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一种二碲化钨纳米管的制备方法

阅读：501发布：2021-02-26

IPRDB可以提供一种二碲化钨纳米管的制备方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：1)将六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，后将多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，在气体保护下低温升华沉积，继续升温热解；2)待管式炉降至室温后，将模板开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后在气体保护下升温，使单质碲与金属钨直接反应；3)用稀酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲，后进行抽滤处理，烘干，得成品。本发明方法步骤简单，无环境污染，无需复杂的设备，所制备得的二碲化钨纳米管粉体材料的尺寸可控性强，结晶性好，纳米管管壁、形貌均匀，从而大大提高该二碲化钨纳米管粉体材料成品的综合性能。本发明具有广泛的适用性，有利于大规模工业化生产。，下面是一种二碲化钨纳米管的制备方法专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种二碲化钨纳米管的制备方法，其特征在于，包括如下工艺步骤：

1)以六羰基钨作为原料，孔径在10～200nm范围内的多孔阳极氧化铝作为模板，将原料铺装在陶瓷坩埚底部，后将多孔阳极氧化铝模板开口向下置于原料上方，密封坩埚后置于管式炉中，在气体保护下加热，低温升华，使六羰基钨在多孔阳极氧化铝模板中沉积，继续升温，使沉积在多孔阳极氧化铝模板中的六羰基钨热分解，得金属钨纳米管材料；

2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在气体保护下升温，使单质碲与金属钨直接反应，反应完毕后停止加热，坩埚随炉冷却至室温；

3)用稀酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得成品；

步骤1)中所述的低温升华的温度为50～150℃，升华时间为30～200min；步骤1)中所述热分解的温度为200～420℃，热分解时间为30～100min；步骤2)中所述单质碲与金属钨的反应温度为430～480℃，反应时间为100～200min。

2.根据权利要求1所述的一种二碲化钨纳米管的制备方法，其特征在于：步骤3)中所述的稀酸溶液为浓度为0.1～3mol/L的磷酸溶液。

3.根据权利要求1所述的一种二碲化钨纳米管的制备方法，其特征在于：步骤1)和步骤

2)中所述气体为氮气或者氩气，气体纯度为99.999％，所述保护气体的气体流速为10～

500SCCM。

说明书全文

一种二碲化钨纳米管的制备方法

技术领域

[0001] 本发明涉及半导体纳米材料领域，特别涉及一种半导体纳米管的制备方法。

背景技术

[0002] 二碲化钨(WTe2)是具有层状结构的过渡族金属硫族化合物，在其正交晶胞中钨链沿着碲层的a轴方向呈一维分布，是一种非磁性的半金属材料。2014年普林斯顿大学教授Cava研究组发现WTe2在常压下具有不饱和的大磁阻(LMR)特性(Nature，514(2014)205)，即在磁场下这种材料表现出异常大的正电阻效应，而且在非常高的磁场下也不饱和。这种特性不仅为其在电子器件方面的应用提供了潜在的可能，同时也为大磁阻材料的研究开辟了新的方向。2015年，中国科学院物理研究所的科学家发现WTe2在高压条件下，出现超导电现象。这些奇异的物理性能吸引着研究人员的关注。但是目前大部分关于WTe2材料的制备，主要集中在大块晶体材料或者薄膜材料方面，对一维纳米结构的材料制备研究较少。因此，通过制备一维的WTe2纳米管结构，进一步开发其良好的热电性能、不饱和的大磁阻(LMR)特性和压致超导特性，是十分有意义的。

发明内容

[0003] 本发明的目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种二碲化钨纳米管的制备方法，其所得二碲化钨纳米管粉体材料具有广泛的适用性，综合性能优异，可应用于电子学器件。

[0004] 本发明所采取的技术方案是：一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0005] 1)以六羰基钨作为原料，孔径在10～200nm范围内的多孔阳极氧化铝作为模板，将原料铺装在陶瓷坩埚底部，后将多孔阳极氧化铝模板开口向下置于原料上方，密封坩埚后置于管式炉中，在气体保护下加热，低温升华，使六羰基钨在多孔阳极氧化铝模板中升华并沉积，继续升温，使六羰基钨沉积在多孔阳极氧化铝模板中热分解，得金属钨纳米管材料；

