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1. 发明专利

JP2018508453A 超低膨張チタニア・シリカガラス审中-公开
公开(公告)号：JP2018508453A
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：JP2017542089
申请日：2016-02-10
申请人：コーニングインコーポレイテッド
发明人：アンナーマライ,セジアン , デュラン,カーロスアルバート , ハーディナ,ケネスエドワード , ロッシュ,ウィリアムロジャーズ
IPC分类号： C03B25/08 , C03C3/06 , C03C3/089 , C03C3/112
CPC分类号： C03C3/076 , C03B19/12 , C03B19/1453 , C03B25/00 , C03B25/02 , C03B2201/10 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C3/089 , C03C3/112 , C03C23/007 , C03C2201/10 , C03C2201/12 , C03C2201/14 , C03C2203/52
摘要：改質チタニア・シリカガラスの徐冷処理およびその徐冷処理により製造されたガラス。この徐冷処理は、ガラス中の改質剤濃度の不均一性により生じる仮想温度における不均一性の均等化を促進する等温保持を含む。この徐冷処理は、その等温保持後にガラスをより高い温度に加熱し、数時間に亘りガラスをその温度に保持する各工程も含むことがある。この徐冷処理により製造されたガラスは、改質剤の空間的不均一濃度の存在を含む、CTE、CTE勾配、および仮想温度の高い空間的均一性を示す。

2. 发明专利

JP2017534551A 一工程フッ素トレンチ及びオーバークラッドを有する光ファイバプリフォームの作製方法有权
公开(公告)号：JP2017534551A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：JP2017514668
申请日：2015-09-09
申请人：コーニングインコーポレイテッド , コーニングインコーポレイテッド
发明人：クレイグブックバインダー，ダナ , クレイグブックバインダー，ダナ , イ，ミン−ジョン , スコットストーン，ジェフリー , スコットストーン，ジェフリー , タンドン，プシュカー
IPC分类号： C03B37/018 , C03B37/012 , C03B37/014 , G02B6/036
CPC分类号： C03B37/01453 , C03B37/01211 , C03B37/014 , C03B37/0142 , C03B37/01446 , C03B37/01466 , C03B37/027 , C03B2201/12 , C03B2201/20 , C03B2201/28 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2203/22 , C03B2203/23 , C03B2203/24 , C03B2207/66 , C03B2207/70 , G02B6/02 , G02B6/0281 , G02B6/03627 , G02B6/03638 , G02B6/0365
摘要：第1の密度を有する低屈折率トレンチ領域(112)を形成する工程;トレンチ領域の周りにシリカを含む内側バリア層(116a)を第1の密度より大きい第2の密度で形成する工程;第1のバリア層の周りにシリカ系スートを堆積させてオーバークラッド領域(114)を第2の密度より小さい第3の密度で形成する工程;トレンチ−オーバークラッド構造内にコアケーン(102)を挿入する工程;オーバークラッド領域の外側部分にシリカを含む外側バリア層(116b)を第3の密度より大きい第4の密度で形成する工程;トレンチ−オーバークラッド構造(110)を通してダウンドーパント含有ガスを流してトレンチ領域にダウンドーパントをドープする工程であって、バリア層(116a,116b)によってオーバークラッド領域(114)内へのダウンドーパントの拡散が緩和される、工程;及び、トレンチ−オーバークラッド及びコアケーンを圧密化する工程を含む、方法が提供される。内側及び外側バリア層を有する圧密化されたトレンチ−オーバークラッド構造の作製方法も提供される。

