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蒸发装置

阅读：1026发布：2020-07-16

IPRDB可以提供蒸发装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种蒸发装置，包括：移动板，其设置在框体上往复移动；多个蒸发源，其用于将蒸发材料蒸发到基板上，以便在基板上沉积蒸发材料，在与该移动板的移动方向相交的方向上，在该移动板上设置多个蒸发源；以及驱动单元，其用于往复移动该移动板。该蒸发装置可简化结构，并可短时间内在基板上沉积均匀厚度的蒸发材料。，下面是蒸发装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种蒸发装置，包括：

移动板，其设置在框体上往复移动；

多个蒸发源，其用于将蒸发材料蒸发到基板上，以便在基板上沉积蒸发材料，在与所述移动板的移动方向相交的方向上，在所述移动板上设置所述多个蒸发源；以及驱动单元，其用于往复移动所述移动板，所述蒸发装置的特征在于，

所述驱动单元包括：

驱动马达；和

功率传送单元，其用于将所述驱动马达的驱动力传送到所述移动板以使所述移动板移动，所述功率传送单元包括：

驱动滑轮，其旋转地设置在框体中并且被所述驱动马达所驱动；

空转滑轮，其旋转地设置在框体中，所述空转滑轮与所述驱动滑轮在所述移动板的移动方向上彼此间隔；以及钢带，其与所述空转滑轮和所述驱动滑轮驱动地相连，其中所述移动板与所述钢带在一点上紧固，其中，当所述空转滑轮和所述驱动滑轮旋转时，所述钢带旋转以便往复移动所述移动板。

2.根据权利要求1所述的蒸发装置，包括导向单元，其用于引导所述移动板的往复移动。

3.根据权利要求2所述的蒸发装置，其中，所述导向单元包括：导向轨道，其设置在所述框体中；和

导向部，其被紧固到所述移动板上并且具有导向凹槽，所述导向轨道插入到所述导向凹槽中。

4.根据权利要求1所述的蒸发装置，其中，所述功率传送单元包括一对用于将驱动力传送到所述驱动滑轮的斜齿轮。

5.根据权利要求4所述的蒸发装置，其中，所述驱动滑轮与所述驱动马达的驱动轴是相连的。

6.根据权利要求1所述的蒸发装置，其中，所述驱动滑轮、所述空转滑轮、所述钢带都是多个，并且都在与所述移动板的移动方向相交的方向上彼此间隔。

7.根据权利要求1所述的蒸发装置，其中，所述蒸发源包括：多个主体蒸发源，其在与所述移动板的移动方向相交的方向上彼此间隔；和客体蒸发源，其具有与主体蒸发源的数量对应的数量，并且每一个都在所述移动板的移动方向上与对应的主体蒸发源相间隔。

说明书全文

蒸发装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种蒸发装置(evaporation apparatus)，尤其涉及一种在大尺寸基板上沉淀均匀厚度的蒸发材料并且同时具有简化结构的蒸发装置。

背景技术

[0002] 通常，蒸发装置通过在利用真空泵排气且减压的真空腔中加热并且蒸发在蒸发源中填充的材料，将该材料沉积在基板上。

[0003] 近来，越来越需要提供一种能够短时间内将蒸发材料沉积在基板上的蒸发装置。作为蒸发装置的一个示例，已经研发出一种具有细长开口的大尺寸的蒸发源并且移动基板的同时执行蒸发处理的蒸发装置，其中该细长开口的宽度等于基板的宽度。在这种装置中，移动基板所需的空间会不可避免地导致尺寸变大，并且由于很难对大尺寸的源执行温度控制而导致所沉积的膜的均匀度较差。

[0004] 出于上述原因，已经研发出一种这样的蒸发装置，其具有一个能够移动并且同时将材料沉积到悬浮的基板上的蒸发源。然而，这种蒸发装置需要较长的处理时间并且使用会产生许多颗粒的包括球形螺丝的移动部件。

