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传感器

阅读：417发布：2021-03-03

IPRDB可以提供传感器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种传感器，包括一外框及一第一弹性悬臂梁组，所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁两端分别与一内部构件及所述外框连接，用于将所述内部构件连接至所述外框，所述外框包括一框体及至少一缓冲部，每一所述缓冲部包括一固定部及一第二弹性悬臂梁组，所述固定部与一设置在基板衬底上的锚点固定连接，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的两端分别与所述固定部及所述框体连接，用于将所述缓冲部连接至所述框体，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的轴向与所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁的轴向垂直。本发明优点在于，降低工作频率的改变量，甚至保持工作频率不变，提高传感器的检测精度。，下面是传感器专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种传感器，包括一外框及一第一弹性悬臂梁组，所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁两端分别与一内部构件及所述外框连接，用于将所述内部构件连接至所述外框，其特征在于，所述外框包括一框体及至少一缓冲部，每一所述缓冲部包括一固定部及一第二弹性悬臂梁组，所述固定部与一设置在基板衬底上的锚点固定连接，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的两端分别与所述固定部及所述框体连接，用于将所述缓冲部连接至所述框体，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的轴向与所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁的轴向垂直。

2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述外框包括两个对称设置的缓冲部。

3.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述第二弹性悬臂梁组包括两个第二弹性悬臂梁，所述两个第二弹性悬臂梁对称设置在所述固定部两端。

4.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述外框朝向所述固定部的一侧设置有一凹陷，以用于容纳所述第二弹性悬臂梁。

说明书全文

传感器

技术领域

[0001] 本发明涉及微机械技术领域，尤其涉及一种传感器。

背景技术

[0002] 微机械传感器是采用微电子工艺技术和微机械加工技术制造出来的微型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

[0003] 但是，现有的微机械传感器存在不足。参见图1，传感器的内部构件10通过至少一弹性悬臂梁11与传感器的外框12连接，所述外框12通过两相对设置的锚点13（附图中采用虚线标示）固定在基板衬底（附图中未标示）上。当所述传感器受到封装压力时，将在所述弹性悬臂梁11上产生一轴向力，使得弹性悬臂梁11的刚度发生变化，改变工作频率，从而影响传感器的检测精度。

发明内容

[0004] 本发明所要解决的技术问题是，提供一种传感器，其能够抵消器件封装压力的影响，降低工作频率的改变量，甚至保持工作频率不变，提高传感器的检测精度。

[0005] 为了解决上述问题，本发明提供了一种传感器，包括一外框及一第一弹性悬臂梁组，所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁两端分别与一内部构件及所述外框连接，用于将所述内部构件连接至所述外框，所述外框包括一框体及至少一缓冲部，每一所述缓冲部包括一固定部及一第二弹性悬臂梁组，所述固定部与一设置在基板衬底上的锚点固定连接，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的两端分别与所述固定部及所述框体连接，用于将所述缓冲部连接至所述框体，所述第二弹性悬臂梁组的每一第二弹性悬臂梁的轴向与所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁的轴向垂直。

[0006] 进一步，所述外框包括两个对称设置的缓冲部。

[0007] 进一步，所述第二弹性悬臂梁组包括两个第二弹性悬臂梁，所述两个第二弹性悬臂梁对称设置在所述固定部两端。

[0008] 进一步，所述外框朝向所述固定部的一侧设置有一凹陷，以用于容纳所述第二弹性悬臂梁。

[0009] 本发明的优点在于，现有技术的传感器在封装压力的影响下，在连接内部构件及外框的第一弹性悬臂梁上会产生一轴向力，第一弹性悬臂梁的刚度会发生变化，改变工作频率，从而影响传感器的检测精度，为了解决该技术问题，本发明在所述外框上设置缓冲部，所述缓冲部具有一与第一弹性悬臂梁的轴向垂直的第二弹性悬臂梁，当所述传感器受到封装压力的影响时，所述第二弹性悬臂梁通过自身的弹性变化，能够抵消封装压力的影响，从而避免第一弹性悬臂梁的刚度发生变化，保持工作频率不变，提高传感器的检测精度。

