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传感器

阅读：909发布：2021-02-11

IPRDB可以提供传感器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种传感器，包含一导流壳体，及一感测装置。导流壳体界定有一气体流道，气体流道用以导引气流沿一第一流动方向流动。感测装置设置于导流壳体并包括一感测模块，感测模块包含一感测电路板、一流量感测芯片，及多条第一导流元件，感测电路板具有一面向气体流道的第一面，流量感测芯片设置于第一面用以感测流过气体流道的气流流量，流量感测芯片具有一感测面，感测面具有一第一侧边，第一导流元件凸设于第一面并与第一侧边相间隔，各第一导流元件呈长条状且长向沿第一流动方向延伸，各第一导流元件用以对气流整流使其经整流后流过感测面。，下面是传感器专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种传感器；其特征在于：

该传感器包含一导流壳体，及一感测装置，该导流壳体界定有一气体流道，该气体流道用以导引气流沿一第一流动方向流动，该感测装置设置于该导流壳体并包括一感测模块，该感测模块包含一感测电路板、一流量感测芯片，及多条第一导流元件，该感测电路板具有一面向该气体流道的第一面，该流量感测芯片设置于该第一面用以感测流过该气体流道的气流流量，该流量感测芯片具有一感测面，该感测面具有一第一侧边，所述第一导流元件凸设于该第一面并与该第一侧边相间隔，各该第一导流元件呈长条状且长向沿该第一流动方向延伸，各该第一导流元件用以对气流整流使其经整流后流过该感测面。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：该气体流道具有一用以导引气流沿该第一流动方向流动的导引流路，该流量感测芯片对应于该导引流路位置用以感测流过该导引流路的气流流量，该第一侧边沿着一实质上垂直于该第一流动方向的延伸方向延伸，所述第一导流元件沿着该延伸方向彼此相间隔排列。

3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于：该导引流路可选择地沿一相反于该第一流动方向的第二流动方向导引气流流动，该感测面还具有一相反于该第一侧边的第二侧边，该感测模块还包含多条凸设于该第一面并与该第二侧边相间隔的第二导流元件，各该第二导流元件呈长条状且长向沿该第二流动方向延伸，各该第二导流元件用以对气流整流使其经整流后流过该感测面。

4.根据权利要求3所述的传感器，其特征在于：该第二侧边沿着该延伸方向延伸，所述第二导流元件沿着该延伸方向彼此相间隔排列。

5.根据权利要求1至4其中任一项所述的传感器，其特征在于：该第一面具有一表面部，及一由该表面部凹陷形成的凹槽部，该流量感测芯片设置于该凹槽部内，该感测面与该表面部共平面或者是位于该凹槽部内。

6.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于：该气体流道具有一与该导引流路相间隔的导流孔，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该感测电路板界定一贯穿该第一面与该第二面并与该导流孔相连通的穿孔，该感测模块还包含一设置于该第二面且封闭该穿孔的压力感测芯片，该压力感测芯片用以感测经由该导流孔流入该穿孔的气流压力。

7.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于：该气体流道具有分别连通于该导引流路相反端的一第一导通流路及一第二导通流路，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该感测电路板界定一贯穿该第一面与该第二面的穿孔，该穿孔与该第一导通流路或该第二导通流路相连通，该感测模块还包含一设置于该第二面且封闭该穿孔的压力感测芯片，该压力感测芯片用以感测经由该第一导通流路或该第二导通流路流入该穿孔的气流压力。

8.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于：该气体流道具有分别连通于该导引流路相反端的一第一导通流路及一第二导通流路，该感测模块还包含一设置于该第一面的压力感测芯片，该压力感测芯片位于该第一导通流路内或该第二导通流路内，该压力感测芯片用以感测流过该第一导通流路或该第二导通流路的气流压力。

9.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于：该感测装置还包含一与该导流壳体相接合的外壳，及一设置于该外壳内的导流件，该外壳界定有一进气孔，该导流件界定有一与该进气孔相连通并与该导引流路相间隔的导流孔，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该感测电路板界定一贯穿该第一面与该第二面并与该导流孔相连通的穿孔，该感测模块还包含一设置于该第一面且封闭该穿孔的压力感测芯片，该压力感测芯片用以感测经由该导流孔流入该穿孔的气流压力。

