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1. 发明专利

TW202030026A 塗布裝置及塗布方法审中-公开
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TW202030026A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108143898
申请日：2019-12-02
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：富藤幸雄 , TOMIFUJI, YUKIO , 大宅宗明 , OE, MUNEAKI , 塩田明仁 , SHIOTA, AKIHITO , 鈴木啓悟 , SUZUKI, KEIGO
IPC分类号： B05C5/02 , B05C13/02 , B05D1/26 , B05D3/00
摘要：本發明的課題在於在藉由塗布平台而一邊使基板以上浮的狀態移動一邊對所述基板的上表面供給處理液來進行塗布的塗布裝置中抑制塗布不均，所述塗布平台包含朝向上方具有氣體的噴出口的多個開口部與具有所述氣體的抽吸口的多個開口部。塗布上浮區域、上游側上浮區域及下游側上浮區域均在水平面內沿與移動方向正交的列方向排列沿著移動方向排列多個開口部而成的開口行而使基板上浮，在塗布上浮區域、上游側上浮區域及下游側上浮區域中的至少一個中，針對每個開口行，構成開口行的多個開口部在列方向上分散配置。
简体摘要：本发明的课题在于在借由涂布平台而一边使基板以上浮的状态移动一边对所述基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布设备中抑制涂布不均，所述涂布平台包含朝向上方具有气体的喷出口的多个开口部与具有所述气体的抽吸口的多个开口部。涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域均在水平面内沿与移动方向正交的列方向排列沿着移动方向排列多个开口部而成的开口行而使基板上浮，在涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域中的至少一个中，针对每个开口行，构成开口行的多个开口部在列方向上分散配置。

2. 发明专利

TW202022975A 基板搬送裝置及塗布裝置审中-公开
简体标题：基板搬送设备及涂布设备
公开(公告)号：TW202022975A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108141888
申请日：2019-11-19
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：大宅宗明 , OE, MUNEAKI , 鈴木啓悟 , SUZUKI, KEIGO , 塩田明仁 , SHIOTA, AKIHITO , 黒枝篤史 , KUROEDA, ATSUSHI , 富藤幸雄 , TOMIFUJI, YUKIO
IPC分类号： H01L21/677 , B05C13/02 , B05D5/00
摘要：本發明提供一種可順暢地進行向自下方施加浮力來支撐基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或損傷的基板搬送裝置及塗布裝置。在本發明的基板搬送裝置中，在將與基板的搬送方向正交的水準方向設為寬度方向時，基板支撐平台在俯視時與搬送輥在寬度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游側端部至少延伸至搬送輥的旋轉軸的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度與基板支撐面相同且與基板支撐面連接，由升降機構定位於上部位置的搬送輥搬送基板，直至俯視時基板的前端部到達較搬送輥的旋轉軸更靠下游位置處，其後，升降機構使搬送輥下降至下部位置，由此將基板自搬送輥移交至基板支撐平台。
简体摘要：本发明提供一种可顺畅地进行向自下方施加浮力来支撑基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或损伤的基板搬送设备及涂布设备。在本发明的基板搬送设备中，在将与基板的搬送方向正交的水准方向设为宽度方向时，基板支撑平台在俯视时与搬送辊在宽度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游侧端部至少延伸至搬送辊的旋转轴的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度与基板支撑面相同且与基板支撑面连接，由直升电梯构定位于上部位置的搬送辊搬送基板，直至俯视时基板的前端部到达较搬送辊的旋转轴更靠下游位置处，其后，直升电梯构使搬送辊下降至下部位置，由此将基板自搬送辊移交至基板支撑平台。

3. 发明专利

TWI508790B 塗佈裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI508790B
公开(公告)日：2015-11-21
申请号：TW101114333
申请日：2012-04-23
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：相良秀一 , SAGARA, SHUICHI , 高村幸宏 , TAKAMURA, YUKIHIRO , 伊藤隆介 , ITO, RYUSUKE , 大宅宗明 , OE, MUNEAKI
IPC分类号： B05C5/02

4. 发明专利

TWI586440B 塗佈裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI586440B
公开(公告)日：2017-06-11
申请号：TW104103817
申请日：2015-02-05
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：伊藤介 , ITO, RYUSUKE , 高村幸宏 , TAKAMURA, YUKIHIRO , 相良秀一 , SAGARA, SHUICHI , 大宅宗明 , OE, MUNEAKI
IPC分类号： B05C11/00 , B05C11/10

