扫描探针显微镜专利检索-显微镜光学专利检索查询-专利查询网

积极推动地理标志专门立法

2022-03-10 地理标志，立法，知识产权
保护知识产权是对创新最大的激励

2022-03-10 保护知识产权，创新，激励
谢商华：加快制定知识产权基本法

2022-03-10 知识产权基本法
擦亮“双奥之城”品牌

2022-03-10 双奥，知识产权
让冰雪运动“热”力全开

2022-03-10 冰雪运动，知识产权
携手共奋进　走好强国路

2022-03-10 强国，知识产权
坚持创新引领　方能稳中求进

2022-03-10 创新，稳中求进，知识产权
答好“两张卷” 奋进新征程

2022-03-10 知识产权
专家解读政府工作报告中的创新和知识产权相关部署

2022-03-10 政府工作报告，创新，知识产权
今年政府工作报告指出：加强知识产权保护和运用

2022-03-10 政府工作报告，知识产权保护

扫描探针显微镜

阅读：1054发布：2020-10-15

IPRDB可以提供扫描探针显微镜专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种扫描探针显微镜。该扫描探针显微镜为了检测悬臂(4)的位移，利用半透半反镜(20)取出从激光光源(11)射出的光的一部分，并将其导入到具有被分割为4部分的受光面的光检测器(21)中。当由周围温度的变化等导致射出光的射出方向倾斜时，光斑位置在光检测器(21)的受光面上移动，因此，能够根据其移动量和移动方向识别射出方向的倾斜量和倾斜方向。驱动量运算部(22)根据其倾斜量及方向计算驱动量，利用驱动器(23)使激光光源(11)绕Y轴和Z轴发生位移。由此，能够对射出光的射出方向的倾斜进行补偿，防止以为是试样表面的凹凸的误认。，下面是扫描探针显微镜专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，具备：

a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；

b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；

c)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制上述光源部，以减轻上述反射光的位置信息中的上述变化的影响。

2.一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，具备：

a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；

b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；

c)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制插入到上述照射光的光路中的光学元件，以减轻上述反射光的位置信息中的上述变化的影响。

3.一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，具备：

a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；

b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；

c)移动部件，其为了改变上述试样和上述悬臂之间的相对距离，使上述试样和上述悬臂中至少任一个移动；

d)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制上述移动部件，以减轻上述反射光的位置信息中的上述变化的影响。

4.一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，该扫描探针显微镜的特征在于，具备：

a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；

b)光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；

c)补偿部件，其根据由上述光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，根据该变化量，对上述反射光的位置信息或基于该位置信息而得到的反映试样表面的凹凸或物性的数据进行校正。

说明书全文

扫描探针显微镜

技术领域

[0001] 本发明涉及一种扫描探针显微镜，更具体地讲，是涉及一种具备对设有探针的悬臂(cantilever)的机械位移进行光学检测的位移检测部件的扫描探针显微镜。

背景技术

[0002] 作为对金属、半导体、陶瓷、合成树脂等进行表面观察及对它们的表面粗糙度等进行测定的装置，广泛公知有以测定作用于探针(Probe)和试样表面之间的原子力的原子力显微镜(AFM＝Atomic Force Microscope)为代表的扫描探针显微镜(SPM＝Scanning Probe Microscope)。在原子力显微镜中采用几种测定模式，最近大多采用被称作非接触模式(non-contact mode)或动态模式的方法，该方法使设有探针的悬臂在其谐振点附近振动，在该状态下将作用于探针的、探针与试样表面之间的相互作用转换为悬臂的振动的振幅、相位或频率的变化来进行检测。

[0003] 图5是例如专利文献1等记载的以往所公知的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。作为观察对象的试样1被保持在设置于大致圆筒状的扫描器(scanner)3上的试样台2上。该扫描器3包含在相互正交的X、Y这2个轴向上对试样1进行扫描的XY扫描器3a、及使试样1在与X轴及Y轴正交的Z轴方向上微动的Z扫描器3b，XY扫描器3a和Z扫描
器3b利用压电元件作为驱动源，该压电元件利用从外部施加的电压产生位移的。在试样1的上方配置有前端具有探针5的悬臂4，该悬臂4在未图示的包含压电元件的激励部的影响下进行振动。

[0004] 为了检测悬臂4的Z轴方向位移，在悬臂4的上方设置有包括激光光源11、反射镜13、14和光检测器15的光学位移检测部10。在光学位移检测部10中，利用反射镜13将从激光光源11射出的激光大致垂直地反射，照射到悬臂4的前端附近。然后，由悬臂4反射来的光经由反射镜14而被光检测器15检测。光检测器15具有在悬臂4的位移方向(Z轴方向)上被分割为多个部分(一般是2部分)的受光面，或者具有在Z轴方向和Y轴方向上被分割为4部分的受光面。当悬臂4上下位移时，入射到多个受光面的光量的比例发生变化，因此，通过计算处理与该多个受光光量相应的检测信号，能够计算出悬臂4的位移量。