10.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于：该感测模块还包含一设置于该感测电路板的压力感测芯片，该压力感测芯片用以感测流过该气体流道的气流压力。

11.根据权利要求10所述的传感器，其特征在于：该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该压力感测芯片设置于该第二面用以感测经由该气体流道流入该感测电路板的气流压力。

12.根据权利要求10所述的传感器，其特征在于：该压力感测芯片设置于该第一面用以感测流过该气体流道的气流压力。

13.根据权利要求10所述的传感器，其特征在于：该感测装置还包含一与该导流壳体相接合的外壳，及一设置于该外壳内的导流件，该外壳界定有一进气孔，该导流件界定有一与该进气孔相连通的导流孔，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该感测电路板界定一贯穿该第一面与该第二面并与该导流孔相连通的穿孔，该压力感测芯片设置于该第一面且封闭该穿孔，用以感测经由该导流孔流入该穿孔的气流压力。

14.根据权利要求10至13其中任一项所述的传感器，其特征在于：该感测装置还包括一控制模块，该感测模块还包含一电连接于该感测电路板与该控制模块间的流量讯号传输线、一电连接于该感测电路板与该控制模块间的压力讯号传输线，及两条电连接于该感测电路板与该控制模块间的电源传输线。

说明书全文

传感器

技术领域

[0001] 本发明涉及一种传感器，特别是涉及一种用以感测气流流量的传感器。

背景技术

[0002] 参阅图1及图2，现有热质式流量传感器包括一电路板11，及一设置于电路板11上的流量感测芯片12。电路板11及流量感测芯片12皆位于气体流动路径上。流量感测芯片12设置并固定于电路板11的表面111，流量感测芯片12用以对气体加热并且感测气体加热前、后的温度，借由感测到的温差进而计算出气体流量。

[0003] 由于电路板11的表面111凸设有金属铜箔所制成并呈弯曲状的导电线路112，且前述导电线路112的延伸方向与气流13的流动方向不同，因此，气流13流过前述导电线路112时会受其影响而产生乱流。此外，由于流量感测芯片12凸设于电路板11的表面111，因此，气流13会受到流量感测芯片12的阻挡而再次产生乱流。基于前述两者的影响，使得气流13流动不顺畅且不稳定，进而影响流量感测芯片12感测的准确性。

[0004] 另一方面，现有热质式流量传感器也应用在通过真空吸嘴吸住物品的移载机构上，移载机构的真空吸嘴与负压源间通过输气管连接，流量传感器设置于输气管用以供使用者判断真空吸嘴是否有确实地吸住物品。然而，只借由流量传感器来判断真空吸盘是否有吸住物品的方式会产生误判断的情形，说明如下:

[0005] 当移载机构的负压源可正常运作使得真空吸嘴确实地吸住物品时，流量传感器感测输气管内无气流的流动，流量传感器的开关输出会显示ON的状态，此时，使用者通过观看流量传感器的显示状态能正确地判断出真空吸嘴确实有吸住物品。

[0006] 当移载机构的负压源故障而无法正常运作时，真空吸嘴便无法吸住物品。此时，由于流量传感器感测输气管内无气流的流动，因此，流量传感器的开关输出仍会显示ON的状态，导致使用者会因流量传感器的显示状态而误判断真空吸嘴有吸住物品的情形产生。

