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1. 发明授权

US09581526B2 Method for S/TEM sample analysis 有权
标题翻译： S / TEM样品分析方法
公开(公告)号：US09581526B2
公开(公告)日：2017-02-28
申请号：US15047064
申请日：2016-02-18
申请人： FEI Company
发明人： Jason Arjavac , Pei Zou , David James Tasker , Maximus Theodorus Otten , Gerhard Daniel
IPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N23/04 , G01N1/32 , H01J37/305 , H01J37/26 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (
摘要翻译：一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。本发明的优选实施例还通过提供部分或全部自动化TEM样品制作的方法来提供在诸如集成电路或半导体晶片上制造的其它结构的物体上的基于S / TEM的测量的在线方法，以使得创建过程并分析TEM样品减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

2. 发明申请

US20160013016A1 METHOD OF CALIBRATING A SCANNING TRANSMISSION CHARGED-PARTICLE MICROSCOPE 有权
标题翻译：校准传输充电微粒的方法
公开(公告)号：US20160013016A1
公开(公告)日：2016-01-14
申请号：US14795704
申请日：2015-07-09
申请人： FEI Company
发明人： Maximus Theodorus Otten , Abigaël Adriana Maria Kok , Martin Verheijen
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J2237/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817 , H01J2237/2826
摘要： A method of calibrating a Scanning Transmission Charged-Particle Microscope, operable ina non-scanning mode, whereby said beam is relatively broad, anda scanning mode, whereby said beam is relatively narrow and an image is formed as a function of scan position of said beam, the method comprising:providing a calibration specimen on said specimen holder;in non-scanning mode, using said detector to form a calibration image of the calibration specimen, using a given configuration of said imaging system; utilizing a known dimension of said calibration specimen and comparing it to a corresponding dimension in said calibration image to calibrate a characteristic dimension of a field of view of said detector; andin scanning mode, recording a beam pattern of said beam in the calibrated field of view of said detector, and examining the recorded beam pattern to derive a geometric aspect thereof.
摘要翻译：一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法，其可在非扫描模式下操作，由此所述光束相对较宽，并且扫描模式，由此所述光束相对较窄并且形成图像作为扫描位置的函数所述光束，所述方法包括：在所述样本保持器上提供校准样本; 在非扫描模式中，使用所述检测器，使用所述成像系统的给定配置来形成所述校准样本的校准图像; 利用所述校准样本的已知尺寸并将其与所述校准图像中的对应尺寸进行比较，以校准所述检测器的视野的特征尺寸; 并且在扫描模式中，在所述检测器的校准视野中记录所述光束的光束图案，并且检查记录的光束图案以导出其几何方面。

3. 发明申请

US20160163506A1 METHOD FOR S/TEM SAMPLE ANALYSIS 审中-公开
公开(公告)号：US20160163506A1
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：US15047064
申请日：2016-02-18
申请人： FEI Company
发明人： Jason Arjavac , Pei Zou , David James Tasker , Maximus Theodorus Otten , Gerhard Daniel
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

4. 发明申请

US20130341505A1 METHOD FOR S/TEM SAMPLE ANALYSIS 有权
标题翻译： S / TEM样品分析方法
公开(公告)号：US20130341505A1
公开(公告)日：2013-12-26
申请号：US13777018
申请日：2013-02-26
申请人： FEI Company
发明人： Jason Arjavac , Pei Zou , David James Tasker , Maximus Theodorus Otten , Gerhard Daniel
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (
摘要翻译：一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。本发明的优选实施例还通过提供部分或全部自动化TEM样品制作的方法来提供在诸如集成电路或半导体晶片上制造的其它结构的物体上的基于S / TEM的测量的在线方法，以使得创建过程并分析TEM样品减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