3. 发明专利

JP2016531828A ＥＵＶリソグラフィーに使用されるチタンドープシリカガラスを作製する方法及びそれに従って作製されるブランク审中-公开
标题翻译：在EUV光刻中使用的方法和相应地做出以产生掺杂钛的石英玻璃坯料
公开(公告)号：JP2016531828A
公开(公告)日：2016-10-13
申请号：JP2016533864
申请日：2014-07-22
申请人：ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフトHeraeus Quarzglas GmbH & Co. KG , ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフトHeraeus Quarzglas GmbH & Co. KG , 信越石英株式会社
发明人：オークス，ステファン , ベッカー，クラウス , トーマス，ステファン
IPC分类号： C03B8/04 , G02B1/00
CPC分类号： C03B19/1461 , C03B19/1453 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/00 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/46 , C03C2203/52 , C03C2204/00 , G03F1/52 , G03F1/60
摘要： Tiドープシリカガラス中に存在するTi3+イオンはガラスの褐色化を引き起こし、結果としてレンズの検査がより困難となる。Tiドープシリカガラス中のTi4+イオンに有利なTi3+イオンの低減を確実にするには、水素の外方拡散を伴う内部酸化を引き起こす十分に高い割合のOH基を用いるか、又はOH基の割合が低い場合には高い処理温度及び特別な耐食炉を必要とする酸素処理がガラス化の前に行われるため、費用がかかることが知られている。120ppm未満のヒドロキシル基含量で400nm〜1000nmの波長範囲において少なくとも70%の内部透過率(サンプル厚さ10mm)を示すTiドープシリカガラスの火炎加水分解スート堆積法に基づくコスト効率のよい作製方法を提供するために、TiO2−SiO2スート体をガラス化の前に窒素酸化物による処理を含むコンディショニング処理に供することが本発明により提案される。このようにしてTiドープシリカガラスから作製されるブランクは、Ti3+/Ti4+比が5×10−4以下であることを特徴とする。【選択図】なし
摘要翻译：的Ti 3+离子存在于钛掺杂的二氧化硅玻璃使得玻璃的褐变，结果镜片检查变得更加困难。为了确保减小有利的Ti 3+离子的Ti4 +离子的Ti掺杂的二氧化硅玻璃，无论是使用OH基团的足够高的百分比，以使与氢的向外扩散，或OH基团的比例内部氧化由于氧的过程，需要高的加工温度，并且当低之前玻璃化进行抗腐蚀的特殊反应器，已知的是昂贵的。用于制造提供良好的方法具有成本效益的由Ti掺杂的二氧化硅玻璃显示至少70％的内部透射率（样品厚度为10毫米），在波长范围为400nm的小于120ppm羟基含量〜1000nm的的火焰水解烟灰沉积方法于，将前玻璃化进行调节过程包括与氮氧化物处理在本发明的TiO 2的SiO 2烟灰体提议。以这种方式，该坯件由Ti掺杂的二氧化硅玻璃，其特征在于，TI3 + / Ti 4+的比率为5×10-4或更小。系统技术领域