发明内容

[0007] 本发明的目的，在于提供一种能够克服背景技术的至少一个缺点的传感器。

[0008] 本发明的一目的，在于提供一种传感器，能对输入气流进行整流使其顺畅且稳定地流过流量感测芯片，以提升流量感测芯片感测的准确性。

[0009] 本发明的另一目的，在于提供一种传感器，能同时感测气流的流量及压力，借此，能提升使用上的弹性以及开关输出判断的准确性。

[0010] 本发明的目的及解决背景技术问题是采用于下技术方案来实现的，依据本发明提出的传感器包含一导流壳体，及一感测装置，该导流壳体界定有一气体流道，该气体流道用以导引气流沿一第一流动方向流动，该感测装置设置于该导流壳体并包括一感测模块，该感测模块包含一感测电路板、一流量感测芯片，及多条第一导流元件，该感测电路板具有一面向该气体流道的第一面，该流量感测芯片设置于该第一面用以感测流过该气体流道的气流流量，该流量感测芯片具有一感测面，该感测面具有一第一侧边，所述第一导流元件凸设于该第一面并与该第一侧边相间隔，各该第一导流元件呈长条状且长向沿该第一流动方向延伸，各该第一导流元件用以对气流整流使其经整流后流过该感测面。

[0011] 在一些实施态样中，该气体流道具有一用以导引气流沿该第一流动方向流动的导引流路，该流量感测芯片对应于该导引流路位置用以感测流过该导引流路的气流流量，该第一侧边沿着一实质上垂直于该第一流动方向的延伸方向延伸，所述第一导流元件沿着该延伸方向彼此相间隔排列。

[0012] 在一些实施态样中，该导引流路可选择地沿一相反于该第一流动方向的第二流动方向导引气流流动，该感测面还具有一相反于该第一侧边的第二侧边，该感测模块还包含多条凸设于该第一面并与该第二侧边相间隔的第二导流元件，各该第二导流元件呈长条状且长向沿该第二流动方向延伸，各该第二导流元件用以对气流整流使其经整流后流过该感测面。

[0013] 在一些实施态样中，该第二侧边沿着该延伸方向延伸，所述第二导流元件沿着该延伸方向彼此相间隔排列。

[0014] 在一些实施态样中，该第一面具有一表面部，及一由该表面部凹陷形成的凹槽部，该流量感测芯片设置于该凹槽部内，该感测面与该表面部共平面或者是位于该凹槽部内。

[0015] 在一些实施态样中，该气体流道具有一与该导引流路相间隔的导流孔，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该感测电路板界定一贯穿该第一面与该第二面并与该导流孔相连通的穿孔，该感测模块还包含一设置于该第二面且封闭该穿孔的压力感测芯片，该压力感测芯片用以感测经由该导流孔流入该穿孔的气流压力。

[0016] 在一些实施态样中，该气体流道具有分别连通于该导引流路相反端的一第一导通流路及一第二导通流路，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该感测电路板界定一贯穿该第一面与该第二面的穿孔，该穿孔与该第一导通流路或该第二导通流路相连通，该感测模块还包含一设置于该第二面且封闭该穿孔的压力感测芯片，该压力感测芯片用以感测经由该第一导通流路或该第二导通流路流入该穿孔的气流压力。

[0017] 在一些实施态样中，该气体流道具有分别连通于该导引流路相反端的一第一导通流路及一第二导通流路，该感测模块还包含一设置于该第一面的压力感测芯片，该压力感测芯片位于该第一导通流路内或该第二导通流路内，该压力感测芯片用以感测流过该第一导通流路或该第二导通流路的气流压力。

[0018] 在一些实施态样中，该感测装置还包含一与该导流壳体相接合的外壳，及一设置于该外壳内的导流件，该外壳界定有一进气孔，该导流件界定有一与该进气孔相连通并与该导引流路相间隔的导流孔，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该感测电路板界定一贯穿该第一面与该第二面并与该导流孔相连通的穿孔，该感测模块还包含一设置于该第一面且封闭该穿孔的压力感测芯片，该压力感测芯片用以感测经由该导流孔流入该穿孔的气流压力。

[0019] 在一些实施态样中，该感测模块还包含一设置于该感测电路板的压力感测芯片，该压力感测芯片用以感测流过该气体流道的气流压力。

[0020] 在一些实施态样中，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该压力感测芯片设置于该第二面用以感测经由该气体流道流入该感测电路板的气流压力。