[0005] 对上述结构的扫描探针显微镜在非接触模下的测定动作简单地进行说明。利用未图示的激励部，悬臂4以其谐振点附近的频率在Z轴方向振动。此时，当在探针5和试样1的表面之间作用有引力或斥力时，悬臂4的振动振幅发生变化。利用由光检测器15测得的的检测信号来检测该振动振幅的微小变化量，为了使试样1沿Z轴方向移动以使得该变化量为零、即、将振动振幅维持恒定，反馈控制Z扫描器3b的压电元件。通过在该状态下控制XY扫描器3a的压电元件来在X-Y面内扫描试样1时，与上述Z轴方向相关的反馈控制量反映试样1表面的微小的凹凸。因此，能够使用该信号制作试样1的表面图像。

[0006] 在上述结构的扫描探针显微镜中，从激光光源11射出的激光的出射角(射出方向)有时会因激光振荡电路的特性中的温度变化等影响而发生微妙变化。这样，当激光的出射角产生变化时，会引起如下问题。

[0007] 图6是示意地表示光学位移检测部10的一般动作的图。在探针5正在扫描试样1上的平坦面时，如图6(a)所示，能够在光检测器15的受光面上在P所示的位置获得来自悬臂4的反射光的光斑。当探针5到达试样1上的凸部1a时，如图5(b)所示，悬臂4向上方挠曲，光检测器15的受光面上的反射光的光斑位置P向下方位移。通过这样的位移，使来自光检测器15的检测信号发生变化，能够获得反映凸部1a的高度等的信息。

[0008] 另一方面，图7是示意地表示来自激光光源11的激光的射出方向向上倾斜时的动作的图。如图7(a)所示，当激光的射出方向没有倾斜(偏离)(在该例子中沿X轴方向射出)的情况下，在光检测器1 5的受光面上在P所示的位置能够获得来自悬臂4的反射光的光斑。这一点与图6(a)相同。当例如因周围温度变化的影响而导致激光的射出方向稍微向上倾斜时，朝向悬臂4的照射光Lm的入射角也发生变化。因此，无论探针5是否正在扫描试样1上的平坦面，光检测器15的受光面上的反射光的光斑位置P都会向下方位移。即，在光检测器15的受光面上，成为与如图6(b)所示的在试样1的表面存在凸部1a的情况相同的状态。因此，如上所述，当激光的射出方向(出射角)发生变化时，就会误认为在试样1的表面具有凸部或凹部。

[0009] 为了防止上述那样的误认，一般考虑采用抑制了出射角对于温度等产生的变化的激光光源11、或者设置将激光光源11的周围温度维持恒定的温度调节装置等对策。但是，这样做均无法避免成本的大幅增加。另外，无法应对由除温度以外的因素、例如长时间使用后等导致出射角度发生变化的情况。

[0010] 专利文献1：日本特开2005-233669号公报

发明内容

[0011] 本发明即是为了解决上述课题而做成的，其目的在于提供一种即使在来自激光光源的激光的出射角发生变化的情况下，也能够防止将该变化误认为是由试样表面的凹凸引起的变化的扫描探针显微镜。

[0012] 为了解决上述课题而做成的第1技术方案是一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；光检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述光检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，其特征在于，具备：a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；b)补偿用光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；c)补偿部件，其根据由上述补偿用光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制上述光源部，以在上述反射光的位置信息中减轻上述变化的影响。

[0013] 在此，作为补偿部件控制光源部的方法，最容易的是改变光源部的姿态(倾斜)。作为用于这样的变化的驱动源，能够利用压电元件等驱动器。

[0014] 另外，为了解决上述课题而做成的第2技术方案是一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；光检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述光检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，其特征在于，具备：a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；b)补偿用光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；c)补偿部件，其根据由上述补偿用光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角度的变化，控制插入到上述照射光的光路中的光学元件，以在上述反射光的位置信息中减轻上述变化的影响。

[0015] 在此，作为上述光学元件，能够做成例如单个透镜或组合多个透镜而成的透镜机构，补偿部件为能够控制这样的透镜机构的位置、角度等的部件。当然，也可以使用能够利用电学改变光学特性的光学元件。

