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1. 发明申请

WO2012037540A2 MICROMACHINED MONOLITHIC 3-AXIS GYROSCOPE WITH SINGLE DRIVE 审中-公开
标题翻译：具有单驱动的MICROMACHINED单声道三轴陀螺仪
公开(公告)号：WO2012037540A2
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：PCT/US2011/052065
申请日：2011-09-18
申请人： FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORPORATION , ACAR, Cenk
发明人： ACAR, Cenk
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , B81B3/00
CPC分类号： H01L29/84 , B81B7/04 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , B81B2207/094 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0848
摘要： This document discusses, among other things, a cap wafer and a via wafer configured to encapsulate a single proof-mass 3-axis gyroscope formed in an x-y plane of a device layer. The single proof-mass 3-axis gyroscope can include a main proof-mass section suspended about a single, central anchor, the main proof-mass section including a radial portion extending outward towards an edge of the 3-axis gyroscope sensor, a central suspension system configured to suspend the 3-axis gyroscope from the single, central anchor, and a drive electrode including a moving portion and a stationary portion, the moving portion coupled to the radial portion, wherein the drive electrode and the central suspension system are configured to oscillate the 3-axis gyroscope about a z-axis normal to the x-y plane at a drive frequency.
摘要翻译：本文件尤其讨论了盖晶片和通孔晶片，其被配置为封装形成在器件层的x-y平面中的单个校准质量3轴陀螺仪。单个质量3轴陀螺仪可以包括悬挂在单个中心锚杆上的主要质量部分，主要质量部分包括朝向3轴陀螺仪传感器的边缘向外延伸的径向部分，中心悬架系统，其被配置为将三轴陀螺仪从单个中心锚固件悬挂起来;以及驱动电极，其包括移动部分和固定部分，所述移动部分联接到所述径向部分，其中所述驱动电极和所述中央悬挂系统被配置以驱动频率使三轴陀螺仪围绕垂直于xy平面的z轴摆动。

2. 发明申请

WO2005068353A1 OPTICAL SCANNING USING VIBRATORY DIFFRACTION GRATINGS 审中-公开
标题翻译：使用振动衍射光栅进行光学扫描
公开(公告)号：WO2005068353A1
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：PCT/SG2005/000013
申请日：2005-01-19
申请人： NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE , ZHOU, Guangya , VJ, Logeeswaran , TAY, Eng Hock Francis , CHAU, Fook Siong
发明人： ZHOU, Guangya , VJ, Logeeswaran , TAY, Eng Hock Francis , CHAU, Fook Siong
IPC分类号： B81B7/02
CPC分类号： H02N1/008 , B33Y30/00 , B81B3/0062 , B81B2201/033 , B81B2201/047 , B81B2203/0109 , B81B2203/056 , G02B26/0808 , G02B26/106
摘要： An optical scanning apparatus includes an in-plane vibratory mass platform (110) having at least one diffraction grating (100) formed thereon as the scanning element, at least one flexure structure (120) that connects the mass platform to at least one fixed support (130), and at least one driving actuator (150) that drives the mass platform (110) into an in-plane vibratory motion (190) which can be rotational and/or translational (190). The apparatus may also be formed by a mass platform (110) having at least one diffraction grating (100) formed thereon as the scanning element, at least one driving actuator (150) connected to the mass platform (110) through at least one flexure structure (120). The driving actuator (150) drives the mass platform (110) into an in-plane vibratory motion (190).
摘要翻译：一种光学扫描装置包括：具有在其上形成有至少一个衍射光栅（100）作为扫描元件的平面内振动质量平台（110），至少一个弯曲结构（120），其将质量平台连接到至少一个固定支撑（130），以及至少一个驱动致动器（150），其驱动所述质量平台（110）进入能够旋转和/或平移的平面内振动运动（190）。该装置还可以由其上形成有至少一个衍射光栅（100）作为扫描元件的质量平台（110）形成，至少一个驱动致动器（150）通过至少一个挠曲件连接到质量平台（110）结构（120）。驱动致动器（150）将质量平台（110）驱动成平面内的振动运动（190）。