[0021] 在一些实施态样中，该压力感测芯片设置于该第一面用以感测流过该气体流道的气流压力。

[0022] 在一些实施态样中，该感测装置还包含一与该导流壳体相接合的外壳，及一设置于该外壳内的导流件，该外壳界定有一进气孔，该导流件界定有一与该进气孔相连通的导流孔，该感测电路板还具有一相反于该第一面的第二面，该感测电路板界定一贯穿该第一面与该第二面并与该导流孔相连通的穿孔，该压力感测芯片设置于该第一面且封闭该穿孔，用以感测经由该导流孔流入该穿孔的气流压力。

[0023] 在一些实施态样中，该感测装置还包括一控制模块，该感测模块还包含一电连接于该感测电路板与该控制模块间的流量讯号传输线、一电连接于该感测电路板与该控制模块间的压力讯号传输线，及两条电连接于该感测电路板与该控制模块间的电源传输线。

[0024] 本发明的有益效果在于：能对输入气流进行整流使其顺畅且稳定地流过流量感测芯片，以提升流量感测芯片感测的准确性。此外，传感器能同时感测气流的流量及压力，借此，能提升使用上的弹性以及开关输出判断的准确性。

附图说明

[0025] 图1是现有热质式流量传感器电路板的不完整立体图；

[0026] 图2是图1的侧视图；

[0027] 图3是本发明传感器的第一实施例的立体图；

[0028] 图4是沿图3中的S1－S1线所截取的剖视图，说明导流壳体与感测装置间的组装关系，以及流量感测芯片及压力感测芯片设置在感测电路板的不同面；

[0029] 图5是该第一实施例的立体分解图，说明导流壳体与感测装置间的组装关系；

[0030] 图6是该第一实施例的感测模块的立体图，说明气流于感测电路板上流动的方式；

[0031] 图7是沿图6中的S2－S2线所截取的剖视图，说明流量感测芯片设置于凹槽部内，且感测面与表面部共平面；

[0032] 图8是该第一实施例的方块图，说明感测电路板、控制电路板、电源供应电路板，及显示荧幕间的连接关系；

[0033] 图9是图4的局部放大图，说明气流的流动方向；

[0034] 图10是该第一实施例应用在移载机构的示意图，说明真空吸嘴吸取物品；

[0035] 图11是该第一实施例应用在移载机构的示意图，说明负压源故障，且真空吸嘴未吸取物品；

[0036] 图12是本发明传感器的第二实施例的剖视图，说明穿孔与第二导通流路相连通；

[0037] 图13是本发明传感器的第三实施例的剖视图，说明穿孔与第一导通流路相连通；

[0038] 图14是本发明传感器的第四实施例的剖视图，说明流量感测芯片及压力感测芯片设置在感测电路板的同一面，压力感测芯片位于第二导通流路内且位于流量感测芯片下游侧；

[0039] 图15是本发明传感器的第五实施例的剖视图，说明流量感测芯片及压力感测芯片设置在感测电路板的同一面，压力感测芯片位于第一导通流路内且位于流量感测芯片上游侧；及

[0040] 图16是本发明传感器的第六实施例的剖视图，说明流量感测芯片及压力感测芯片设置在感测电路板的同一面。

具体实施方式

[0041] 下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。

[0042] 在本发明被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。

[0043] 参阅图3，是本发明传感器的第一实施例，传感器200是以一流量及压力传感器为例，其具有感测气流流量及压力的功能。传感器200包含一导流壳体2，及一感测装置3。

[0044] 参阅图3、图4及图5，导流壳体2包括一前端面21，及两分别位于前端面21左右侧的侧面22、23。导流壳体2界定有一气体流道24，气体流道24具有一第一流路241、一第二流路242、一导引流路243、一第一导通流路244、一第二导通流路245、一分流流路246，及一导流孔247。第一流路241形成于侧面22用以供一进气管(图未示)插置，借此，进气管能通过第一流路241输送气流至气体流道24内。第二流路242形成于侧面23用以供一出气管(图未示)插置，借此，气体流道24内的气流能通过第二流路242排出至出气管内。导引流路243呈开放状并具有一形成于前端面21的开放侧248，导引流路243间隔位于第一流路241及第二流路242前侧。第一流路241、第二流路242及导引流路243分别用以导引气流沿着一左右方向延伸的第一流动方向F1(如图6所示)流动。