[0016] 另外，为了解决上述课题而做成的第3技术方案是一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，用于对上述悬臂照射光；光检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述光检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，其特征在于，具备：a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；b)补偿用光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；c)移动部件，其为了改变上述试样和上述悬臂之间的相对距离，至少使其中任一个移动；d)补偿部件，其根据由上述补偿用光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，控制上述移动部件，以在上述反射光的位置信息中减轻上述变化的影响。

[0017] 在此，上述移动部件能够做成例如使试样移动的、以压电元件为驱动源的扫描器。

[0018] 另外，为了解决上述课题而做成的第4技术方案是一种扫描探针显微镜，该扫描探针显微镜具有：悬臂，其具有挠性，且设有探针；光源部，其用于对上述悬臂照射光；光检测器，其用于检测对应于该照射光的来自上述悬臂的反射光；在上述探针扫描试样表面时，根据由上述光检测器得到的反射光的位置信息求出上述悬臂的位移，其特征在于，具备：a)分光部件，其用于在从上述光源部到上述悬臂的照射光的光路上对该照射光分光而取出光；b)补偿用光检测部件，其用于检测由上述分光部件分光而取出的光的到达位置；c)补偿部件，其根据由上述补偿用光检测部件得到的信息识别从上述光源部射出的光的出射角的变化，根据该变化量对上述反射光的位置信息或基于该位置信息而得到的反映试样表面的凹凸或物性的数据进行校正。

[0019] 在第1～第4技术方案的扫描探针显微镜中，作为上述分光部件能够使用例如半透半反镜等光束分离器。另外，作为上述补偿用光检测部件能够使用受光面被分割为2部分、4部分等多个部分而成的光电二极管等光检测器。另外，因为需要以较小的光斑直径向悬臂照射光，所以，上述光源部一般为激光光源。

[0020] 在例如由周围温度等环境的变化导致从光源部射出的光的出射角(射出方向)发生变化的情况下，照射光对于悬臂的的入射角也发生变化。此时，在补偿用光检测部件的受光面上，被分光部件分光并取出的光的到达位置发生变化，该变化量与出射角的变化相对应。这种识别从光源部射出的光的出射角变化的方法在第1～第4技术方案中是共用的，用于减轻该变化的影响的方法、即补偿部件的技术特征在第1～第4技术方案中各不相同。

[0021] 在第1和第2技术方案的扫描探针显微镜中，通过对由来自光源部的射出光的出射角变化而引起的光路变化进行修正，从而以在用于检测悬臂位移的光检测器的受光面上得到的反射光的光斑位置不会偏离。此时，根据由补偿用光检测部件得到的信息进行反馈控制，从而能够大致实时地消除出射角变化的影响。

[0022] 在第3技术方案的扫描探针显微镜中，当用探针扫描试样表面时，根据由补偿用光检测部件得到的信息，改变与光检测器的受光面上的反射光的光斑位置变化相应地被反馈控制的移动部件的移动量。从而，虽然向悬臂照射的光的光路没有改变，但是在光检测器的受光面上的反射光的光斑位置没有受到射出光的出射角变动的影响。

[0023] 在第4技术方案的扫描探针显微镜中，即使来自光源部的射出光的出射角度发生变化，落到悬臂的照射光的光路、试样和悬臂之间的距离等也不会特别地改变，因此，出射角的变化作为光检测器的受光面上的反射光的光斑位置变化而保持原样地呈现。即，此时由光检测器得到的反射光的位置信息包含射出光的出射角变化的影响。但是，该影响的程度能够根据由光检测部件得到的信息定量地掌握，因此，在计算出反映例如试样表面的凹凸或物性的数据之后，根据射出光的出射角的变化量来校正数据。

[0024] 采用第1～第4技术方案所述的扫描探针显微镜，即使在由例如周围温度的变化等导致从光源部射出的光的出射角发生变化时，也不会误认为该变动是试样表面的凹凸导致的，能够高精度地制作试样的表面图像、或者对表面粗糙度进行测定。另外，与使用光源部自身改善出射角的温度依赖性、或者对光源部进行温度调节的情况相比，能够抑制成本，并且其效果更加可靠。另外，即使针对由除温度以外的长时间使用后等导致的出射角变化，也能够得到同样的效果。