3. 发明申请

WO1996035957A1 GIMBALLED VIBRATING WHEEL GYROSCOPE HAVING STRAIN RELIEF FEATURES 审中-公开
标题翻译：具有应变消除特征的GIMBALLED VIBRATING轮式陀螺仪
公开(公告)号：WO1996035957A1
公开(公告)日：1996-11-14
申请号：PCT/US1996006426
申请日：1996-05-08
申请人： THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC.
发明人： THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC. , GREIFF, Paul , ANTKOWIAK, Bernard, M.
IPC分类号： G01P09/04
CPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/0051 , B81B2201/0242 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , G01P15/0802 , G01P15/125
摘要： A gimballed vibrating wheel gyroscope (10) for detecting rotational rates in inertial space. The gyroscope (10) includes a support (20) oriented in a first plane and a wheel assembly (12) disposed over the support (20) parallel to the first plane. The wheel assembly (12) is adapted for vibrating rotationally at a predetermined frequency in the first plane and is responsive to rotational rates about a coplanar input axis (32) for providing an output torque about a coplanar output axis (34). The gyroscope (10) also includes a post assembly (18a, 18b) extending between the support (20) and the wheel assembly (12) for supporting the wheel assembly (12). The wheel assembly (12) has an inner hub (24), an outer wheel (26), and spoke flexures (28a-28d) extending between the inner hub (24) and the outer wheel (26) and being stiff along both the input and output axes (32, 34). A flexure (22a, 22b) is incorporated in the post assembly (18a, 18b) between the support (20) and the wheel assembly inner hub (24) and is relatively flexible along the output axis (34) and relatively stiff along the input axis (32).
摘要翻译：用于检测惯性空间中的旋转速率的万向振动轮陀螺仪（10）。陀螺仪（10）包括在第一平面中定向的支撑件（20）和布置在平行于第一平面的支撑件（20）上方的轮组件（12）。车轮组件（12）适于在第一平面中以预定频率旋转振动，并且响应于围绕共面输入轴线（32）的旋转速度，以提供围绕共面输出轴线（34）的输出扭矩。陀螺仪（10）还包括在支撑件（20）和轮组件（12）之间延伸以支撑轮组件（12）的柱组件（18a，18b）。车轮组件（12）具有内轮毂（24），外轮（26）和在内轮毂（24）和外轮（26）之间延伸的轮辐弯曲件（28a-28d），并且沿两个输入和输出轴（32,34）。弯曲件（22a，22b）被并入在支撑件（20）和轮组件内毂（24）之间的柱组件（18a，18b）中，并且沿着输出轴线（34）相对柔性并沿输入相对较硬轴（32）。

4. 发明申请

WO2019092666A1 DISPOSITIF POUR GUIDAGE EN ROTATION D'UN COMPOSANT MOBILE 审中-公开
公开(公告)号：WO2019092666A1
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：PCT/IB2018/058867
申请日：2018-11-12
申请人： PATEK PHILIPPE SA GENEVE
发明人： LE BRIS, Jean-Baptiste
IPC分类号： G04F7/08 , G04B31/06 , B81B3/00 , G04D3/00
CPC分类号： G04B31/06 , B81B3/0045 , B81B2203/056 , G04B15/14 , G04B31/02 , G04D3/0071 , G04F7/0828
摘要： L'invention concerne un dispositif (1; 2) comprenant un élément fixe (13, 23, 33), un élément mobile (12, 22, 32) et des premier (14) et deuxième (24; 34) organes élastiques reliant l'élément fixe (13, 23, 33) et l'élément mobile (12, 22, 32) et étant agencés pour guider l'élément mobile (12, 22, 32) en rotation par rapport audit élément fixe (13, 23, 33). Chacun des premier (14) et deuxième (24; 34) organes élastiques est agencé pour exercer sur l'élément mobile (12, 22, 32) un moment de rappel élastique sensiblement constant sur une plage prédéterminée de positions angulaires de l'élément mobile (12, 22, 32) par rapport à l'élément fixe (13, 23, 33) d'au moins 10°, les moments de rappel élastique exercés par les premier (14) et deuxième (24; 34) organes élastiques se compensant au moins partiellement dans toute ladite plage prédéterminée. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'un tel dispositif (1; 2), un ensemble horloger comprenant un tel dispositif et un composant horloger solidaire en rotation de l'élément mobile (12, 22, 32), ainsi qu'une pièce d'horlogerie telle qu'une montre-bracelet ou une montre de poche, comprenant un tel ensemble.