[0045] 第一导通流路244连通于第一流路241与导引流路243的一端间，第一导通流路244用以将第一流路241内的部分气流朝前导流至导引流路243内，借此，使得感测装置3能在导引流路243内感测气流的流量。第二导通流路245连通于第二流路242与导引流路243的另一端间，第二导通流路245用以将导引流路243内的气流朝后导流至第二流路242内。分流流路246连通于第一流路241与第二流路242间，用以将第一流路241内的另一部分气流导流至第二流路242内，借此，使得第一流路241内的另一部分气流不须通过感测装置3的感测而能直接通过分流流路246流通至第二流路242内。导流孔247沿前后方向延伸并与导引流路243及第二导通流路245相间隔，导流孔247的前开放端形成于前端面21而后端与第二流路242连通，借此，使得感测装置3能在导流孔247内感测气流的压力。

[0046] 参阅图4、图5、图6、图7及图8，感测装置3包括一外壳31、一感测模块32、一控制模块340，及一显示荧幕36。外壳31接合于导流壳体2前侧。感测模块32包含一感测电路板320、一流量感测芯片321、多条第一导流元件322、多条第二导流元件323，及一压力感测芯片324。感测电路板320具有一朝向后方的第一面325，及一相反于第一面325且朝向前方的第二面326。第一面325面向导流壳体2的前端面21、导引流路243、第一导通流路244及第二导通流路245，且第一面325贴合于前端面21并且封闭导引流路243的开放侧248。感测电路板
320的第一面325上凸设有多条金属铜箔所制成并呈弯曲状的导电线路327，各导电线路327用以传输电讯号。其中，一部分的导电线路327位于第一导通流路244内，而另一部分的导电线路327则位于第二导通流路245内。本实施例的流量感测芯片321为一设置于第一面325且对应于导引流路243位置的热质式流量感测芯片，流量感测芯片321具有一用以感测流过导引流路243的气流流量的感测面328，感测面328呈矩形并具有位于相反侧的一第一侧边329与一第二侧边330，第一侧边329与第二侧边330分别为感侧面328的长侧边，第一侧边329与第二侧边330的长向分别沿着一实质上垂直于第一流动方向F1的延伸方向D延伸。

[0047] 多条第一导流元件322凸设于感测电路板320的第一面325，第一导流元件322位于部分导电线路327与流量感测芯片321间并与流量感测芯片321的第一侧边329相间隔。各第一导流元件322呈长条状且其长向沿第一流动方向F1延伸。各第一导流元件322用以对气流整流使其经整流后能顺畅且稳定地流过流量感测芯片321，借此，以提升流量感测芯片321感测流量的准确性。在本实施例中，所述第一导流元件322沿着延伸方向D彼此相间隔排列，借此，能确保经由第一侧边329上的任一处流向感测面328的气流皆能保持顺畅且稳定的状态。

[0048] 本实施例的传感器200在使用时，也可将进气管及出气管分别插置于第二流路242及第一流路241，借此，使得第一流路241、第二流路242及导引流路243能分别导引气流沿着一相反于第一流动方向F1的第二流动方向F2流动。为了使传感器200在前述使用状态下能提升流量感测芯片321感测流量的准确性，因此，在感测电路板320的第一面325凸设有多条第二导流元件323。第二导流元件323位于另一部分的导电线路327与流量感测芯片321间并与流量感测芯片321的第二侧边330相间隔。各第二导流元件323呈长条状且其长向沿第二流动方向F2延伸。各第二导流元件323用以对气流整流使其经整流后能顺畅且稳定地流过流量感测芯片321，借此，以提升流量感测芯片321感测流量的准确性。在本实施例中，所述第二导流元件323沿着延伸方向D彼此相间隔排列，借此，能确保经由第二侧边330上的任一处流向感测面328的气流皆能保持顺畅且稳定的状态。

