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    • 54. 发明公开
    • 用于确定至少一个对象的位置的检测器
    • CN112840176A
    • 2021-05-25
    • CN201980066486.X
    • 2019-08-23
    • 特里纳米克斯股份有限公司
    • C·M·奥古恩M·埃伯斯帕奇R·森德I·布鲁德
    • G01B11/24
    • 提出了一种用于确定至少一个对象(114)的位置的检测器(112)。检测器(112)包括:至少一个传递装置(130),其中,传递装置(130)具有响应于从对象(114)传播到检测器(112)的至少一个入射光束的至少一个焦距,其中,传递装置(130)具有至少一个光轴(142);至少一个照射源(144),其适于生成用于照射对象(114)的至少一个光束(146),其中,照射源(144)的出射光瞳与光轴(142)偏离距离BL;至少一个第一光接收光纤(120、126)和至少一个第二光接收光纤(120、124),其中,每个光接收光纤(120、126、128)包括至少一个包层(136)和至少一个纤芯(134),其中,第一光接收光纤(120、122)具有纤芯直径d1,其中,第二光接收光纤(120、124)具有纤芯直径d2,其中,比率d1/BL在范围0.000047≤d/BL≤313内,和/或其中,比率d2/BL在范围0.000047≤d2/BL≤313内;至少两个光学传感器(126、128),其中,至少一个第一光学传感器(126)被布置在第一光接收光纤(120、122)的出射端处,并且至少一个第二光学传感器(128)布置在第二光接收光纤(120、124)的出射端处,其中,每个光学传感器(126、128)具有至少一个光敏区域(147),其中,每个光学传感器(126、128)被设计为响应于已经穿过相应的光接收光纤(120、122、124)的光束对其相应的光敏区域(148)的照射而生成至少一个传感器信号;至少一个评估装置(150),其被配置用于通过评估来自传感器信号的组合信号Q来确定对象(114)的至少一个纵坐标z。
    • 59. 发明公开
    • 用于至少一个对象的光学检测的检测器
    • CN110291418A
    • 2019-09-27
    • CN201880010677.X
    • 2018-02-07
    • 特里纳米克斯股份有限公司
    • C·朗根施密德C·邦西诺A·汉德瑞克I·布鲁德R·森德
    • G01S17/42H01L51/42H01L31/0256G01S5/16G01S7/481
    • 提出了用于至少一个对象(112)的光学检测的检测器(110)。检测器(110)包括:至少一个光学传感器,其中光学传感器具有至少一个传感器区域(130),其中光学传感器被设计为以取决于入射调制光束(132)对传感器区域(130)的照射的方式产生至少一个传感器信号,其中传感器信号取决于光束(132)的调制频率,其中传感器区域(130)包括至少一个电容器件(134),电容器件(134)包括至少两个电极(166,174),其中至少一个绝缘层(178)和至少一个光敏层(180)嵌入在电极(166,174)之间,其中至少一个电极(166,174)是对光束(132)至少部分光学透明的;以及至少一个评估设备(150),其中评估设备(150)被设计为通过评估传感器信号来产生关于对象(112)的位置的至少一项信息。特别地,光学传感器可以是纵向光学传感器(114),其被设计为产生至少一个纵向传感器信号,其中在给定相同的总照射功率的情况下,纵向传感器信号还取决于光束(132)在传感器区域(130)中的光束横截面,其中评估设备(150)被设计成通过评估纵向传感器信号产生关于对象(112)的纵向位置的至少一项信息。替代地或另外地,光学传感器可以是横向光学传感器(160),其中电极(166,174)中的一个是具有低电导率的电极层(222),其用于确定入射光束(132)照射传感器区域(130)的位置,其中横向光学传感器(160)被设计成取决于入射光束(132)照射传感器区域(130)的位置产生至少一个横向传感器信号,其中评估设备(150)被设计成通过评估横向传感器信号产生关于对象(112)的横向位置的至少一项信息。因此,提供了一种用于精确确定空间中至少一个对象的位置的简单且仍然有效的检测器,其表现出所提取的ac光电流随着的入射光斑尺寸的变化的强非线性行为并且另一方面允许容易制备。