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    • 3. 发明授权
    • 반도체 장치
    • KR102479944B1
    • 2022-12-20
    • KR1020217037808
    • 2013-04-05
    • H01L29/786
    • 트랜지스터는, 제 1 게이트전극층과산화물반도체적층사이에끼워진절연층과, 제 2 게이트전극층과산화물반도체적층사이에끼워진절연층을통하여, 제 1 게이트전극층과제 2 게이트전극층과의사이에, 산화물반도체적층을포함한다. 채널형성영역의막 두께는산화물반도체적층의그 외의영역보다작다. 또한, 상기트랜지스터에있어서, 게이트전극층의한쪽은문턱전압을제어하기위한소위백 게이트로서제공되어있다. 이백 게이트에인가하는전위의높이를제어함으로써, 트랜지스터의문턱전압을제어할수 있기때문에, 트랜지스터를노멀리오프로유지하는것이용이하게된다.