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    • 1. 发明授权
    • 반도체 패키지용 폴리머 경화공정장치
    • KR102478138B1
    • 2022-12-14
    • KR1020210049280
    • 2021-04-15
    • H01L21/67H01L21/683H05B6/64H01J37/06H05B3/00
    • 본발명은반도체공정의팬아웃패키지공정에관한것으로, 특히진공챔버내에서전자빔과적외선(IR)을동시에이용하여기판상에형성된폴리머를상대적으로낮은온도환경에서경화처리함과더불어다중경화처리시기 경화층으로의열부하를감소시켜기판의휨(warpage) 현상을최소화하는기술에관한것이다. 본발명에따른인라인타입의반도체패키지용폴리머경화공정시스템은, 진공챔버내부에서공정가스와반응하여폴리머층이형성된대면적기판을경화시키는반도체패키지용폴리머경화공정장치에있어서, 대면적의전자빔을생성하여하측으로방출하는전자빔발생장치와, 전자빔발생장치의하측에배치되어 IR 램프로부터발생되는 IR과상측으로부터유입되는전자빔을하측에배치된기판측으로동시에방출하는 IR 발생수단및, 상기전자빔발생장치를통해기 설정된밀도의대면적전자빔을생성함과더불어상기 IR 발생수단을통해 IR을발생시키도록각 장치로해당전원을공급함으로써, 기판에형성된폴리머층을경화시키도록제어하는제어수단을포함하여구성되고, 상기 IR 발생수단은다수의홀을갖는판형상의제1 및제2 메탈층이일정거리이격되게배치되어내부공간을형성하는반사체를포함하며, IR 램프는반사체의측면에배치되어반사체내부공간으로 IR을방출하여 IR이제1 및제2 메탈층에의해반사되어제2 메탈층의홀을통해하측으로방출되고, 전자빔은제1 메탈층의홀을통해반사체내부로유입되어제2 메탈층의홀을통해하측으로방출되는것을특징으로한다.
    • 2. 实用新型
    • 전자레인지의 기능을 겸비한 건조기
    • KR200495139Y1
    • 2022-03-11
    • KR2020190004803
    • 2019-11-27
    • F26B3/347F26B25/14H05B6/64
    • 본고안은마이크로파에의한가열과공기의순환에따른건조를수행할수 있는전자레인지의기능을겸비한건조기에관한것이다. 전자레인지의기능을겸비한건조기는내부에피건조물을반입하는건조실이형성된건조기본체, 상기건조실로피건조물을반입또는반출하기위해상기건조기본체에형성되는출입구, 상기출입구를개폐하는출입도어, 상기건조실의하부로마이크로파를방출하도록상기건조기본체의상부에설치되는마그네트론, 상기건조실의상부를구획하여상기마그네트론에전원을공급하는전원공급장치가설치되는전원수용부, 상기전원공급장치를냉각하기위한외부의공기를상기전원수용부로도입하는공기인입구, 상기공기인입구를통해상기전원수용부로강제적으로공기를도입하는송풍팬, 상기공기인입구로도입된공기를상기건조실로도입하도록상기건조실의상부에공기가유통되는복수개의유통공으로구성된건조도입부, 상기건조도입부를통해상기건조실로도입된공기를피건조물의수분을흡수하여외부로배출하는공기가유통되는복수개의유통공으로구성된배기부, 상기전원수용부에형성되어상기공기인입구를통해상기전원수용부에서상기전원공급장치와열교환한공기를외부로바로방출하는방출구, 및상기방출구에설치되어선택적으로상기방출구를개방하여상기공기인입구로도입된공기를상기방출구로바로배기하거나, 상기방출구를폐쇄하여도입된공기를상기건조도입부를통해상기건조실로도입하여피건조물을건조시키는건조선택도어를포함한다. 따라서, 건조와가열이가능한이점이있다.