4. 发明专利

JP2016064977A EUVリソグラフィ用高珪酸含量のフッ素及びチタンドープガラスブランクの製造方法及びその製造方法によって製造されたブランク审中-公开
标题翻译：具有高硅酸含量的氟化物和钛酸盐玻璃层的制造方法，用于EUV层析，以及制造的BLANK
公开(公告)号：JP2016064977A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2015184927
申请日：2015-09-18
申请人：信越石英株式会社 , ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト , Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
发明人：ステファンオークス , クラウスベッカー
IPC分类号： C03B8/04 , C03C3/06 , G03F1/24 , G03F1/60 , C03B20/00
CPC分类号： G03F1/22 , C03B19/06 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03B19/1461 , C03B32/00 , C03C23/00 , C03C3/04 , C03C3/06 , G03F7/00 , C03B2201/075 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/54
摘要：【課題】褐色汚れが防止でき、50nm未満の線幅を有する高度に統合された構造を製造するために、400〜700nmの波長範囲かつ試料厚さ10mmで少なくとも60%の内部透過率を有するEUVリソグラフィに使用するためチタン及びフッ素で共ドープされたシリカガラスブランクの製造方法の提供。【解決手段】珪素及びチタン含有前駆体物質の火炎加水分解法によってTiO 2 −SiO 2 スート体を製造する工程、前記スート体をフッ素化する工程、調整スート体を形成するため水蒸気含有雰囲気において前記フッ素ドープTiO 2 −SiO 2 スート体を処理する工程、及び、高い珪酸含量、10〜100重量ppmの範囲の平均OH基含量、及び2,500〜10,000重量ppmの範囲の平均フッ素含量を有するチタンドープガラスのブランクを形成するため前記調整スート体をガラス化する工程、を含むチタンドープガラスのブランクの製造方法。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了提供在EUV光刻中使用的二氧化硅玻璃毛坯的制造方法，能够防止坯料变褐和变脏，形成线宽小于50nm的高度一体化的结构，石英玻璃毛坯共掺杂钛和氟，波长范围为400-700nm，样品厚度为10mm，内部透射率为至少60％。溶液：掺杂钛的玻璃坯料的制造方法包括：通过对含有二氧化硅和钛的前体物质进行火焰水解处理来生产TiO-SiOs体的步骤; 在烟灰体上进行氟化的步骤; 在含湿气氛下处理氟掺杂TiO-SiO体的步骤，用于形成调整后的烟灰体; 以及对经调整的烟灰体进行玻璃化以形成具有高硅酸含量，10-100重量ppm范围内的平均OH基含量和在10-100重量ppm范围内的平均氟含量的钛掺杂玻璃坯料的步骤 2,500-10,000重量ppm.SELECTED图：图1

5. 发明专利

JP2016511211A ＥＵＶリソグラフィに使用されるミラー基板用のＴｉＯ２−ＳｉＯ２ガラスのブランク及びその製造方法有权
标题翻译：空白和在EUV光刻中使用的制造反射镜衬底的相同的TiO 2 -SiO 2玻璃的方法
公开(公告)号：JP2016511211A
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：JP2015556463
申请日：2014-02-04
申请人：ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフトHeraeus Quarzglas GmbH & Co. KG , ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフトHeraeus Quarzglas GmbH & Co. KG , 信越石英株式会社
发明人：トーマス，ステファン , ベッカー，クラウス , オークス，ステファン
IPC分类号： C03B8/04 , C03B20/00 , C03C3/06 , G02B1/00 , G02B5/08
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B25/02 , C03B32/00 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , C03C2203/52 , G02B5/0891 , G03F7/70316 , G03F7/70958
摘要：熱膨張係数の推移、また結果的にゼロクロス温度TZCの推移を最適化するような適合の必要性が低く、TiO2−SiO2ガラスが、920℃〜970℃の範囲の仮想温度Tfの平均値において、仮想温度Tfに対するそのゼロクロス温度TZCの依存性を有し、微分商dTZC/dTfとして表されるその依存性が0.3未満である、EUVリソグラフィに使用されるミラー基板用のTiO2−SiO2ガラスのブランクを提供すること。【選択図】図2
摘要翻译：在热膨胀系数的变化，这也导致过零点温度TZC徘徊适应低需要以优化，TiO2-SiO2的玻璃，假想温度Tf的在920℃970℃范围内的平均值，有过零点温度TZC到虚拟温度Tf的依赖性，其依赖是小于0.3，它表示为一个微商dTZC / DTF，在EUV光刻空白中使用的镜基板的TiO 2 -SiO 2玻璃提供。 .The