5. 发明专利

TWI562832B 塗布裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI562832B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：TW103128003
申请日：2014-08-15
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：相良秀一 , SAGARA, SHUICHI , 上野雅敏 , UENO, MASATOSHI , 高村幸宏 , TAKAMURA, YUKIHIRO , 大宅宗明 , OE, MUNEAKI
IPC分类号： B05C11/10 , H01L27/32

6. 发明专利

TW201511840A 塗布裝置审中-公开
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TW201511840A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW103128003
申请日：2014-08-15
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：相良秀一 , SAGARA, SHUICHI , 上野雅敏 , UENO, MASATOSHI , 高村幸宏 , TAKAMURA, YUKIHIRO , 大宅宗明 , OE, MUNEAKI
IPC分类号： B05C11/10 , H01L27/32
摘要：本發明提供一種關於塗布裝置的技術，其可减少被廢棄的塗布液的量且提高塗布效率。多個噴嘴包括：第一噴嘴群，在主掃描方向上隔開規定的間隔而排列；以及第二噴嘴群，相對於所述第一噴嘴群而與基板的主面平行且在副掃描方向上隔開間隔而排列。間距調整機構包括：對第一噴嘴群的噴嘴加以保持的滑動格，對第二噴嘴群的噴嘴加以保持的滑動格，從副掃描方向的一側抵接於滑動格的桿，從副掃描方向的另一側將滑動格向桿賦能的噴嘴賦能機構，以及對桿的副掃描方向的位置進行調整的驅動機構。
简体摘要：本发明提供一种关于涂布设备的技术，其可减少被废弃的涂布液的量且提高涂布效率。多个喷嘴包括：第一喷嘴群，在主扫描方向上隔开规定的间隔而排列；以及第二喷嘴群，相对于所述第一喷嘴群而与基板的主面平行且在副扫描方向上隔开间隔而排列。间距调整机构包括：对第一喷嘴群的喷嘴加以保持的滑动格，对第二喷嘴群的喷嘴加以保持的滑动格，从副扫描方向的一侧抵接于滑动格的杆，从副扫描方向的另一侧将滑动格向杆赋能的喷嘴赋能机构，以及对杆的副扫描方向的位置进行调整的驱动机构。

7. 发明专利

TW201531338A 塗佈裝置审中-公开
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TW201531338A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW104103817
申请日：2015-02-05
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：伊藤介 , ITO, RYUSUKE , 高村幸宏 , TAKAMURA, YUKIHIRO , 相良秀一 , SAGARA, SHUICHI , 大宅宗明 , OE, MUNEAKI
IPC分类号： B05C11/00 , B05C11/10
摘要：本發明的目的在於提供一種塗佈裝置，在利用塗佈液供給管對移動的噴嘴輸送塗佈液的構成中，可減少從噴嘴噴出的塗佈液的流量紊亂。相對地固定配置於塗佈單元的配管是沿著與塗佈單元的移動方向(X方向)正交的YZ面內而配設。因此，可有效防止如下情況：因由往返移動所引起的慣性力，而導致在配管的內部流動的塗佈液產生流路方向的壓力變動。另外，因為配管作為壓力變動吸收部發揮功能，所以可吸收在所述配管的內部流動的塗佈液的壓力變動。如此，能夠使壓力變動已減少的塗佈液從連接於配管的噴嘴噴出。
简体摘要：本发明的目的在于提供一种涂布设备，在利用涂布液供给管对移动的喷嘴输送涂布液的构成中，可减少从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。相对地固定配置于涂布单元的配管是沿着与涂布单元的移动方向(X方向)正交的YZ面内而配设。因此，可有效防止如下情况：因由往返移动所引起的惯性力，而导致在配管的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。另外，因为配管作为压力变动吸收部发挥功能，所以可吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。如此，能够使压力变动已减少的涂布液从连接于配管的喷嘴喷出。

8. 发明专利

TWI555581B 塗佈裝置以及液體承接清洗裝置有权
简体标题：涂布设备以及液体承接清洗设备
公开(公告)号：TWI555581B
公开(公告)日：2016-11-01
申请号：TW102109257
申请日：2013-03-15
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：伊藤隆介 , ITO, RYUSUKE , 相良秀一 , SAGARA, SHUICHI , 高村幸宏 , TAKAMURA, YUKIHIRO , 大宅宗明 , OE, MUNEAKI
IPC分类号： B05B15/02

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