    • 3. 发明公开
    • 자동 개방 구조가 적용된 조리기기
    • KR1020220024294A
    • 2022-03-03
    • KR1020220016065
    • 2022-02-08
    • F24C15/02H05B6/64E05F15/611E05F3/20E05F5/10
    • 본발명은도어를자동개방하는메커니즘을구비하는가전기기를제공한다. 상기가전기기의도어(720)가본체(710)와마주하는면에는, 상기본체(710)를향해연장되고서로독립적으로거동하는한 쌍의래치(200)가마련되고, 상기도어(720)가닫힌상태에서상기래치(200)가마련된위치와대응하는본체(710) 부분에는, 상기래치(200)와걸려상기도어(720)가닫힌상태를유지하거나상기래치(200)와걸림해제되어상기도어(720)가개방되도록하는한 쌍의래치홀더가구비된다. 상기한 쌍의래치홀더중 어느한 래치홀더(10)는, 상기래치홀더(10)에인입된래치(200)를래치홀더(10) 외부로밀어내는레버(300)를구비한다. 상기레버(300)는, 상기레버(300)가제1방향으로움직임에따라상기래치(200)를상기래치홀더(10)로부터밀어내는밀어올림경사면(333)을구비한다. 상기밀어올림경사면(333)과마주하는래치(200)의선단하부에는, 상기레버(300)가제1방향으로움직임에따라상기밀어올림경사면(333)과접하는선단하부경사면(232)이구비된다.
    • 8. 发明授权
    • 축전지 내장형 가로등
    • KR102284706B1
    • 2021-08-02
    • KR1020210046471
    • 2021-04-09
    • F21V29/90F21S8/08F21S13/10H02J7/00H05B6/64
    • 본발명은축전지내장형가로등에있어서, 더욱상세하게는자체발전을위한태양전지또는풍력발전기와, 충/방전이가능한축전지(2차전지) 및조명상태및 전력제어를위한제어기를구비하여태양에너지및 풍력을이용해낮에축전시킨전기에너지를밤에램프를점등하는데사용할수 있도록하되, 온도조건과습도조건에따라서가로등내부을적절히건조시키거나성애를제거토록하여축전지의사용수명을연장토록하고유지보수의편리함을증대시키도록구성한것을특징으로하는축전지내장형가로등에관한것으로, 전기에너지를발생시키는자체발전수단과, 지상에세워져설치되고상기자체발전수단이장착되는지주대(140)와, 상기지주대(140)의상부에설치되는램프(120)와, 상기자체발전수단과연결되어그로부터발생한전기에너지를축전시키는축전지(130)를포함하여구성되는가로등에있어서, 상기지주대(140)의외측에는축전지(130)의충전상태및 전기잔량, 작동시간및 예상사용시간을포함한축전지의상태를디스플레이하기위한표시부를설치되고, 상기축전지(130) 및램프(120)에연결되어이들의작동을제어하는제어기(150)가상기축전지(130)와함께지주대(140)의내부공간에장착되며, 상기가로등지주대의외부일측에연결되며, 가로등내부로마이크로파를방출함으로써상기가로등내부공간부에존재하는습기를발열시켜제거시키는마이크로웨이브발진기(120)와; 상기가로등지주대내부일단에설치되며, 가로등지주대내부의온도를측정하여기준이하온도인지를파악하기위한온도센서부와; 상기가로등지주대내부일단에설치되며, 가로등지주대내부의습도를측정하여기준이상의습도인지를파악하기위한습도센서부와; 상기온도센서부및 습도센서의측정결과가로등지주대내부에성애가존재하는것으로판단되면해동을위한제어신호를출력하되, 마이크로웨이브의출력이간헐적으로진행되도록제어하는해동제어부를포함하고; 상기해동제어부는온도센서부및 습도센서부의센싱결과성애상태일경우마이크로웨이브의고압트랜스의승압전압을 1600V - 1800V로전환하는프로그램코드와, 부분가열되는것을최소화하기위해서 5초간마이크로파를발산하고, 5초간은마이크로파를발산하지않토록하는프로그램코드를갖는것이특징이다.