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化学气相沉积炉

阅读：768发布：2020-05-12

IPRDB可以提供化学气相沉积炉专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明的目的在于提供一种气相沉积炉，该气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口以及模具，进气口在炉体底部或顶部，其特征在于：在炉体内或炉体外设有旋转机构，所述旋转机构由1~36个齿轮、转盘、齿套、伞齿轮组、连接轴以及电机组成，电机通过伞齿轮组与转盘相连，齿轮通过连接轴固定在转盘上，齿套在所有齿轮外围固定，并与齿轮啮合，转盘转动带动齿轮沿着圆盘式齿套旋转，每个齿轮上都吊挂或直立一个模具，模具随着齿轮的自转公转实现了产品在炉内的公转与自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本。，下面是化学气相沉积炉专利的具体信息内容。

权利要求

1.化学气相沉积炉，其由下述几部分构成：炉体（1）、进气口（2）、出气口（3）、模具（4）、旋转机构（5）以及发热体（6）；其中：发热体（6）、进气口（2）、出气口（3）都布置在炉体（1）上，进气口（2）设置在炉体（1）的上部，旋转机构（5）由转盘（5.1）、齿轮（5.2）、连接轴（5.3）、伞齿轮组（5.4）、齿套（5.5）以及电机（5.6）组成，发热体（6）由感应线圈（6.1）、加热体（6.2）以及石墨套筒（6.3）组成；电机（5.6）通过伞齿轮组（5.4）与转盘（5.1）相连，齿轮（5.2）共有5个且皆通过连接轴（5.3）固定在转盘（5.1）上，且每个齿轮（5.2）上都设置有一个模具4；其特征在于：所述旋转机构（5）设置在炉体（1）内的上端；进气口为三同心圆进气口。

2.按照权利要求1所述化学气相沉积炉，其特征在于：炉体1具体为双壁水冷炉体。

说明书全文

化学气相沉积炉

技术领域

[0001] 本发明涉及化学气相沉积技术的技术领域，特别提供了一种化学气相沉积炉。

背景技术

[0002] 现有技术中,气相沉积炉包括炉体、加热体、进气口、出气口、模具等几部分，进气口在炉体底部或顶部，出气口通常与之相对，为使气相沉积均匀，进气口常采用同心圆筒的方式，模具对准进气口，且有齿轮使每一只吊挂的产品都进行自转。然而，当制作大尺寸的热解氮化硼制品时，容易导致锅底较厚，而侧壁较薄，同时由于原料气体在空间分布的不均匀，导致壁厚分布不均匀的现象时有发生。当同时制作多个热解氮化硼制品时，也容易导致导致壁厚分布不均匀。

[0003] 人们期望获得一种技术效果优良的化学气相沉积炉。

发明内容

[0004] 本发明的目的在于提供一种技术效果优良的化学气相沉积炉。

[0005] 本发明具体提供了一种气相沉积炉，化学气相沉积炉，其由下述几部分构成：炉体1、进气口2、出气口3、模具4、旋转机构5以及发热体6；其中：发热体6、进气口2、出气口3都布置在炉体1上，进气口2设置在炉体1的上部，旋转机构5由转盘5.1、齿轮5.2、连接轴5.3、伞齿轮组5.4、齿套5.5以及电机5.6组成，发热体6由感应线圈6.1、加热体6.2以及石墨套筒6.3组成；电机5.6通过伞齿轮组5.4与转盘5.1相连，齿轮5.2共有5个且皆通过连接轴5.3固定在转盘5.1上，且每个齿轮5.2上都设置有一个模具4，模具随着齿轮
5.2的动作实现模具4在炉体1内的公转与自转；其特征在于：所述旋转机构5设置在炉体
1内的上端；进气口为三同心圆进气口。

[0006] 炉体1具体为双壁水冷炉体。

[0007] 该气相沉积炉的进气口为三同心圆进气口，在炉体1内或炉体1外设有旋转机构5，可以有多只产品模具4在炉体1内同时进行公转、自转。采用该气相沉积炉制备热解氮化硼（PBN）制品，能够提高PBN产品质量及其生产效率，降低生产成本采用三同心圆进气可以使原料气体混合的更加均匀，致使气体不发生明显的偏析，使得大坩埚与一炉多只的小坩埚颜色均匀。三同心圆进气口对于生产大尺寸产品的效果比同心圆进气口更好。

[0008] 采用本发明提供的气相沉积炉制备而得的产品，尺寸一致、颜色归一、规格相同，在提高产品合格率的同时，也大大提高了其生产效率。

附图说明

[0009] 图1为一炉五只气相沉积炉结构图。

具体实施方式

[0010] 实施例1如图1所示，一种气相沉积炉，化学气相沉积炉，其由下述几部分构成：炉体1、进气口
2、出气口3、模具4、旋转机构5以及发热体6；其中：发热体6、进气口2、出气口3都布置在炉体1上，进气口2设置在炉体1的上部，旋转机构5由转盘5.1、齿轮5.2、连接轴5.3、伞齿轮组5.4、齿套5.5以及电机5.6组成，发热体6由感应线圈6.1、加热体6.2以及石墨套筒6.3组成；电机5.6通过伞齿轮组5.4与转盘5.1相连，齿轮5.2共有5个且皆通过连接轴5.3固定在转盘5.1上，且每个齿轮5.2上都设置有一个模具4，模具随着齿轮5.2的动作实现模具4在炉体1内的公转与自转；所述旋转机构5设置在炉体1内的上端；进气口为三同心圆进气口。

[0011] 炉体1具体为双壁水冷炉体。

标题	发布/更新时间	阅读量
化学气相沉积炉-专利编号CN104342631A	2020-05-11	694
化学气相沉积腔室-专利编号CN110016656A	2020-05-13	310
化学气相沉积炉-专利编号CN102839361A	2020-05-12	768
化学气相沉积炉-专利编号CN102181845B	2020-05-12	116
化学气相沉积方法-专利编号CN106460167B	2020-05-13	523
化学气相沉积炉-专利编号CN104342631B	2020-05-12	145
化学气相沉积炉-专利编号CN101956183A	2020-05-11	188
化学气相沉积炉-专利编号CN102181845A	2020-05-11	896
化学气相沉积炉-专利编号CN107604340A	2020-05-11	260
化学气相沉积装置-专利编号CN109778144A	2020-05-13	49

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