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    • 4. 发明公开
    • 具有第一基板、第二基板和将基板彼此隔开的间隔件的半导体模块
    • CN113826198A
    • 2021-12-21
    • CN202080034167.3
    • 2020-05-06
    • 丹佛斯硅动力有限责任公司
    • 马丁·贝克尔安德烈·巴斯托斯阿比贝罗纳德·艾泽勒亚采克·鲁茨基弗兰克·奥斯特瓦尔德戴维·本宁
    • H01L23/488H01L21/60
    • 一种半导体模块,包括第一基板(10)、第二基板(101)和将基板(10,10')彼此隔开的间隔件(40,40'),其中,间隔件(40,40')由至少一个弹性成形金属体(40,40')形成。半导体(20)可以设置在第一基板(10)与第二基板(10')之间,其中,半导体(20)牢固地接合到第一基板(10)或第二基板(10')中的一个基板,并且成形金属体(40,40')可以将半导体(20)与基板(10,10')中的另一个基板电连接。第一基板(10)和/或第二基板(10')可以是DCB基板或者可以包括引线框架。成形金属体(40,40')可以被制成有弹性的,使得在第一方向上施加压力引起在第二方向上的扩张,其中,多个成形金属体(40,40')可以相对于彼此在不同方向上定向。成形金属体(40,40')可以在基板(10,10')之间的平面中以平面方式设置在半导体(20)上。成形金属体(40,40')可以被弯曲、折叠和/或构造成截面是波浪形的,并且可以特别横向于弯曲的、折叠的或波浪形的构造被开狭槽。成形金属体(40,40')可以是膜。间隔件可以由至少两个弹性成形金属体(40,40')形成,成形金属体(40,40')设置在基板(10,10')之间的平面中,并且横向于此平面彼此连接。半导体(20)与第一基板(10)或第二基板(10')中的一个基板之间的连接以及(一个或多个)成形金属体(40,40')与半导体(20)和另一个基板(10,10')之间的连接可以通过烧结或纳米线进行,或者一个成形金属体(40,40')可以通过烧结连接到半导体(20)而另一个成形金属体(40,40')可以通过纳米线连接到另一个基板(10,10')。导电的弹性间隔件(40,40')可以经由弹性补偿运动破坏氧化表面,从而提供两个基板(10,10')之间的电连接,特别是当组装配备有半导体(20)的第二(上)基板(101)和第一(下)基板(10)时,间隔件(40,40')的波形可以在竖直方向和侧向方向上均变形,其中,然后“波峰”的尖端滑过要接触的表面并且执行清洁作用,从而使得可以破坏铝半导体金属化的氧化层,从而得到与半导体(20)的高导电性和导热性连接,而半导体不一定必须涂覆有贵金属表面。