCT/JP2013/083362
申请日：2013-12-12
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：滝本　貞治 , 木元　正国 , 足立　訓秀
IPC分类号： H02K33/18 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , G02B26/0816 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H02K33/18
摘要：　トーションバー部１０は、複数の直状部分１０ａと複数の折り返し部分１０ｂとを有する蛇行形状を呈している。複数の直状部分１０ａは、揺動軸Ｌに沿う第一方向に延び、第一方向と交差する第二方向に併置されている。複数の折り返し部分１０ｂは、複数の直状部分１０ａの両端を交互に連結している。配線は、トーションバー部１０に配置されている。配線は、第一配線部分と、第二配線部分と、を有している。第一配線部分は、折り返し部分１０ｂに形成された溝内に埋め込まれるように配置され、Ｃｕからなる第一金属材料によって構成されるダマシン配線部分を含んでいる。第二配線部分は、直状部分１０ａ上に配置され、第一金属材料よりも塑性変形し難い第二金属材料によって構成されている。
摘要翻译：提供了一种致动器装置，其中扭杆部分（10）具有蛇形形状，其包括多个直线部分（10a）和多个弯曲部分（10b）。所述多个直部（10a）沿与摇杆轴（L）相邻的第一方向延伸，并且沿着与第一方向相交的第二方向放置。多个弯曲部分（10b）以交替方式连接到多个直线部分（10a）的两端。配线布置在扭杆部分（10）上。布线包括第一布线部分和第二布线部分。第一布线部分被布置成嵌入在形成在弯曲部分（10b）上的凹槽中，并且包括由包含Cu的第一金属材料构成的镶嵌布线部分。第二布线部分布置在直线部分（10a）上，并且由与第一金属材料不太可塑性变形的第二金属材料构成。

3. 发明申请

WO2013111265A1 アクチュエータ审中-公开
标题翻译：执行器
公开(公告)号：WO2013111265A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/JP2012/051384
申请日：2012-01-24
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 , 藤本健二郎 , 山村雄一
发明人：藤本　健二郎 , 山村　雄一
IPC分类号： B06B1/04 , B81B3/00 , G02B26/10 , G02B27/01
CPC分类号： B81B3/0078 , B81B3/0045 , B81B3/0072 , B81B2203/0154 , G02B26/085 , G02B26/10 , G02B26/105 , G02B27/0176 , Y10T74/10
摘要：　アクチュエータ（１）は、可動部（１２０）と、可動部を支持する支持部（１１０、２１０）と、(i)夫々が、長手方向に沿った回転軸を中心として可動部が揺動可能なように、長手方向に沿って可動部と支持部とを接続すると共に、(ii)短手方向に沿って配列される複数のトーションバー（２３０）とを備えており、複数のトーションバーの夫々のバネ定数は、夫々のトーションバーが回転軸から遠くなればなるほど小さくなる。
摘要翻译：致动器（1）设置有可移动部分（120），支撑所述可移动部分的支撑部分（110,210）和多个扭杆（230），其中：（i）每个连接可动部分和在长方向上彼此支撑部分，使得可移动部件能够在所述长方向上围绕旋转轴线摆动; 和（ii）布置在短方向上。每个扭力杆距离旋转轴越远，该扭杆的弹簧常数越低。

4. 发明申请

WO2012172654A1 駆動装置审中-公开
标题翻译：驱动装置
公开(公告)号：WO2012172654A1
公开(公告)日：2012-12-20
申请号：PCT/JP2011/063683
申请日：2011-06-15
申请人：パイオニア株式会社 , 鈴木純
发明人：鈴木　純
IPC分类号： B06B1/02 , B81C3/00 , G02B26/08 , H02N2/00
CPC分类号： B06B1/0238 , B06B2201/53 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , G02B26/0833
摘要：　駆動装置（１００）は、ベース部（１１０）と、複数の被駆動部（１３０ａ、１３０ｃ）と、複数の弾性部（１２０ａ～１２０ｄ）と、複数の被駆動部の夫々及び複数の弾性部のうち夫々の被駆動部に対応する一つの弾性部により定まる共振周波数で夫々の被駆動部が一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように複数の被駆動部を回転させるための加振力をベース部に加える印加部（１６０）とを備え、印加部は、複数の被駆動部のうちの第１の被駆動部が回転する位相が複数の駆動部のうちの第２の被駆動部が回転する位相に対して逆相となるように、加振力を加える。
摘要翻译：驱动装置（100）包括：基部（110）; 多个被驱动部分（130a，130c）; 多个弹性部（120a〜120d）; 以及施加单元（160），其以基于所述基部的方式施加用于使所述多个从动部分旋转的激励力，使得每个从动部分围绕围绕沿着一个方向的轴线的中心轴线以共振频率共振地旋转，并且所述多个弹性部中的与每个被驱动部相对应的一个弹性部。应用单元施加激励力，使得多个驱动部中的第一从动部的旋转相位与多个驱动部中的第二从动部的旋转相位成反相。

