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    • 8. 发明专利
    • 液滴分注装置
    • JP2021179405A
    • 2021-11-18
    • JP2020086109
    • 2020-05-15
    • 東芝テック株式会社
    • 横山 周平久保田 敦楠 竜太郎
    • G01N1/00G01N5/02
    • 【課題】高い精度で液体吐出装置から吐出される液滴の量を測定することができる液滴分注装置を提供すること。 【解決手段】本実施形態の液滴分注装置は、水晶センサと、振動電圧発生部と、共振周波数測定部と、制御部と、を具備する。振動電圧発生部は、前記水晶センサに振動電圧を印加して振動させる。共振周波数測定部は、前記水晶センサの共振周波数を検出する。制御部は、薬液を液滴として吐出する薬液吐出装置から吐出された前記液滴が前記水晶センサに付着する前後での前記水晶センサの共振周波数の変化量を求め、前記液滴が前記水晶センサに付着した後の前記水晶センサの共振周波数の経時変化傾向に基づいて、前記水晶センサに付着した前記液滴の揮発量を推定し、前記変化量及び前記揮発量に基づいて、前記水晶センサに付着した前記液滴の重量を算出する。 【選択図】 図1