[0005] 研究还在继续进行并研发出一种具有多个蒸发单元的蒸发装置，各蒸发单元都包括一个源和一个移动部件以便短时间内将材料蒸发到大尺寸的基板上。然而，这种装置变得很复杂并且十分昂贵，这是由于它需要多个移动部件来移动多个蒸发源的缘故。

发明内容

[0006] 相应地，提出本发明以解决现有技术中所存在的上述问题，本发明的目的在于，提供一种蒸发装置，其可缩短蒸发的处理时间并且改善基板上所沉积的蒸发材料的厚度均匀度。

[0007] 本发明的另一目的在于，提供一种蒸发装置，其可简化结构并且最小化颗粒的产生。

[0008] 本发明的目的是通过如下的一种蒸发装置来实现的，该蒸发装置包括：移动板，其设置在框体上往复移动；多个蒸发源，其用于将蒸发材料蒸发到基板上，以便在基板上沉积蒸发材料，在与所述移动板的移动方向相交的方向上，在所述移动板上设置所述多个蒸发源；以及驱动单元，其用于往复移动所述移动板。

[0009] 根据本发明的实施例，该蒸发装置包括导向单元，其用于引导所述移动板的往复移动，该导向单元包括：导向轨道，其设置在所述框体中；和导向部，其被紧固到所述移动板上并且具有将所述导向轨道插入的导向凹槽。

[0010] 该驱动单元包括：驱动马达；和功率传送单元，其用于将所述驱动马达的驱动力传送到所述移动板以使所述移动板移动。所述功率传送单元包括：驱动滑轮，其旋转地设置在框体中并且被所述驱动马达所驱动；空转滑轮，其旋转地设置在框体中，所述空转滑轮与所述驱动滑轮在所述移动板的移动方向上彼此间隔；钢带，其与所述空转滑轮和所述驱动滑轮驱动地相连，其中所述移动板与所述钢带紧固；以及一对用于将驱动力传送到所述驱动滑轮的斜齿轮，其中所述驱动滑轮、所述空转滑轮、所述钢带都是偶数个，并且它们都在与所述移动板的移动方向相交的方向上彼此间隔。

[0011] 此外，所述蒸发源包括：多个主体蒸发源，其在与所述移动板的移动方向相交的方向上彼此间隔；和客体蒸发源，其具有与主体蒸发源的数量对应的数量，并且每一个都在所述移动板的移动方向上与对应的主体蒸发源相间隔。

[0012] 根据本发明的另一实施例，所述驱动滑轮与所述驱动马达的驱动轴是相连的，从而省去了一对斜齿轮。

[0013] 同时，本发明的目的还可通过如下的一种蒸发装置来实现的，该蒸发装置，包括：驱动马达；移动板，其设置在框体上往复移动；至少一个蒸发源，其设置在所述移动板上，所述至少一个蒸发源用于将蒸发材料蒸发到基板上，以便在基板上沉积蒸发材料；以及钢带，其与所述移动板紧固地相连，当所述驱动马达驱动所述钢带时，所述钢带使得所述移动板往复移动。

附图说明

[0014] 通过下面的具体实施方式并且结合所附的附图，可以使得本发明的上述和其他目的、特征和优点更加清楚和明了，其中：

[0015] 图1是根据本发明实施例的蒸发装置的示意性透视图；

[0016] 图2是图1所示的蒸发装置的侧视图；

[0017] 图3是图1所示的蒸发装置的截面图；以及

[0018] 图4是根据本发明的另一实施例的蒸发装置的透视图。

具体实施方式

[0019] 在下文中，将会参考所附的附图来详细地说明本发明的示例性实施例。

[0020] 参考图1至图3，根据本发明实施例的蒸发装置包括框体100、以可在框体100上线性往复的方式安装到框体100上的移动板110、在移动板110上设置的多个蒸发源120、用于引导移动板110线性移动的导向单元130、以及用于线性地往复移动移动板110的驱动单元140。