5. 发明申请

WO2015186772A1 ＭＥＭＳ構造体审中-公开
标题翻译： MEMS结构
公开(公告)号：WO2015186772A1
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：PCT/JP2015/066146
申请日：2015-06-04
申请人：株式会社村田製作所
发明人：岡見　威 , 溝田　崇 , 植屋　夕輝 , 松岡　潤弥 , 辻　信昭
IPC分类号： B81B3/00 , G01C19/5762
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B3/00 , B81B3/0045 , B81B2201/0228 , B81B2201/0242 , B81B2203/0154 , G01C19/5762 , H01L41/113 , H01L41/1132 , H01L41/125
摘要：　ＭＥＭＳ構造体（１）は、基板（２）上に形成されたアンカー（２２）等によって、基板（２）表面に固設されたＺ方向検出電極（１０）の上方に、本体部（２０）、可動部（３０）を配置して構成されている。可動部（３０）における可動錘（３１）は、Ｙ方向へ弾性変形可能な各弾性支持部（３３）によって、中間フレーム部（３２）に対して接続されているので、可動部（３０）は、本体部（２０）に対して、Ｙ方向へ相対的に変位し得る。又、可動部（３０）における中間フレーム部（３２）は、Ｘ方向側の一端部に配設されたトーションバー（３４）の捩れ変形によって、本体部（２０）に対して揺動可能に支持されているので、可動部（３０）は、可動錘（３１）及び中間フレーム部（３２）を一体的に、Ｚ方向に変位する。
摘要翻译：该MEMS结构（1）由主体部分（20）和可移动部分（30）构成，其通过形成在基板（2）上的锚固件（22）等设置在z方向检测器固定在基板（2）的表面上的电极（10）。由于可动部30的可移动重物31通过可沿y方向弹性变形的弹性支撑部33与中间框架部32连接，所以可动部30可以相对于主体部分（20）在Y方向相对移位。此外，由于可动部（30）的中间框架部（32）被支撑成能够通过扭转杆（34）的扭转而相对于主体部（20）摆动，一端在x方向侧，可动部（30）与z方向一体地与可移动重物（31）和中间框架部（32）一体地变形。

6. 发明申请

WO2015017703A3 PYROELECTRIC ALUMINUM NITRIDE MEMS INFRARED SENSOR 审中-公开
标题翻译：微电子氮化铝MEMS红外传感器
公开(公告)号：WO2015017703A3
公开(公告)日：2015-11-05
申请号：PCT/US2014049240
申请日：2014-07-31
申请人： UNIV CALIFORNIA
发明人： PISANO ALBERT , HORSLEY DAVID , YAMAMOTO KANSHO
IPC分类号： G01J5/10 , B82Y15/00
CPC分类号： G01J5/0853 , B81B3/0045 , B81C1/0015 , G01J5/34 , H01L27/14649 , H01L27/14683 , H01L37/02
摘要： A MEMS sensor for detecting electromagnetic waves in a particular frequency range is provided. In a preferred embodiment, the MEMS sensor comprises a bottom substrate layer; a first electrode layer over the substrate layer; a pyroelectric layer over the first electrode layer; and a second electrode layer over the pyroelectric layer; wherein a top electrode layer is patterned with a periodic structure that has a periodicity less than or equal to target infrared wavelength.
摘要翻译：提供了用于检测特定频率范围内的电磁波的MEMS传感器。在优选实施例中，MEMS传感器包括底部基底层; 衬底层上的第一电极层; 在第一电极层上的热电层; 以及在所述热电层上的第二电极层; 其中，以周期性小于或等于目标红外波长的周期性结构对顶部电极层进行构图。

7. 发明申请

WO2015109273A3 COUPLING SCHEMES FOR GIMBALED SCANNING MIRROR ARRAYS 审中-公开
公开(公告)号：WO2015109273A3
公开(公告)日：2015-09-24
申请号：PCT/US2015011883
申请日：2015-01-18
申请人： APPLE INC
发明人： GERSON YUVAL , CHAYAT NAFTALI , AXELROD NOEL , SHPUNT ALEXANDER
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , G02B26/101
摘要： A scanning device (64, 220, 230) includes a substrate (68), which is etched to define an array of two or more parallel rotating members (102) and a gimbal (72, 232) surrounding the rotating members. First hinges (106, 234) connect the gimbal to the substrate and defining a first axis of rotation, about which the gimbal rotates relative to the substrate. Second hinges (74) connect the rotating members to the support and defining respective second, mutually-parallel axes of rotation of the rotating members relative to the support, which are not parallel to the first axis.