[0006] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后取出多孔阳极氧化铝模板并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在气体保护下升温，使单质碲与金属钨直接反应，停止加热，坩埚随炉冷却至室温；

[0007] 3)用稀酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得成品。

[0008] 具体地，本发明对多孔阳极氧化铝模板孔径的限定可使纳米管的形貌可控性更强。

[0009] 作为上述方案的进一步改进，步骤1)中所述的低温升华的温度为50～150℃，升华时间为30～200min。本发明通过低温升华直接得到沉积物，其对升华温度及保温时长的限定可使六羰基钨沉积更充分。

[0010] 作为上述方案的进一步改进，步骤1)中所述热分解的温度为200～420℃，热分解时间为30～100min。具体地，本发明热解温度和热解时间的限定可有效提高金属钨在氧化铝模板中的结晶度。

[0011] 作为上述方案的进一步改进，步骤2)中所述单质碲与金属钨的反应温度为430～480℃，反应时间为100～200min。具体地，本发明对二碲化钨反应温度及时间的限定可使反应更充分。

[0012] 作为上述方案的进一步改进，步骤3)中所述的稀酸溶液为浓度为0.1～3mol/L的磷酸溶液。具体地，稀酸溶液的进一步限定可更高效地去除氧化铝模板。

[0013] 作为上述方案的进一步改进，步骤1)和步骤2)中所述气体为氮气或者氩气，气体纯度为99.999％，所述保护气体的流速为10～500SCCM。

[0014] 本发明的有益效果是：本发明方法步骤简单，实现了金属钨与碲粉在受限空间里直接反应制备而成二碲化钨纳米管粉体材料，其无环境污染，无需复杂的设备，所制备得的二碲化钨纳米管粉体材料的尺寸可控性强，结晶性好，纳米管管壁形貌均匀，从而大大提高该二碲化钨纳米管粉体材料成品的综合性能。本发明具有广泛的适用性，有利于大规模工业化生产。

具体实施方式

[0015] 下面结合实施例对本发明进行具体描述，以便于所属技术领域的人员对本发明的理解。有必要在此特别指出的是，实施例只是用于对本发明做进一步说明，不能理解为对本发明保护范围的限制，所属领域技术熟练人员，根据上述发明内容对本发明作出的非本质性的改进和调整，应仍属于本发明的保护范围。同时下述所提及的原料未详细说明的，均为市售产品；未详细提及的工艺步骤或制备方法为均为本领域技术人员所知晓的工艺步骤或制备方法。

[0016] 实施例1

[0017] 一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0018] 1)将5g六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，将孔径为100nm的多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，并通入100SCCM的氩气清洗炉管中的空气。在100SCCM的氩气保护下，升温至100℃并保温60min，后继续升温至300℃并保温40min，得金属钨纳米管材料，停止加热；

[0019] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在100SCCM的氩气保护下升温至400℃并保温120min，继续升温至450℃并保温150min，停止加热；

[0020] 3)待步骤2)陶瓷坩埚温度降至室温时，取出样品，用浓度为0.3mol/L的磷酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲粉，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得实施例1二碲化钨纳米管粉体材料成品。

[0021] 实施例2

[0022] 一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0023] 1)将5g六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，将孔径为100nm的多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，并通入100SCCM的氩气清洗炉管中的空气。在100SCCM的氩气保护下，升温至50℃并保温200min，后继续升温至300℃并保温40min，得金属钨纳米管材料，停止加热；

[0024] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在100SCCM的氩气保护下升温至400℃并保温120min，继续升温至450℃并保温150min，停止加热；

[0025] 3)待步骤2)陶瓷坩埚温度降至室温时，取出样品，用浓度为0.1mol/L的磷酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲粉，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得实施例2二碲化钨纳米管粉体材料成品。

[0026] 实施例3

[0027] 一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0028] 1)将5g六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，将孔径为200nm的多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，并通入10SCCM的氩气清洗炉管中的空气。在10SCCM的氩气保护下，升温至150℃并保温30min，后继续升温至300℃并保温40min，得金属钨纳米管材料，停止加热；

[0029] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在10SCCM的氩气保护下升温至400℃并保温120min，继续升温至450℃并保温150min，停止加热；