[0021] 移动板110被用来一并承载并且移动多个蒸发源120，并且具有在其上设置了多个蒸发源120的顶面和在其上设置了用于将移动板110连接到驱动单元140的一对连接部112的底面。此外，还在移动板110的底面上设置了一对承载部114，其用于在导向单元130上承载移动板110。尽管在本实施例中所示的移动板110是矩形板，但是移动板110还可具有由多种材料制成的多种变形形状，只要移动板110可承载多个蒸发源120并可使它们移动即可。

[0022] 在垂直于移动板110的移动方向的方向上，在移动板110的顶面上设置了多个蒸发源120。优选地，多个蒸发源120彼此相距相同的间隔，以便根据基板的位置可沉积均匀厚度的蒸发材料。同时，在蒸发有机EL材料的情况下，多个蒸发源120中的每一个都包括主体蒸发源124和客体蒸发源122，两者在移动板110的移动方向上彼此间隔。主体蒸发源124填充有主体材料，而客体蒸发源122填充有作为搀杂剂的客体材料，从而可以在基板上同时沉积主体和客体材料。

[0023] 这些蒸发源120中的每一个都具有设置了填充有蒸发材料的坩锅和环绕该坩锅设置的用于加热并且蒸发该蒸发材料的电热线的公知结构。由于蒸发源120的配置都已经是公知的，因此省略了对其的结构和蒸发原理的详细说明。

[0024] 此外，还可靠近各个蒸发源120设置用来测量蒸发源120的蒸发的包括石英振荡器的感应器(未示出)。通过基于测量得到的各个蒸发源120的蒸发来调节它们中每一个的温度，可操作控制器来控制各个蒸发源120的蒸发速率。

[0025] 导向单元130用来引导移动板110的线性往复移动，并且每一个导向单元130都包括为每一个承载部114设置的导向部134和对框体100设置的导向轨道132。导向部134具有导向凹槽135，在导向凹槽135中插入了导向轨道132。利用上述结构，移动板110可沿着导向轨道132线性地往复移动。

[0026] 尽管在这个实施例中导向轨道132被固定在框体100上并且具有各自导向凹槽135的导向部134被固定到移动板110上，但是还可与这个实施例相反，即导向轨道132被固定到移动板110上而在框体100中形成导向凹槽。

[0027] 驱动单元140用来移动上述移动板110，并且包括驱动马达141和用于将驱动马达141的驱动力传送到移动板110的功率传送单元142。

[0028] 驱动马达141被紧固到框体100并且可以响应于所提供的电流方向前向和后向旋转，从而使得移动板110往复移动。

[0029] 功率传送单元142包括一对连接到驱动马达141的驱动轴141a上并且具有彼此相通的轴的斜齿轮143和144、与斜齿轮143和144相连的驱动滑轮145、通过钢带147驱动地与各个驱动滑轮145相连的空转滑轮146、以及将驱动滑轮145的驱动力传送到空转滑轮146的钢带147。

[0030] 斜齿轮143和144包括与驱动马达141的驱动轴141a相连的第一斜齿轮143和具有与第一斜齿轮143的轴垂直的轴的第二斜齿轮144。由于驱动马达141的驱动轴141a垂直于驱动滑轮145的轴，故第一斜齿轮143和第二斜齿轮144被用来转换驱动力的旋转方向。因此，根据驱动马达141的定位和位置可以省略第一斜齿轮143和第二斜齿轮144。

[0031] 驱动滑轮145包括一对在驱动马达141的相对侧设置的滑轮。更具体的，一对驱动滑轮145分别旋转地安装到框体100的承载肋104，并且驱动滑轮145与第二斜齿轮144共享轴144a。因此，第二斜齿轮144的旋转功率可经过轴144a传递驱动滑轮145。

[0032] 空转滑轮146被驱动滑轮145所驱动并且被设置在移动板110的移动方向上与驱动滑轮145相隔一距离。空转滑轮146是对应于一对驱动滑轮145并且被旋转地安装到框体100的承载肋的一对滑轮。