8. 发明申请

WO2013111266A1 アクチュエータ审中-公开
标题翻译：执行器
公开(公告)号：WO2013111266A1
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：PCT/JP2012/051385
申请日：2012-01-24
申请人：パイオニア株式会社 , パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社 , 藤本健二郎 , 山村雄一
发明人：藤本　健二郎 , 山村　雄一
IPC分类号： B06B1/04 , B81B3/00 , G02B26/10 , G02B27/01
CPC分类号： G02B27/0101 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0154 , G02B26/085 , G02B26/105 , G02B27/0176
摘要：　アクチュエータ（１）は、可動部（１２０）と、可動部を支持する支持部（１１０）と、長手方向に沿った回転軸を中心として可動部が揺動可能なように、長手方向に沿って可動部と支持部とを接続するトーションバー（２３０）とを備えており、トーションバーのうち回転軸から相対的に遠い第１バー部分の密度は、トーションバーのうち回転軸に相対的に近い第２バー部分の密度よりも小さい。
摘要翻译：一个致动器（1）设置有可移动部分（120），支撑所述可移动部分的支撑部分（110）和扭力杆（230），其将可移动部分和支撑部分沿着长方向彼此连接使得可移动部件能够围绕所述长方向的旋转轴线摆动。扭杆的第一部分，所述第一部分相对于旋转轴线相对较远，与扭杆的第二部分相比较不致密，所述第二部分相对于旋转轴线相对较近。

9. 发明申请

WO2012172653A1 駆動装置审中-公开
标题翻译：驱动装置
公开(公告)号：WO2012172653A1
公开(公告)日：2012-12-20
申请号：PCT/JP2011/063681
申请日：2011-06-15
申请人：パイオニア株式会社 , 鈴木純
发明人：鈴木　純
IPC分类号： B06B1/02 , B81C3/00 , G02B26/08 , H02N2/00
CPC分类号： B06B1/0238 , B06B2201/53 , B81B3/0045 , B81B2201/042 , B81B2203/0154 , G02B26/0833 , G02B26/101
摘要：　駆動装置（１００）は、第１ベース部（１１０－１）と、第２ベース部（１１０－２）と、第１弾性部（１２０ａ－１、１２０ｂ－１）と、複数の被駆動部（１３０ａ、１３０ｃ）と、複数の第２弾性部（１２０ａ－２～１２０ｄ－２）と、複数の被駆動部の夫々及び複数の第２弾性部のうち夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数で夫々の被駆動部が前記一の方向に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように複数の被駆動部を回転させるための加振力を第２ベース部に加える印加部（１６０）とを備え、複数の被駆動部の夫々及び複数の第２弾性部のうち夫々の被駆動部に対応する一つの第２弾性部により定まる共振周波数は、複数の被駆動部の少なくとも２つの間で同じになる。
摘要翻译：驱动装置（100）包括：第一基部（110-1）; 第二基部（110-2）; 第一弹性部分（120a-1,120b-1）; 多个被驱动部分（130a，130c）; 多个第二弹性部（120a〜2-120d-2）; 以及应用单元（160），其施加到用于使所述多个从动部分旋转的激励力，使得每个从动部分以围绕沿着一个方向的轴线的中心轴线共振地旋转，以由多个从动部分中的每一个和多个第二弹性部分中的一个第二弹性部分对应于每个被驱动部分。在多个从动部中的多个第二弹性部中的多个从动部中的每一个和一个第二弹性部确定的共振频率在多个从动部中的至少两个之间是相同的。

10. 发明申请

WO2012047284A3 MEMS SCANNING MIRROR WITH MASS REMOVE FROM MIRROR BACKSIDE 审中-公开
标题翻译： MEMS扫描镜从背面反光镜移除
公开(公告)号：WO2012047284A3
公开(公告)日：2012-05-18
申请号：PCT/US2011001704
申请日：2011-10-04
申请人： MAGIC TECHNOLOGIES INC , ADVANCED NUMICRO SYSTEMS INC , CHEN JUN , MAO GUOMIN , ZHONG TOM , CAO WEI , FU YEE-CHUNG , TORNG CHYU-JIUH
发明人： CHEN JUN , MAO GUOMIN , ZHONG TOM , CAO WEI , FU YEE-CHUNG , TORNG CHYU-JIUH
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： B81B3/0045 , B81B2201/042 , G02B26/0841
摘要： Two methods of fabricating a MEMS scanning mirror having a tunable resonance frequency are described. The resonance frequency of the mirror is set to a particular value by mass removal from the backside of the mirror during fabrication. A silicon-on-insulator wafer is provided comprising a top silicon layer, a bottom silicon Iayer, and a silicon dioxide Iayer between the top and bottom silicon layers. A silicon dioxide hard mask is formed on the bottom silicon Iayer and patterned. Portions of the bottom silicon Iayer and the silicon dioxide Iayer are etched away from a backside of the silicon-on-insulator wafer and portions of the top silicon Iayer are etched away from the backside directly underlying the MEMOS scanning mirror wherein choosing a depth of the portions of the top silicon Iayer achieves the tunable resonance frequency for the MEMS scanning mirror.
摘要翻译：描述制造具有可调共振频率的MEMS扫描反射镜的两种方法。反射镜的共振频率通过在制造期间从反射镜的背面质量去除而被设定为特定的值。提供了一种绝缘体上硅晶片，其包括顶部硅层，底部硅层和位于顶部和底部硅层之间的二氧化硅层。在底部硅层上形成二氧化硅硬掩膜并进行图案化。底层硅Iayer和二氧化硅层的部分被蚀刻离开绝缘体上硅晶片的背面，顶部硅层的部分被从MEMOS扫描反射镜正下方的背面蚀刻掉，其中选择深度为顶部硅层的部分实现MEMS扫描镜的可调共振频率。

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