[0049] 为了避免流量感测芯片321本身的厚度阻碍气流流动并对其流动顺畅性造成影响，在本实施例中，第一面325具有一呈平整状并且贴合于前端面21的表面部331，及一由表面部331朝第二面326方向凹陷的凹槽部332。前述导电线路327、第一导流元件322及第二导流元件323皆凸设于第一面325的表面部331。流量感测芯片321通过例如焊接方式固定于凹槽部332内并与感测电路板320电连接。流量感测芯片321的感测面328与表面部331共平面，借此，使得流量感测芯片321不会凸伸出表面部331进而阻碍气流的流动。通过前述设计方式，能更进一步地提升气流流动的顺畅性及稳定性，使得流量感测芯片321感测流量的准确性能更为提升。需说明的是，在其他的实施方式中，感测面328也可以是位于凹槽部332内而与表面部331间隔一小段距离，使感测面328不与表面部331共平面，借此，同样能避免流量感测芯片321凸伸出表面部331进而阻碍气流的流动。

[0050] 参阅图9，感测电路板320界定一贯穿第一面325的表面部331与第二面326的穿孔333，穿孔333与导流壳体2的导流孔247相连通。压力感测芯片324设置于感测电路板320的第二面326并与感测电路板320电连接，压力感测芯片324封闭穿孔333用以感测经由导流孔
247流入穿孔333的气流压力。

[0051] 借由将流量感测芯片321及压力感测芯片324同时设置在感测电路板320上，使得传感器200同时具有量测气体流量及压力的功能。使用者通过使用传感器200便能同时量测待测物的气体流量及压力，而不需分别将流量传感器及压力传感器两个独立的产品安装在待测物上进行量测的作业。借此，能减少安装在待测物上的传感器体积。再者，由于传感器200的流量感测芯片321及压力感测芯片324间的距离与两个独立安装在待测物上的流量传感器及压力传感器间的距离更为靠近，因此，使用者能更为方便地得知传感器200所显示的流量及压力数值。

[0052] 参阅图4及图8，控制模块340包括一控制电路板34及一电源供应电路板35，控制电路板34、电源供应电路板35及显示荧幕36皆设置于外壳31内，控制电路板34电连接于电源供应电路板35与显示荧幕36间。电源供应电路板35的一电连接器351用以供一外部电源线(图未示)插接。显示荧幕36显露于外壳31前端，用以显示相关的量测信息。感测模块32还包含一电连接于感测电路板320与控制电路板34间的流量讯号传输线334、一电连接于感测电路板320与控制电路板34间的压力讯号传输线335，及两条电连接于感测电路板320与电源供应电路板35间的电源传输线336。电源传输线336用以将输入至电源供应电路板35的电源传输至感测电路板320，借此，以提供感测模块32运作时所需的电力。

[0053] 由于流量感测芯片321及压力感测芯片324同时设置在感测电路板320上，因此，通过两条电源传输线336的设计便能提供感测模块32运作时所需的电力。借此，传感器200与两个独立的流量传感器及压力传感器相较之下，能减少电源传输线的使用数量以降低制造的成本。

[0054] 需说明的是，本实施例的控制模块340虽然是以两块单独的控制电路板34及电源供应电路板35为例作说明，然而，在其他的实施方式中，控制电路板34及电源供应电路板35也可整合成单一块电路板。

[0055] 参阅图4、图6、图7及图9，本实施例的传感器200有两种使用模式，第一种使用模式是将进气管及出气管分别插置于第一流路241及第二流路242，第二种使用模式是将进气管及出气管分别插置于第二流路242及第一流路241。由于两种使用模式的作动原理相同，只有气流流动的方向不同，因此，以下只以第一种使用模式进行说明：

