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    • 4. 发明公开
    • 制造基于栅控横向晶闸管的随机存取存储器(GLTRAM)单元的方法
    • CN102089881A
    • 2011-06-08
    • CN200980119832.2
    • 2009-05-28
    • 格罗方德半导体公司
    • H-J·曹
    • H01L27/102G11C11/39H01L21/332H01L29/74H01L27/06
    • H01L27/1027G11C11/39H01L27/0817
    • 提供一种用以制造基于栅控横向晶闸管存储器装置(gltram)的方法。设置半导体层(406),该半导体层(406)中包含第一导电性类型的第一、第二、第三和第四阱区(463、471、486、493)。第一栅极结构(465/408)覆盖该第一阱区(463),第二栅极结构(475/408)覆盖该第二阱区(471),第三栅极结构(485/408)覆盖该第三阱区(486)且与该第二栅极结构(475/408)成为一体,且第四栅极结构(495/408)覆盖该第四阱区(493)。形成相邻于该第一栅极结构(465/408)的第一侧壁(414)与相邻于第二到第四栅极结构(475/408、485/408、495/408)的侧壁(412、413、416、417、418、419)的侧壁间隔件(467)。此外,形成覆盖该第一阱区(463)的一部分(468)与该第一栅极结构(465/408)的一部分的绝缘间隔块(469)。该绝缘间隔块(469)相邻于该第一栅极结构(465/408)的第二侧壁(415)。形成相邻于该第一栅极结构(465/408)的第一源极区(472),形成在该第一和第二栅极结构(465/408、475/408)之间的公共漏极/阴极区(474/464),形成相邻于该第三栅极结构(485/408)的第二源极区(482),形成在该第三和第四栅极结构(485/408、495/408)之间的公共漏极/源极区(484/492),并形成相邻于该第四栅极结构(495/408)的漏极区(494)。形成延伸至相邻于在该第一栅极结构(465/408)的该绝缘间隔块(467)之下的该第一阱区(463)中的第一基极区(468),并形成延伸至相邻于该第一基极区(468)的该第一阱区(463)中的该第一阱区(463)中的阳极区(466)。
    • 10. 发明公开
    • 半导体存储装置以及用于制造该半导体存储装置的方法
    • CN101743636A
    • 2010-06-16
    • CN200880017631.7
    • 2008-03-14
    • 先进微装置公司
    • H-J·卓
    • H01L27/102
    • H01L27/1027
    • 本发明系提供一种用于制造存储装置的方法,包括:提供半导体基板(505),该半导体基板包含:具有第一导电类型的第一阱区(532)、具有第一导电类型的第二阱区(534)、覆于该第一阱区(532)上的第一栅极结构(562、566)以及覆于该第二阱区(534)上的第二栅极结构(568、574);共形地沉积绝缘材料层(569)覆于该半导体基板(505)的暴露部分上;在覆于该第二阱区(534)的一部分的该绝缘材料层(569)的一部分上方提供感光材料(575);该感光材料(575)暴露出部分的该绝缘材料层(569);该绝缘材料层(569)的该暴露部分系被非等向性蚀刻以提供邻接该第二栅极结构(568、574)的第一侧壁的侧壁间隔物(sidewall?spacer)(572),以及覆于该第二栅极结构(568、574)的一部分上且邻接该第二栅极结构(568、574)的第二侧壁所形成的绝缘间隔物区块(570);漏极区域(542)及源极/基极区域(550)系形成在该半导体基板(505)中邻接该第一栅极结构(562、566),以及阴极区域(558)系形成在该半导体基板(505)中邻接该第二栅极结构(568、574);该漏极区域(542)、该源极/基极区域(550)以及阴极区域(558)具有第二导电类型;第一导电类型的阳极区域(552)系形成于该源极/基极区域(550)中邻接该第二栅极结构(568、574)。