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1. 发明专利

TW202022975A 基板搬送裝置及塗布裝置审中-公开
简体标题：基板搬送设备及涂布设备
公开(公告)号：TW202022975A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：TW108141888
申请日：2019-11-19
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：大宅宗明 , OE, MUNEAKI , 鈴木啓悟 , SUZUKI, KEIGO , 塩田明仁 , SHIOTA, AKIHITO , 黒枝篤史 , KUROEDA, ATSUSHI , 富藤幸雄 , TOMIFUJI, YUKIO
IPC分类号： H01L21/677 , B05C13/02 , B05D5/00
摘要：本發明提供一種可順暢地進行向自下方施加浮力來支撐基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或損傷的基板搬送裝置及塗布裝置。在本發明的基板搬送裝置中，在將與基板的搬送方向正交的水準方向設為寬度方向時，基板支撐平台在俯視時與搬送輥在寬度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游側端部至少延伸至搬送輥的旋轉軸的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度與基板支撐面相同且與基板支撐面連接，由升降機構定位於上部位置的搬送輥搬送基板，直至俯視時基板的前端部到達較搬送輥的旋轉軸更靠下游位置處，其後，升降機構使搬送輥下降至下部位置，由此將基板自搬送輥移交至基板支撐平台。
简体摘要：本发明提供一种可顺畅地进行向自下方施加浮力来支撑基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或损伤的基板搬送设备及涂布设备。在本发明的基板搬送设备中，在将与基板的搬送方向正交的水准方向设为宽度方向时，基板支撑平台在俯视时与搬送辊在宽度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游侧端部至少延伸至搬送辊的旋转轴的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度与基板支撑面相同且与基板支撑面连接，由直升电梯构定位于上部位置的搬送辊搬送基板，直至俯视时基板的前端部到达较搬送辊的旋转轴更靠下游位置处，其后，直升电梯构使搬送辊下降至下部位置，由此将基板自搬送辊移交至基板支撑平台。

2. 发明专利

TW202030026A 塗布裝置及塗布方法审中-公开
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TW202030026A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108143898
申请日：2019-12-02
申请人：日商斯庫林集團股份有限公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：富藤幸雄 , TOMIFUJI, YUKIO , 大宅宗明 , OE, MUNEAKI , 塩田明仁 , SHIOTA, AKIHITO , 鈴木啓悟 , SUZUKI, KEIGO
IPC分类号： B05C5/02 , B05C13/02 , B05D1/26 , B05D3/00
摘要：本發明的課題在於在藉由塗布平台而一邊使基板以上浮的狀態移動一邊對所述基板的上表面供給處理液來進行塗布的塗布裝置中抑制塗布不均，所述塗布平台包含朝向上方具有氣體的噴出口的多個開口部與具有所述氣體的抽吸口的多個開口部。塗布上浮區域、上游側上浮區域及下游側上浮區域均在水平面內沿與移動方向正交的列方向排列沿著移動方向排列多個開口部而成的開口行而使基板上浮，在塗布上浮區域、上游側上浮區域及下游側上浮區域中的至少一個中，針對每個開口行，構成開口行的多個開口部在列方向上分散配置。
简体摘要：本发明的课题在于在借由涂布平台而一边使基板以上浮的状态移动一边对所述基板的上表面供给处理液来进行涂布的涂布设备中抑制涂布不均，所述涂布平台包含朝向上方具有气体的喷出口的多个开口部与具有所述气体的抽吸口的多个开口部。涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域均在水平面内沿与移动方向正交的列方向排列沿着移动方向排列多个开口部而成的开口行而使基板上浮，在涂布上浮区域、上游侧上浮区域及下游侧上浮区域中的至少一个中，针对每个开口行，构成开口行的多个开口部在列方向上分散配置。

3. 发明专利

TWI564087B 塗布裝置及塗布方法有权
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TWI564087B
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW103128727
申请日：2014-08-21
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：鈴木啓悟 , SUZUKI, KEIGO
IPC分类号： B05C11/10

4. 发明专利

TW201511841A 塗布裝置及塗布方法审中-公开
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TW201511841A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW103128727
申请日：2014-08-21
申请人：斯克林集團公司 , SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
发明人：鈴木啓悟 , SUZUKI, KEIGO
IPC分类号： B05C11/10
摘要：本發明提供一種塗布裝置及塗布方法，即便在塗布液的黏度高的情况下或過濾器等塗布液的供給系統中產生阻力的情况下等，也可適當地對狹縫噴嘴供給塗布液。塗布液的供給系統包括：貯存塗布液的貯存槽，以及將所述貯存槽內的塗布液朝向狹縫噴嘴輸送的泵。貯存槽配設於腔室內。所述腔室經由壓力可變型的調節器與開閉閥而與壓縮空氣的供給部連接。在泵與貯存槽之間配設著過濾器與開閉閥。泵經由一對開閉閥，而與狹縫噴嘴的兩端部連接。在開閉閥與泵之間的配管上，配設著用以對壓送到泵中的塗布液的壓力進行測定的壓力計。
简体摘要：本发明提供一种涂布设备及涂布方法，即便在涂布液的黏度高的情况下或过滤器等涂布液的供给系统中产生阻力的情况下等，也可适当地对狭缝喷嘴供给涂布液。涂布液的供给系统包括：贮存涂布液的贮存槽，以及将所述贮存槽内的涂布液朝向狭缝喷嘴输送的泵。贮存槽配设于腔室内。所述腔室经由压力可变型的调节器与开闭阀而与压缩空气的供给部连接。在泵与贮存槽之间配设着过滤器与开闭阀。泵经由一对开闭阀，而与狭缝喷嘴的两端部连接。在开闭阀与泵之间的配管上，配设着用以对压送到泵中的涂布液的压力进行测定的压力计。

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