附图说明

[0025] 图1是第1实施例的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。

[0026] 图2是第2实施例的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。

[0027] 图3是第3实施例的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。

[0028] 图4是第4实施例的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。

[0029] 图5是以往的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。

[0030] 图6是示意地表示光学位移检测部的一般动作的图。

[0031] 图7是示意地表示来自激光光源的激光的射出方向向上倾斜时的动作的图。

[0032] 图8是用于说明第1～第4实施例的扫描探针显微镜的特征性动作的图。

[0033] 附图标记说明

[0034] 1、试样；2、试样台；3、扫描器；3a、XY扫描器；3b、Z扫描器；4、悬臂；5、探针；10、光学位移检测部；11、激光光源；14、反射镜；15、光检测器；17、驱动部；20、半透半反镜；21、补偿用光检测器；21a、21b、21c、21d、受光面；16、22、30、驱动量运算部；23、24、驱动器；31、加法器；40、41、A/D转换器；42、数据处理部；43、凹凸数据计算处理部；44、出射角数据计算处理部；45、校正处理部；46、显示部。

具体实施方式

[0035] 第1实施例

[0036] 首先，参照附图对作为第1技术方案的一实施例(第1实施例)的扫描探针显微镜进行具体地说明。图1是第1实施例的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。对与已说明的图5中所述的结构要件相同的结构要件标注相同的附图标记，并省略说明。

[0037] 在该扫描探针显微镜中，在光学位移检测部10中，代替以往的反射镜13而设置相当于本发明的分光部件的半透半反镜20，从激光光源11射出的光利用该半透半反镜20被分光为监视光Ls和朝向悬臂4的照射光Lm。为了检测该监视光Ls的到达位置而配设有光检测器21，该光检测器21相当于本发明的补偿用光检测部件，其受光面如图8所示地沿着Y轴、Z轴2个轴向被分割为4部分。另外，利用由压电元件等构成的驱动器23，激光光源11能够分别沿绕Y轴的旋转方向、绕Z轴的旋转方向在规定的角度范围内转动。光检测器
21的4个受光面21a、21b、21c、21d的检测信号被输入到驱动量运算部22，该驱动量运算部
22计算出绕Y轴和Z轴的旋转方向的驱动量而控制驱动器23。

[0038] 现在，当从激光光源11射出的光的射出方向与X轴方向一致时，如图8(a)所示，光检测器2 1的受光面上的监视光Ls的光斑Q位于被分割为4个的分割受光面21a～21d的中心。此时，利用4个分割受光面21a～21d分别得到的检测信号理想地相同。在此时，驱动量运算部22使驱动量为零，驱动器23不进行动作。

[0039] 当由周围温度的变化等影响导致从激光光源11射出的光的射出方向自X轴方向倾斜时，在光检测器21的受光面上，监视光Ls的光斑Q的位置例如图8(b)所示地移动。此时光斑Q的移动量与光的射出方向的倾斜大小相对应，光斑Q的移动方向与光的射出方向倾斜的方向相对应。因此，通过驱动量运算部22计算处理4个检测信号来识别光的射出方向的倾斜的大小和方向，求出能够将其抵消的驱动量。将与这样求出的驱动量相对应的驱动信号发送到驱动器23，控制驱动器23的位移量。

[0040] 利用驱动器23的位移改变激光光源11的姿态，来自激光光源11的射出光的方向接近X轴方向。由此，光检测器21的受光面上的监视光Ls的光斑Q的位置接近于图8(a)的状态。在该状态下，如果与图8(a)的状态之间存在误差，则再次修正驱动量，调整为使光斑Q成为图8(a)的状态。这样，通过根据由光检测器21得到的检测信号进行反馈控制，能够使来自激光光源11的光的射出方向与X轴方向一致。由此，能够消除来自激光光源11的光的射出方向倾斜的影响。

[0041] 另外，如上所述，只要采用受光面被分为4部分的光检测器21，就能够检测射出光向所有方向的倾斜，但是在由于激光光源11的特性而使倾斜的方向被限定时，可以使用受光面被分割为2部分的装置作为光检测器21。

[0042] 第2实施例

[0043] 接着，参照附图对作为第2技术方案的一实施例(第2实施例)的扫描探针显微镜进行具体地说明。图2是第2实施例的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。对与已说明的图1、图5中所述的结构要件相同的结构要件标注相同的附图标记，并省略说明。

[0044] 在第1实施例中，通过控制激光光源11自身的姿态来对射出光的射出方向的偏离(倾斜)进行补偿，但是在第2实施例的结构中，激光光源11是固定的，利用驱动器24能够使插入在激光光源11和半透半反镜20之间的光路中的透镜25在Y轴和Z轴2个轴向上移动。该透镜25可以是单个透镜，也可以做成组合多个透镜而成的透镜组，当使其中的1个～少数几个透镜移动时，即使来自激光光源11的射出光的方向自X轴方向倾斜的情况下，也会容易地修正该倾斜而使光沿X轴方向入射到半透半反镜20。另外，除了使透镜25在Y轴和Z轴2个轴向上移动之外，也可以使透镜25与第1实施例的激光光源11一样地转动。