5. 发明授权

US09396907B2 Method of calibrating a scanning transmission charged-particle microscope 有权
标题翻译：校准扫描透射带电粒子显微镜的方法
公开(公告)号：US09396907B2
公开(公告)日：2016-07-19
申请号：US14795704
申请日：2015-07-09
申请人： FEI Company
发明人： Maximus Theodorus Otten , Abigaël Adriana Maria Kok , Martin Verheijen
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J2237/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817 , H01J2237/2826
摘要： A method of calibrating a Scanning Transmission Charged-Particle Microscope, operable in a non-scanning mode, whereby said beam is relatively broad, and a scanning mode, whereby said beam is relatively narrow and an image is formed as a function of scan position of said beam, the method comprising: providing a calibration specimen on said specimen holder; in non-scanning mode, using said detector to form a calibration image of the calibration specimen, using a given configuration of said imaging system; utilizing a known dimension of said calibration specimen and comparing it to a corresponding dimension in said calibration image to calibrate a characteristic dimension of a field of view of said detector; and, in scanning mode, recording a beam pattern of said beam in the calibrated field of view of said detector, and examining the recorded beam pattern to derive a geometric aspect thereof.
摘要翻译：一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法，其可在非扫描模式下操作，由此所述光束相对较宽，并且扫描模式，由此所述光束相对较窄并且形成图像作为扫描位置的函数所述光束，所述方法包括：在所述样本保持器上提供校准样本; 在非扫描模式中，使用所述检测器，使用所述成像系统的给定配置来形成所述校准样本的校准图像; 利用所述校准样本的已知尺寸并将其与所述校准图像中的对应尺寸进行比较，以校准所述检测器的视野的特征尺寸; 并且在扫描模式中，在所述检测器的校准视场中记录所述光束的光束图案，并且检查记录的光束图案以导出其几何方面。

6. 发明授权

US09275831B2 Method for S/TEM sample analysis 有权
公开(公告)号：US09275831B2
公开(公告)日：2016-03-01
申请号：US14546244
申请日：2014-11-18
申请人： FEI Company
发明人： Jason Arjavac , Pei Zou , David James Tasker , Maximus Theodorus Otten , Gerhard Daniel
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/305 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/28 , G01N23/04 , G01N1/32 , H01J37/26 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (

7. 发明申请

US20150206707A1 Method for S/TEM Sample Analysis 审中-公开
标题翻译： S / TEM样品分析方法
公开(公告)号：US20150206707A1
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：US14546244
申请日：2014-11-18
申请人： FEI Company
发明人： Jason Arjavac , Pei Zou , David James Tasker , Maximus Theodorus Otten , Gerhard Daniel
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (
摘要翻译：一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。本发明的优选实施例还通过提供部分或全部自动化TEM样品制作的方法来提供在诸如集成电路或半导体晶片上制造的其它结构的物体上的基于S / TEM的测量的在线方法，以使得创建过程并分析TEM样品减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

8. 发明授权

US08890064B2 Method for S/TEM sample analysis 有权
标题翻译： S / TEM样品分析方法
公开(公告)号：US08890064B2
公开(公告)日：2014-11-18
申请号：US13777018
申请日：2013-02-26
申请人： FEI Company
发明人： Jason Arjavac , Pei Zou , David James Tasker , Maximus Theodorus Otten , Gerhard Daniel
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/305 , G01N1/32 , G01N1/28
CPC分类号： G01N1/28 , G01N1/06 , G01N1/08 , G01N1/32 , G01N23/04 , H01J37/06 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/063 , H01J2237/182 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/2802 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： An improved method and apparatus for S/TEM sample preparation and analysis. Preferred embodiments of the present invention provide improved methods for TEM sample creation, especially for small geometry (
摘要翻译：一种用于S / TEM样品制备和分析的改进方法和装置。本发明的优选实施例提供用于TEM样品制备的改进方法，特别是对于小几何（<100nm厚）TEM薄片。本发明的优选实施例还通过提供部分或全部自动化TEM样品制作的方法来提供在诸如集成电路或半导体晶片上制造的其它结构的物体上的基于S / TEM的测量的在线方法，以使得创建过程并分析TEM样品减少劳动密集度，并提高TEM分析的产量和再现性。

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