6. 发明专利

JP2016052993A ニア・ネット・シェイプの溶融シリカ物品およびその製造方法审中-公开
标题翻译：接近网状的熔融二氧化硅制品及其制造方法
公开(公告)号：JP2016052993A
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：JP2015222850
申请日：2015-11-13
申请人：コーニングインコーポレイテッド
发明人：ダニエルハウトフ , ウィンザーピートーマス
IPC分类号： C03B20/00 , C03C3/06 , C03B8/04
CPC分类号： C03B19/1492 , C03B19/1453 , F42B10/46 , F42B15/34 , C03B2201/31 , C03B2201/42 , C03B2201/58 , Y10T428/131 , Y10T428/1317
摘要：【課題】レドーム用として有用な溶融シリカガラス物品及びその製造方法を提供する。【解決手段】マンドレル210を提供する工程、シリカスート粒子310を、マンドレル210上にその場で堆積させて、シリカスート体を形成する工程、マンドレル210を約1200℃から約1900℃までの範囲の温度に誘導加熱する工程、マンドレル210上のシリカスート体をその場で焼結して、溶融シリカガラス物品を形成する工程において、第1の組成を有するシリカスート粒子310、第1の組成とは異なる第2の組成を有するシリカスート粒子310の第2の層を第1の層上に堆積させる各工程、あるいは、第1の密度を有するシリカスート粒子310、第1の密度とは異なる第2の密度を有するシリカスート粒子310の第2の層を第1の層上に堆積させる各工程、のいずれか一方または両方を含むシリカガラス物品の製造方法。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可用于天线罩的熔融石英玻璃制品及其制造方法。解决方案：制造石英玻璃制品的方法包括沉积二氧化硅烟灰颗粒310的各个方法之一或两者具有第一组合物和第二层二氧化硅颗粒310，其具有不同于第一层上的第一组合物的第二组成，以及沉积具有第一密度的二氧化硅烟灰颗粒310和具有二氧化硅烟灰颗粒310的第二层的各自的工艺，在提供心轴210的工艺中，与第一层上的第一密度不同的第二密度，通过在心轴210上沉积二氧化硅烟灰颗粒310形成二氧化硅烟灰体的工艺，感应加热心轴 210至约1200℃至约1900℃的温度，以及通过烧结二氧化硅烟灰波形成熔融石英玻璃制品的方法 dy在心轴210上现场。选择图：图2

7. 发明专利

JP2016508478A チタンドープ合成石英ガラスの製造方法有权
标题翻译：一种制造掺杂钛的合成石英玻璃的方法
公开(公告)号：JP2016508478A
公开(公告)日：2016-03-22
申请号：JP2015557383
申请日：2014-02-07
申请人：ヘレウスクワルツグラスゲーエムベーハーウントコンパニーカーゲー , ヘレウスクワルツグラスゲーエムベーハーウントコンパニーカーゲー , 信越石英株式会社
发明人：ハインツファビアン , ハインツファビアン , シュテファントーマス , シュテファントーマス
IPC分类号： C03B8/04 , C03C3/06 , G02B1/00 , G02B3/00
CPC分类号： C03B19/1415 , C03B19/14 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/40
摘要： (A)60重量%より多いポリアルキルシロキサンD4を含む液体SiO2フィードストック材(105)を供給する工程、(B)気体SiO2フィードストック蒸気(107)を生成するために、液体SiO2フィードストック材(105)を蒸発させる工程、(C)気体TiO2フィードストック蒸気(207)を生成するために、液体TiO2フィードストック材(205)を蒸発させる工程、(D)SiO2フィードストック蒸気(107)及びTiO2フィードストック蒸気を、それぞれSiO2粒子及びTiO2粒子に変える工程、(E)堆積面(160)上にSiO2粒子及びTiO2粒子を堆積して、チタンドープSiO2スート体(200)を形成する工程、(F)チタンドープSiO2スート体をガラス化して、TiO2濃度が5重量%〜11重量%である合成石英ガラスを形成する工程を含む、チタンドープ合成石英ガラスの製造方法。【選択図】図1
摘要翻译：（A）将含有更多的60％（重量）的聚烷基硅氧烷D4，以产生（B）的SiO 2气体原料蒸气（107），液体的SiO 2原料（液体的SiO 2原料（105）蒸发105），（C）以产生气体的TiO 2的原料蒸汽（207），蒸发的液体二氧化钛原料的（205）的步骤，（D）的SiO 2原料蒸气（107）和TiO 2进料的步骤股票蒸气，分别改变SiO 2颗粒和TiO 2颗粒，通过在（E）沉积表面（160）上沉积SiO 2颗粒和TiO 2颗粒，从而形成掺杂钛的的SiO 2烟灰体（200）的步骤，（F）掺杂钛的二氧化硅烟灰体被玻璃化的方法，包括形成的合成石英玻璃的步骤是5重量％至11重量％的TiO 2浓度，从而产生掺杂钛的合成二氧化硅玻璃。点域1