[0045] 第3实施例

[0046] 接着，参照附图对作为第3技术方案的一实施例(第3实施例)的扫描探针显微镜进行具体地说明。图3是第3实施例的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。对与已说明的图1、图5中所述的结构要件相同的结构要件标注相同的附图标记，并省略说明。

[0047] 驱动量运算部16根据由光检测器15测得的检测信号求出悬臂4的振动振幅的微小变化量，并求出使该变化量为零、即将振动振幅维持恒定的驱动量Ka。在以往的扫描探针显微镜中，为了使试样1沿Z轴方向移动，驱动部17根据该驱动量Ka反馈控制Z扫描器3b的压电元件。相对于此，在第3实施例的扫描探针显微镜中，驱动量运算部30根据光检测器21的4个检测信号计算射出光的出射角在Z轴方向上的偏移量，计算出将该偏移量抵消的补偿驱动量Kb。然后，在加法器31中从驱动量Ka减去补偿驱动量Kb，驱动部17以驱动量(Ka-Kb)驱动Z扫描器3b的压电元件。由此，由Z扫描器3b引起的试样1在Z轴方向上的位移量发生变化，从而减轻来自激光光源11的光的射出方向倾斜影响。

[0048] 在该实施例的结构中，通过与第1、第2实施例相同地进行反馈控制，能够将来自激光光源11的光的射出方向的倾斜影响降到最低，但与第1、第2实施例相比，其控制的灵敏度较差。但是，一般来自激光光源11的光的射出方向的变化是逐渐产生的，因此，针对这种缓慢的变化能够充分地追踪。

[0049] 第4实施例

[0050] 接着，参照附图对作为第4技术方案的一实施例(第4实施例)的扫描探针显微镜进行具体地说明。图4是第4实施例的扫描探针显微镜的主要部分的结构图。对与已说明的图1、图5中所述的结构要件相同的结构要件标记相同的附图标记，并省略说明。

[0051] 在该第4实施例所述的扫描探针显微镜中，不进行第1～第3实施例那样的反馈控制，而在数据处理上校正与从激光光源11射出的光的方向变化相当的误差量。即，光检测器15的检测信号利用A/D转换器40被转换为数字数据而输入到数据处理部42所包含的凹凸数据计算处理部43中。在此，与以往相同地计算出反映试样1表面凹凸的数据，但在从激光光源11射出的光的方向发生变化的情况下，随着该变化会包含误差。

[0052] 另一方面，光检测器21的检测信号利用A/D转换器41被转换为数字数据而输入到数据处理部42所包含的出射角数据计算处理部44中。出射角数据计算处理部44计算出随着从激光光源11射出的光的方向变化而产生的误差数据。因此，例如图8(a)所示，在出射角不发生变化时，由出射角数据计算处理部44算出的误差数据为零。然后，校正处理部45通过用由凹凸数据计算处理部43得到的数据减去误差数据，来进行去除射出光的方向变化影响的校正，通过输出校正后的数据，在显示部46中显示高精度的试样表面图像。

[0053] 另外，为了收集与1个试样相关的试样表面的凹凸数据，会花费一定程度的时间，但如上所述，一般来自激光光源11的射出光的方向变化的速度较为缓慢，因此，在大多数情况下，不针对凹凸数据的各测定点(X-Y面上的一个测定点)逐个求出误差数据而使用代表性的误差数据进行校正也是足够的。当然，若针对凹凸数据的各测定点逐个求出误差数据进行校正，则能够进行更高精度的校正。另外，也可以在进行数字化之前的模拟信号阶段进行同样的校正。

[0054] 另外，上述各实施例只不过是本发明的一个例子，显而易见，即使在本发明的主旨范围内适当地进行修改、变更、追加等，也包含在本申请的权利要求书的范围之内。

标题	发布/更新时间	阅读量
扫描显微镜-专利编号CN107924048A	2020-05-12	547
变焦显微镜-专利编号CN106575029A	2020-05-12	363
显微镜载物台-专利编号CN102540441B	2020-05-13	521
显微镜载物台-专利编号CN102540441A	2020-05-13	715
电子束显微镜-专利编号CN110310876A	2020-05-13	863
显微镜-专利编号CN104423027A	2020-05-11	355
显微镜-专利编号CN107340584B	2020-05-11	762
变焦显微镜-专利编号CN106575029B	2020-05-12	149
显微镜-专利编号CN107340584A	2020-05-11	456
显微镜-专利编号CN108535854A	2020-05-11	897

扫描探针显微镜

扫描探针显微镜

技术领域

背景技术

发明内容

附图说明

具体实施方式

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式