[0030] 3)待步骤2)陶瓷坩埚温度降至室温时，取出样品，用浓度为0.3mol/L的磷酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲粉，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得实施例3二碲化钨纳米管粉体材料成品。

[0031] 实施例4

[0032] 一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0033] 1)将5g六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，将孔径为200nm的多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，并通入500SCCM的氮气清洗炉管中的空气。在500SCCM的氮气保护下，升温至100℃并保温60min，后继续升温至200℃并保温100min，得金属钨纳米管材料，停止加热；

[0034] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在500SCCM的氮气保护下升温至400℃并保温120min，继续升温至450℃并保温150min，停止加热；

[0035] 3)待步骤2)陶瓷坩埚温度降至室温时，取出样品，用浓度为3mol/L的磷酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲粉，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得实施例4二碲化钨纳米管粉体材料成品。

[0036] 实施例5

[0037] 一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0038] 1)将5g六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，将孔径为200nm的多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，并通入100SCCM的氩气清洗炉管中的空气。在100SCCM的氩气保护下，升温至100℃并保温60min，后继续升温至420℃并保温30min，得金属钨纳米管材料，停止加热；

[0039] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在100SCCM的氩气保护下升温至400℃并保温120min，继续升温至450℃并保温150min，停止加热；

[0040] 3)待步骤2)陶瓷坩埚温度降至室温时，取出样品，用浓度为0.3mol/L的磷酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲粉，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得实施例5二碲化钨纳米管粉体材料成品。

[0041] 实施例6

[0042] 一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0043] 1)将5g六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，将孔径为200nm的多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，并通入100SCCM的氩气清洗炉管中的空气。在100SCCM的氩气保护下，升温至100℃并保温60min，后继续升温至300℃并保温40min，得金属钨纳米管材料，停止加热；

[0044] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在100SCCM的氩气保护下升温至420℃并保温60min，继续升温至450℃并保温150min，停止加热；

[0045] 3)待步骤2)陶瓷坩埚温度降至室温时，取出样品，用浓度为0.3mol/L的磷酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲粉，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得实施例6二碲化钨纳米管粉体材料成品。

[0046] 实施例7

[0047] 一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0048] 1)将5g六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，将孔径为150nm的多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，并通入100SCCM的氩气清洗炉管中的空气。在100SCCM的氩气保护下，升温至100℃并保温60min，后继续升温至300℃并保温40min，得金属钨纳米管材料，停止加热；

[0049] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在100SCCM的氩气保护下升温至400℃并保温120min，继续升温至430℃并保温200min，停止加热；

[0050] 3)待步骤2)陶瓷坩埚温度降至室温时，取出样品，用浓度为0.3mol/L的磷酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲粉，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得实施例7二碲化钨纳米管粉体材料成品。

[0051] 实施例8

[0052] 一种二碲化钨纳米管的制备方法，其包括如下工艺步骤：

[0053] 1)将5g六羰基钨铺装在陶瓷坩埚底部，将孔径为150nm的多孔阳极氧化铝模板开口向下置于六羰基钨上方，密封坩埚后置于管式炉中，并通入100SCCM的氮气清洗炉管中的空气。在100SCCM的氮气保护下，升温至100℃并保温60min，后继续升温至300℃并保温40min，得金属钨纳米管材料，停止加热；

[0054] 2)待步骤1)的管式炉降至室温后，取出多孔阳极氧化铝模板，并将其开口向下置于装有碲粉的陶瓷坩埚中，密封坩埚后置于管式炉中，在100SCCM的氮气保护下升温至400℃并保温120min，继续升温至480℃并保温100min，停止加热；

[0055] 3)待步骤2)陶瓷坩埚温度降至室温时，取出样品，用浓度为0.3mol/L的磷酸溶液去除多孔氧化铝模板和多余的碲粉，去离子水清洗，后进行抽滤处理，烘干，得实施例8二碲化钨纳米管粉体材料成品。

[0056] 实施例9

[0057] 将上述实施例1～8所制备得的二碲化钨纳米管粉体材料成品分别用扫描电镜观察，观察得其均形成形貌、直径均匀的一维管状结构，其结晶性好，纳米管形貌可控性强。

[0058] 上述实施例为本发明的优选实施例，凡与本发明类似的工艺及所作的等效变化，均应属于本发明的保护范畴。

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一种二碲化钨纳米管的制备方法

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