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    • 7. 发明专利
    • 流量センサ
    • 流量传感器
    • JP2015099169A
    • 2015-05-28
    • JP2015042512
    • 2015-03-04
    • 日立オートモティブシステムズ株式会社
    • 河野 務半沢 恵二徳安 昇田代 忍
    • G01F1/692
    • 【課題】流量センサごとの性能バラツキを抑制して性能向上を図ることができる技術を提供する。 【解決手段】実施の形態による流量センサによれば、樹脂MRの上面SUR(MR)に局所的な凹部CAVを設けることにより反時計回りの渦流を発生させ、これによって、半導体チップCHP1の露出した側面に衝突した気体(空気)の進行方向を、90度異なる半導体チップCHP1の上方方向ではなく、渦を巻く方向に変更することができる。このことから、実施の形態による流量センサによれば、流量検出部FDUの上方における気体(空気)の流れを乱すことなく、安定的にスムーズにすることができるため、流量検出部FDUにおける流量検出精度を向上することができる。 【選択図】図10
    • 要解决的问题:提供一种能够通过抑制每个流量传感器的性能变化来提高性能的技术。解决方案:根据实施例的流量传感器,局部凹陷CAV设置在 树脂MR以产生逆时针旋涡。 这允许与半导体芯片CHP1的暴露的侧表面碰撞的气体(空气)的行进方向改变为螺旋方向,而不是90度不同的半导体芯片CHP1的向上方向。 因此,本实施方式的流量传感器能够使流量检测单元FDU上的气体(空气)的流动平滑化而不引起干扰,从而提高流量检测单元FDU的流量检测的精度。