5. 发明申请

WO2012037540A3 MICROMACHINED MONOLITHIC 3-AXIS GYROSCOPE WITH SINGLE DRIVE 审中-公开
标题翻译：微型机械单轴三轴陀螺仪
公开(公告)号：WO2012037540A3
公开(公告)日：2012-07-05
申请号：PCT/US2011052065
申请日：2011-09-18
申请人： FAIRCHILD SEMICONDUCTOR , ACAR CENK
发明人： ACAR CENK
IPC分类号： G01C19/56 , B81B3/00 , G01C19/5755 , G01P15/18
CPC分类号： H01L29/84 , B81B7/04 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2203/051 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058 , B81B2207/094 , G01C19/5755 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0848
摘要： This document discusses, among other things, a cap wafer and a via wafer configured to encapsulate a single proof-mass 3-axis gyroscope formed in an x-y plane of a device layer. The single proof-mass 3-axis gyroscope can include a main proof-mass section suspended about a single, central anchor, the main proof-mass section including a radial portion extending outward towards an edge of the 3-axis gyroscope sensor, a central suspension system configured to suspend the 3-axis gyroscope from the single, central anchor, and a drive electrode including a moving portion and a stationary portion, the moving portion coupled to the radial portion, wherein the drive electrode and the central suspension system are configured to oscillate the 3-axis gyroscope about a z-axis normal to the x-y plane at a drive frequency.
摘要翻译：该文献尤其讨论了帽晶片和通孔晶片，其被配置为封装在器件层的x-y平面中形成的单个质量块3轴陀螺仪。单个质量块三轴陀螺仪可以包括悬挂在单个中心锚上的主质量块部分，主质量块部分包括径向部分，该部分朝向三轴陀螺仪传感器的边缘向外延伸，中心悬架系统，所述悬架系统被构造成将所述3轴陀螺仪从所述单个中央锚定件悬置，以及驱动电极，所述驱动电极包括移动部分和静止部分，所述移动部分联接到所述径向部分，其中，所述驱动电极和所述中央悬架系统被配置以驱动频率围绕垂直于xy平面的z轴振荡3轴陀螺仪。

6. 发明申请

WO01087766A3 APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLED CANTILEVER MOTION THROUGH TORSIONAL BEAMS AND A COUNTERWEIGHT 审中-公开
标题翻译：通过扭转杆控制CAN子运动的方法和方法
公开(公告)号：WO01087766A3
公开(公告)日：2002-03-14
申请号：PCT/US2001/015545
申请日：2001-05-15
IPC分类号： B81B3/00 , G02B5/08 , G02B7/182
CPC分类号： B81B3/004 , B81B2201/047 , B81B2203/056 , Y10S359/90
摘要： An optical micro-electromechanical device (20) having a substrate (23) and a mirror assembly suspended above the substrate. The mirror assembly includes a torsional beam (24) and a cantilever (26). The cantilever includes a first end (28) attached to the torsional beam and a second end (30) for supporting a mirror head (32). A connector (34) is attached to the torsional beam and a counterweight (36) is attached to the connector.
摘要翻译：一种光学微机电装置（20），其具有衬底（23）和悬挂在衬底上方的反射镜组件。反射镜组件包括扭转梁（24）和悬臂（26）。悬臂包括附接到扭转梁的第一端（28）和用于支撑镜头（32）的第二端（30）。连接器（34）附接到扭转梁，并且配重（36）附接到连接器。

7. 发明申请

WO2016199780A1 可動反射装置およびこれを利用した反射面駆動システム审中-公开
标题翻译：可移动的反射装置和反射表面驱动系统
公开(公告)号：WO2016199780A1
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：PCT/JP2016/066967
申请日：2016-06-07
申请人：第一精工株式会社
发明人：岡田　和廣 , 江良　聡 , 坂本　真弥 , 池田　義文 , 黒木　省吾 , 緒方　健治
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/0858 , B81B3/00 , B81B3/0051 , B81B3/0062 , B81B2203/0109 , B81B2203/04 , B81B2203/056 , G02B26/08 , G02B26/10 , G02B26/103
摘要：反射層（１６５）が形成された鏡体部（１６０）を、２本のＵ字状アーム部によって枠状の支持部（１１０）の内部に支持する。板状のアーム部（１２０）は固定点（Ｑ１，Ｑ２）間を接続し、板状のアーム部（１３０）は固定点（Ｑ３，Ｑ４）間を接続する。アーム部（１２０）の外側の橋梁体（１２１）の上面には、長手方向軸（Ｌ１）に沿って一対の圧電素子（Ｅ１１，Ｅ１２）が設けられ、内側の橋梁体（１２２）の上面には、長手方向軸（Ｌ２）に沿って単一の圧電素子（Ｅ２０）が設けられている。同様に、アーム部（１３０）の外側の橋梁体（１３１）の上面には、一対の圧電素子（Ｅ３１，Ｅ３２）が設けられ、内側の橋梁体（１３２）の上面には、単一の圧電素子（Ｅ４０）が設けられている。圧電素子（Ｅ１１，Ｅ２０，Ｅ３１，Ｅ４０）には正の駆動信号、圧電素子（Ｅ１２，Ｅ３２）には負の駆動信号を加えると、鏡体部（１６０）が効率的に変位する。
摘要翻译：其中形成有反射层（165）的镜体部（160）通过两个U形臂部支撑在框状支撑部（110）的内部。板状臂部（120）连接固定点（Q1，Q2），板状臂部（130）连接固定点（Q3，Q4）。在臂部（120）的外桥体（121）的上表面上，沿着纵轴（L1）设置一对压电元件（E11，E12），在内桥部（122），沿着纵轴（L2）设置单个压电元件（E20）。类似地，在臂部（130）的外桥体（131）的上表面上设置有一对压电元件（E31，E32），并且在内桥体（132）的上表面上，提供单个压电元件（E40）。当向压电元件（E11，E20，E31，E40）施加正驱动信号，并向压电元件（E12，E32）施加负驱动信号时，镜体部160被有效地移位。