[0056] 首先，进气管所输送的气流会沿第一流路241流入气体流道24内，气流会沿第一流动方向F1流动。接着，第一流路241内的部分气流会沿第一导通流路244向前流动并流入导引流路243内，而另一部分气流则会直接通过分流流路246流至第二流路242内。其中，部分气流在第一导通流路244内流动的过程中会流过部分的导电线路327。由于导电线路327的延伸方向与第一流动方向F1不同，因此，气流流过导电线路327时会受其影响而产生乱流。此外，由于第一导通流路244是由后朝前地导引气流的流动，而导引流路243是沿着左右方向延伸的第一流动方向F1导引气流的流动，因此，前述两者导引气流流动的方向不同，且第一导通流路244的截面积是朝导引流路243方向逐渐缩小，因此，气流经由第一导通流路244流入导引流路243时是呈现不稳定的流动状态。当气流流入导引流路243内后会沿第一流动方向F1流动，随后，气流会流过所述第一导流元件322，由于各第一导流元件322的长向沿第一流动方向F1延伸，因此，各第一导流元件322会对气流整流，使气流经整流后能呈现顺畅且稳定地流动状态。之后，气流会保持顺畅且稳定的状态经由第一侧边329流过感测面328。
由于流量感测芯片321设置于凹槽部332内且感测面328与表面部331共平面，因此，流量感测芯片321不会阻碍气流的流动，借此，使得感测面328能准确地感测气流的流量。之后，气流会沿第二导通流路245向后流动至第二流路242内。气流沿第一流动方向F1于第二流路
242内流动的过程中，部分气流会沿流入导流孔247及穿孔333内，使得压力感测芯片324能感测气流的压力。最后，气流会经由第二流路242排出至出气管内。

[0057] 需说明的是，虽然本实施例的感测电路板320是以第一面325上凸设有导电线路327的方式为例作说明，但在其他的实施方式中，感测电路板320也可以省略导电线路327结构。

[0058] 流量感测芯片321感测气流的流量后会产生对应的量测讯号，该量测讯号会通过感测电路板320及流量讯号传输线334传输至控制电路板34，通过控制电路板34对该量测讯号进行处理，使得显示荧幕36能显示出该量测讯号所代表的流量量测数值。压力感测芯片324感测气流的压力后会产生对应的量测讯号，该量测讯号会通过感测电路板320及压力讯号传输线335传输至控制电路板34，通过控制电路板34对该量测讯号进行处理，使得显示荧幕36能显示出该量测讯号所代表的压力量测数值。

[0059] 参阅图10，当传感器200应用在移载机构5时，移载机构5的进气管51一端连接在一真空吸嘴52，进气管51另一端插置于第一流路241内。移载机构5的出气管53一端连接在一负压源54，出气管53另一端插置于第二流路242内。

[0060] 当负压源54可正常运作使得真空吸嘴52确实地吸住物品55时，流量感测芯片321感测无气流的流动，显示荧幕36会显示流量值为0mL/min；同时，压力感测芯片324感测气流的压力为负压，显示荧幕36会显示负压值例如为-72kPa。此时，传感器200的开关输出会显示ON的状态，用户通过观看传感器200的显示状态能正确地判断出真空吸嘴52确实有吸住物品55。

[0061] 参阅图11，当负压源54故障而无法正常运作时，流量感测芯片321感测无气流的流动，显示荧幕36会显示流量值为0mL/min；同时，压力感测芯片324感测气流无负压，显示荧幕36会显示负压值为0kPa。此时，传感器200判断移载机构5的负压源54故障，所以，传感器200的开关输出会显示OFF的状态。用户通过观看传感器200的显示状态能正确地判断出真空吸嘴52未吸住物品55。传感器200借由流量感测芯片321及压力感测芯片324双重感测机制的设计，能确保传感器200的开关输出能判断正确以防止误判断的情形产生。

[0062] 参阅图12，是本发明传感器的第二实施例，传感器200的整体结构与感测原理大致与第一实施例相同，不同处在于穿孔333以及压力感测芯片324的设置位置。

[0063] 在本实施例中，穿孔333与导流壳体2的第二导通流路245相连通，压力感测芯片324与穿孔333位置对齐并且封闭穿孔333。借此，压力感测芯片324能感测经由第二导通流路245流入穿孔333的气流压力。