8. 发明专利

JP5772827B2 インプリントモールド用TiO2含有石英ガラス基材およびその製造方法有权
标题翻译：压印模具含TiO 2的石英玻璃基板和制造方法
公开(公告)号：JP5772827B2
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：JP2012524525
申请日：2011-07-06
申请人：旭硝子株式会社
发明人：小池章夫 , 宮坂順子 , 中西博志
IPC分类号： C03C3/06 , C03C3/076 , C03C19/00 , H01L21/027
CPC分类号： B29D11/00769 , B24B9/10 , B29C59/002 , B29C59/026 , C03B19/14 , C03B19/1453 , C03C19/00 , C03C3/06 , G03F7/0002 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2204/08 , Y10T428/24355

9. 发明专利

JP2015502897A ゾルゲル溶液から目的物を製造する方法有权
标题翻译：用于从溶胶 - 凝胶溶液生产期望的产物的方法
公开(公告)号：JP2015502897A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：JP2014532419
申请日：2012-09-28
申请人：コミッサリアアレネルジーアトミークエオゼネルジザルタナテイヴ , コミッサリアアレネルジーアトミークエオゼネルジザルタナテイヴ
发明人：タレク・ファタラ , ギレ・マルシャン
IPC分类号： C03B8/02 , C03B37/016 , C08G77/02 , C08G77/12 , G02B1/04
CPC分类号： C03B19/12 , B28B1/24 , B28B7/344 , B28B7/346 , B28B7/348 , B28B11/12 , C03B37/016 , C03B2201/02 , C03B2201/42 , C03C1/006 , C03C2203/26 , C04B35/14 , C04B35/16 , C04B35/624 , C04B2235/3232 , C04B2235/441 , C04B2235/6027 , C04B2235/606
摘要：本発明は、ゾルゲル溶液から得られた構成材料でできた目的物の製造方法であって、以下の段階を連続して含み、(a)製造される目的物の成形型の内部に前記ゾルゲル溶液を導入する段階、(b)ゾルゲル溶液をゲル化する段階、(c)前記成形型内で段階(b)により得られた前記ゲルを乾燥する段階であって、それによって前記ゲルが上述の目的物の構成材料に変換される段階、前記成形型が閉じられたチャンバからなり、段階(b)および/または段階(c)の間に形成される気体の排出を可能にするのに適した材料を含むことを特徴とする製造方法である。
摘要翻译：本发明是由选自溶胶 - 凝胶溶液中获得的材料的物体的制造方法，依次包括待生产的溶胶 - 凝胶溶液的对象的模具的内部的步骤（a）引入溶胶 - 凝胶溶液凝胶化的，步骤（b），（c）中在模具中（b）干燥由工序中得到的凝胶，由此目的的凝胶是上述的一个步骤步骤被转换为物体的材料，从腔室制成，其中所述模具闭合时，步骤（b）和/或适合于允许步骤过程中形成的气体的排出的材料（c）中是一个制造方法，该方法包括：a。

10. 发明专利

JP5637146B2 インプリントモールド用石英系ガラス基材の製造方法およびインプリントモールドの製造方法有权
标题翻译：制造的制造方法和压印模具压印模具石英玻璃衬底的方法
公开(公告)号：JP5637146B2
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：JP2011544255
申请日：2010-11-30
申请人：旭硝子株式会社
发明人：小池　章夫 , 章夫小池 , 順子宮坂 , 順子宮坂
IPC分类号： C03B8/04 , C03B20/00 , C03C3/06 , C03C15/00 , G02B5/18
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C33/3842 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/14 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C15/00 , C03C2201/42 , C03C2203/44

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