[0033] 钢带147是一对钢带，其中每一个钢带都与对应的驱动滑轮145和空转滑轮146相连以使其旋转。因此，在钢带147的每一个的点处将移动板110紧固。更具体的，与移动板110相连的连接部112分别固定到各钢带147。利用上述结构，当钢带147旋转时，移动板110可沿着导向轨道132线性地移动。由于使用钢带147作为功率传送部件按照如上所述的方式使移动板110移动，因此可以最小化诸如球体螺丝等在其他功率传送部件中以更快的速率产生的颗粒。最小化的颗粒实现了沉积有蒸发材料的基板的废品率。同时，还可设置用来覆盖钢带147、驱动滑轮145和空转滑轮146的外壳。在这种情况下，由于相对于基板将功率传送单元142密封，而可以进一步降低颗粒所产生的基板的废品率。

[0034] 在下文中将会说明具有上述配置的蒸发装置的操作。

[0035] 首先，朝向蒸发源120来安装基板，并且向蒸发源120施加电能以使蒸发材料得以蒸发。此时，激励驱动马达141以使移动板110沿着导向轨道132移动。更具体的，当激励驱动马达141时，一对驱动滑轮145经过第一斜齿轮143和第二斜齿轮144旋转，并且通过摩擦力与各驱动滑轮145相连的钢带147也旋转。随后移动在钢带147的各个点处固定的移动板110。此时，在移动板110上安装的多个蒸发源120将蒸发材料蒸发到整个基板上，同时沿着基板的长度方向移动。

[0036] 图4是根据本发明的另一实施例的蒸发装置的示意性透视图。参考图4，在本发明的这个实施例中所省略的是，通过改变驱动马达241的位置而省略了在上述实施例中所使用的第一斜齿轮143和第二斜齿轮144。也就是说，根据本发明的另一实施例的功率传送单元242包括驱动马达241，该驱动马达241的驱动轴241a直接地与驱动滑轮245相连。驱动滑轮245又通过钢带247与空转滑轮246相连。这里，优选地，将钢带247、驱动滑轮245和空转滑轮146都定位在移动板210的宽度的中间位置处。这可以在移动板210的移动方向上更加有效地传送驱动力。除此以外，连接移动板210和钢带247的结构以及引导移动板210的移动的结构都与上述实施例中的结构相同。

[0037] 以上述方式，通过使驱动滑轮245与驱动马达241的驱动轴241a直接相连，可进一步简化蒸发装置的结构。

[0038] 根据如上所述的本发明，由于通过一个往复移动的移动板上承载多个蒸发源对蒸发材料进行蒸发而在悬浮的基板上沉积蒸发材料，因此可以简化蒸发装置的结构，并且可以缩短沉积时间，由于可以轻易地执行对各个蒸发源的温度控制，因此可获得均匀厚度的沉积膜。

[0039] 特别地，通过使用驱动马达和钢带来往复移动用于承载多个蒸发源的移动板，可进一步简化蒸发装置的移动部件的结构，并且最小化由移动部件所产生的颗粒。

[0040] 此外，由于驱动马达的驱动轴直接地与驱动滑轮相连，由此实现了驱动单元的结构的进一步简化。

[0041] 尽管是出于说明性目的描述了本发明的示例性实施例，但是本领域技术人员在不脱离所附的权利要求限定的本发明的范围和精神的前提下，还可作出多种修改、追加和替换。

标题	发布/更新时间	阅读量
盘式蒸发器-专利编号CN103673411B	2020-05-12	101
翅片式蒸发器-专利编号CN103697637B	2020-05-13	879
一种蒸发板-专利编号CN103673410A	2020-05-12	36
一种蒸发器-专利编号CN103673407A	2020-05-11	516
蒸发器-专利编号CN103673409B	2020-05-11	310
翅片式蒸发器-专利编号CN103673406B	2020-05-13	189
一种蒸发板-专利编号CN103673410B	2020-05-11	1037
翅片式蒸发器-专利编号CN103697637A	2020-05-13	408
盘式蒸发器-专利编号CN103673411A	2020-05-12	869
蒸发器-专利编号CN103673409A	2020-05-11	149

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