[0064] 参阅图13，是本发明传感器的第三实施例，传感器200的整体结构与感测原理大致与第一实施例相同，不同处在于穿孔333以及压力感测芯片324的设置位置。

[0065] 在本实施例中，穿孔333与导流壳体2的第一导通流路244相连通，压力感测芯片324与穿孔333位置对齐并且封闭穿孔333。借此，压力感测芯片324能感测经由第一导通流路244流入穿孔333的气流压力。

[0066] 参阅图14，是本发明传感器的第四实施例，传感器200的整体结构与感测原理大致与第一实施例相同，不同处在于压力感测芯片324的设置位置。

[0067] 在本实施例中，压力感测芯片324设置于感测电路板320的第一面325的表面部331，压力感测芯片324位于第二导通流路245内且位于流量感测芯片321下游侧。借此，气流会依序流过流量感测芯片321及压力感测芯片324，使流量感测芯片321先感测气流的流量而后再通过压力感测芯片324感测气流的压力。

[0068] 参阅图15，是本发明传感器的第五实施例，传感器200的整体结构与感测原理大致与第一实施例相同，不同处在于压力感测芯片324的设置位置。

[0069] 在本实施例中，压力感测芯片324设置于感测电路板320的第一面325的表面部331，压力感测芯片324位于第一导通流路244内且位于流量感测芯片321上游侧。借此，气流会依序流过压力感测芯片324及流量感测芯片321，使压力感测芯片324先感测气流的压力而后再通过流量感测芯片321感测气流的流量。

[0070] 参阅图16，是本发明传感器的第六实施例，传感器200的整体结构与感测原理大致与第一实施例相同，不同处在于压力感测芯片324的设置位置。

[0071] 在本实施例中，压力感测芯片324设置于感测电路板320的第一面325的表面部331，且压力感测芯片324封闭穿孔333。外壳31界定有一进气孔311，进气孔311与导流壳体2的第二流路242同侧。感测装置3还包含一设置于外壳31内的导流件37，导流件37抵接在感测电路板320的第二面326上。导流件37界定有一连通于进气孔311与穿孔333间的导流孔
371。

[0072] 本实施例的传感器200在使用时，是将两个进气管分别插置于第二流路242，以及进气孔311与导流孔371内，而出气管插置于第一流路241。借此，其中一进气管能将气流输送至气体流道24内，使流量感测芯片321感测气流的流量；另一进气管则可将气流输送至进气孔311与导流孔371内，使压力感测芯片324感测气流的压力。

[0073] 归纳上述，各实施例的传感器200，借由第一导流元件322、第二导流元件323的设计，能对输入气流进行整流使其顺畅且稳定地流过流量感测芯片321。再者，借由流量感测芯片321设置于凹槽部332内且感测面328与表面部331共平面或者是位于凹槽部332内的设计方式，避免流量感测芯片321本身的厚度阻碍气流流动并对其流动顺畅性造成影响，借此，能更进一步地提升气流流动的顺畅性及稳定性，使得流量感测芯片321感测流量的准确性能更为提升。此外，借由将流量感测芯片321及压力感测芯片324同时设置在感测电路板320上，使得传感器200同时具有量测气体流量及压力的功能，借此，能提升传感器200使用上的弹性以及开关输出判断的准确性，确实能达到本发明所诉求的目的。

标题	发布/更新时间	阅读量
湿度传感器-专利编号CN105486729A	2020-05-12	233
传感器装置-专利编号CN1738725A	2020-05-12	588
氧传感器-专利编号CN104950029B	2020-05-11	305
数字传感器-专利编号CN108291844A	2020-05-13	157
氧传感器-专利编号CN104950029A	2020-05-11	938
压力传感器-专利编号CN110763393A	2020-05-13	456
传感器设备-专利编号CN105940316B	2020-05-13	848
传感器设备-专利编号CN105940316A	2020-05-11	866
传感器组件-专利编号CN102713595B	2020-05-12	801
化学传感器-专利编号CN109564159A	2020-05-11	514

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