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    • 6. 发明申请
    • SPECTRAL SENSING DEVICE AND METHOD FOR MEASURING OPTICAL RADIATION
    • WO2023031448A1
    • 2023-03-09
    • PCT/EP2022/074562
    • 2022-09-05
    • TRINAMIX GMBH
    • OEGUEN, Celal MohanHUPFAUER, ThomasISLAM, Samiul
    • G01J3/02G01J3/28G01J3/433G01J5/08
    • The invention relates to a spectral sensing device (110) and a method for measuring optical radiation (112). The optical radiation (112) provided by the at least one measurement object (114) comprises non-modulated optical radiation (116). The spectral sensing device (110) comprises at least one radiation emitting element (118), wherein the at least one radiation emitting element (118) is designated for emitting modulated optical radiation (120); at least one photosensitive detector (124), wherein the at least one photosensitive detector (124) has at least one photosensitive region (126) designated for receiving optical radiation (112), wherein at least one detector signal generated by the at least one photosensitive detector (124) is dependent on an illumination of the at least one photosensitive region (126); at least one evaluation unit (128), wherein the at least one evaluation unit (128) is configured for generating at least one piece of measurement information about the illumination of the at least one photosensitive region (126) by the optical radiation (112) provided by the at least one measurement object (114) by using at least one modulated detector signal as generated by the illumination of the at least one photosensitive region (126) by a superposition of the modulated optical radiation (120) and the optical radiation (112) provided by the at least one measurement object (114). The spectral sensing device (110) is arranged in a manner that the modulated optical radiation (120) is guided within the spectral sensing device (110) towards the at least one photosensitive detector (124). The spectral sensing device (110) and a method for measuring optical radiation (112) are configured to perform, preferably in a fully automatized fashion, a self-calibration of the spectral sensing device (110) without requiring any predefined reflection target.
    • 8. 发明申请
    • FT-SPEKTROMETER-ANORDNUNG MIT ZUSATZDETEKTOR ZUR KALIBRIERUNG DER FREQUENZACHSE UND ZUGEHÖRIGES MESSVERFAHREN
    • WO2023275309A2
    • 2023-01-05
    • PCT/EP2022/068176
    • 2022-06-30
    • BRUKER OPTICS GMBH & CO. KG
    • HARIG, RolandSIMON, Arno
    • G01J3/02G01J3/28G01J3/45G01J3/453G01J2003/4538G01J3/021G01J3/4535
    • Die Erfindung betrifft eine FT-Spektrometer-Anordnung (1), umfassend: - eine Lichtquelle (2) für Licht (3), - ein Interferometer (5) mit wenigstens einem Strahlteiler (6) und zwei Interferometerarmen (9, 10), durch das das Licht (3) der Lichtquelle (2) geleitet wird, wobei die Interferometerarme (9, 10) jeweils einen Reflektor (7, 8) aufweisen, - eine Messprobe (12a) an einer Messposition (12), - einen Detektor (13) für das Licht (3), wobei die Messposition (12) im Strahlengang des Lichts (3) zwischen dem Interferometer (5) und dem Detektor (13) angeordnet ist, - einer Vorrichtung (11) zur Veränderung eines optischen Gangunterschieds (GU) zwischen den zwei Interferometerarmen (9, 10), - einem Referenz-Laser (22), mit dem Referenz-Laserlicht (23) durch das Interferometer (5) geleitet wird, und - wenigstens einen Referenz-Detektor (26) zum Vermessen des Referenz-Laserlichts (23), wobei der Referenz-Detektor (26) im Strahlengang des Referenz-Laserlichts (23) hinter dem Interferometer (5) angeordnet ist, die dadurch gekennzeichnet ist, dass weiterhin ein Zusatz-Detektor (14) vorgesehen ist, mit welchem ein Teilstrahl (17) des Lichts (3) vermessbar ist, welcher das Interferometer (5) passiert hat, nicht aber die Messposition (12) passiert hat, und dass mit dem Detektor (13) ein weiterer Teilstrahl (18) des Lichts (3), welcher das Interferometer (5) passiert hat und die Messposition (12) passiert hat, zeitgleich mit einer Vermessung des Teilstrahls (17) am Zusatz-Detektor (14) vermessbar ist. Mit der Erfindung ist auf einfache Weise eine hohe Messgenauigkeit bei hoher Verfügbarkeit der FT-Spektrometer-Anordnung erreichbar.