附图说明

[0010] 图1是现有的传感器的结构示意简图；图2是本发明传感器的结构示意简图。

具体实施方式

[0011] 下面结合附图对本发明提供的传感器的具体实施方式做详细说明。

[0012] 参见图2，本发明传感器包括一外框20及一第一弹性悬臂梁组（附图中未标示）。所述第一弹性悬臂梁组包括至少一个第一弹性悬臂梁23，每一第一弹性悬臂梁23的两端分别与一内部构件24及所述外框20连接，所述第一弹性悬臂梁23用于将所述内部构件24弹性连接至所述外框20。在本具体实施方式中，示意性地绘出两个第一弹性悬臂梁23。在本发明中，定义所述第一弹性悬臂梁23的轴向为第一方向，在本具体实施方式中，所述第一弹性悬臂梁23的轴向为水平方向。

[0013] 所述外框20包括一框体21及至少一缓冲部22。每一所述第一弹性悬臂梁23与所述框体21连接。

[0014] 每一所述缓冲部22包括一固定部25及一第二弹性悬臂梁组（附图中未标示）。

[0015] 所述固定部25与一设置在所述传感器的基板衬底（附图中未标示）上的锚点30固定连接，以将所述外框20固定在所述基板衬底上。由于锚点30被固定部25遮挡，图2中采用虚线示意性地标示出锚点30。

[0016] 所述第二弹性悬臂梁组包括至少一个第二弹性悬臂梁26。每一所述第二弹性悬臂梁26的一端与所述固定部25连接，另一端与所述框体21连接，所述第二弹性悬臂梁26用于将所述缓冲部22弹性连接至所述框体21，所述固定部25通过所述第二弹性悬臂梁26弹性与所述框体21连接，进而所述外框20固定在所述锚点30上。在本具体实施方式中，所述第二悬臂梁组包括两个第二弹性悬臂梁26，所述两个第二弹性悬臂梁26对称设置在所述固定部25的两端，进而将所述固定部25弹性连接至所述框体21。

[0017] 在本发明中，定义每一第二弹性悬臂梁26的轴向为第二方向。则所述第二弹性悬臂梁26的第二方向与所述第一弹性悬臂梁23的第一方向垂直与所述第一弹性悬臂梁组的每一第一弹性悬臂梁的轴向垂直。例如在本具体实施方式中，所述第一方向为水平方向，则所述第二方向为竖直方向。

[0018] 现有技术中的传感器的封装压力的影响下，在连接内部构件24及外框20的第一弹性悬臂梁23上会产生一轴向力，第一弹性悬臂梁23的刚度会发生变化，从而改变第一弹性悬臂梁23的工作频率，进而影响传感器的检测精度。本发明在所述外框20上设置缓冲部22。所述缓冲部22具有一与第一弹性悬臂梁23的轴向垂直的第二弹性悬臂梁26，当所述传感器受到封装压力的影响时，所述第二弹性悬臂梁26通过自身的弹性变化，能够抵消封装压力的影响，从而避免第一弹性悬臂梁23的刚度发生变化，保持第一弹性悬臂梁23的工作频率不变，提高传感器的检测精度。在本具体实施方式中，所述第一弹性悬臂梁23的工作频率是指第一弹性悬臂梁23的驱动频率。

[0019] 优选地，，所述外框20包括两个对称设置的缓冲部22，以进一步抵消封装压力对传感器的影响。优选地，所述外框20朝向所述固定部25的一侧设置有一凹陷27，所述凹陷27以用于容纳所述第二弹性悬臂梁26，所述第二弹性悬臂梁26与所述凹陷27底部的框体
21连接，以进一步节省空间。在本具体实施方式中夸大了所述第二弹性悬臂梁26的尺寸，在实务上，所述第二弹性悬臂梁26的尺寸可根据实际传感器的设计需要而进行调整。

[0020] 以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

标题	发布/更新时间	阅读量
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