8. 发明申请

WO2015026490A1 MEMS DISPLAY INCORPORATING EXTENDED HEIGHT ACTUATORS 审中-公开
标题翻译： MEMS显示器扩大高度执行器
公开(公告)号：WO2015026490A1
公开(公告)日：2015-02-26
申请号：PCT/US2014/048477
申请日：2014-07-28
申请人： PIXTRONIX, INC.
发明人： DUNN, Tyler A. , BROSNIHAN, Timothy J.
IPC分类号： G02B26/02 , B81B3/00
CPC分类号： G02B26/02 , B81B3/0086 , B81B5/00 , B81B2201/045 , B81B2203/0118 , B81B2203/04 , B81B2203/056 , B81C1/00634 , B81C2201/0161 , G02B26/023 , G02B26/0841
摘要： This disclosure provides systems, methods, and apparatus for a MEMS display incorporating extended height actuators. A light modulating component can be positioned between a substrate and an opposing surface coupled to the substrate. A suspended electrode can be coupled to the light modulating component and suspended between the substrate and the opposing surface. An extended-height electrode can be positioned immediately adjacent to the suspended electrode, and can extend from the substrate up to a height beyond the height of the suspended electrode. The suspended electrode and the extended-height electrode can be configured to move the light modulating component laterally with respect to the substrate.
摘要翻译：本公开提供了用于包括扩展高度致动器的MEMS显示器的系统，方法和装置。光调制组件可以位于衬底和耦合到衬底的相对表面之间。悬挂的电极可以耦合到光调制部件并悬挂在基板和相对的表面之间。延伸高度的电极可以紧邻悬挂的电极定位，并且可以从衬底延伸到高于悬挂电极的高度的高度。悬置电极和延伸高度电极可以被配置为相对于衬底横向移动光调制组件。

9. 发明申请

WO2014107401A1 BIDIRECTIONAL MEMS DRIVING ARRANGEMENT 审中-公开
标题翻译：双向MEMS驱动安排
公开(公告)号：WO2014107401A1
公开(公告)日：2014-07-10
申请号：PCT/US2013/077922
申请日：2013-12-27
申请人： TIMEX GROUP USA, INC.
发明人： STOTZ, Gerhard
IPC分类号： H02N2/00 , H02N2/12
CPC分类号： F16H1/32 , B81B5/00 , B81B2203/056
摘要： A micro-electromechanical system (MEMS) driving arrangement comprising a driven wheel comprising (n) teeth about an outer periphery thereof, an actuator ring around the driven wheel, itself comprising (n) + (x) teeth about an inner periphery thereof, wherein the (n) + (x) teeth of the actuator ring progressively engage and disengage subsets of the (n) teeth of the driven wheel; a driving actuation assembly, coupled to the actuator ring, for driving the actuator ring in a hysteresis-type motion so as to cause rotation of the driven wheel, wherein after one full cycle of engagements and disengagements between selective subsets of the (n) teeth of the driven wheel with selective subsets of the (n)+(x) teeth of the actuator ring, the driven wheel rotates by (x) teeth corresponding to [(360)(x)/(n)]°.
摘要翻译：一种微机电系统（MEMS）驱动装置，包括从其轮绕其外圆周（n）齿的从动轮，围绕从动轮的致动器环，其自身在其内周围包括（n）+（x）个齿，其中致动器环的（n）+（x）齿逐渐地接合和分离从动轮的（n）个齿的子集; 驱动致动组件，其联接到所述致动器环，用于以滞后型运动驱动所述致动器环，从而引起所述从动轮的旋转，其中在所述（n）个齿的选择性子集之间的接合和分离的一个完整周期之后由驱动环的（n）+（x）齿的选择性子集组成的从动轮，从动轮旋转（x）对应于[（360）（x）/（n）]°的齿。

10. 发明申请

WO2007110928A1 可動素子审中-公开
标题翻译：可移动元件
公开(公告)号：WO2007110928A1
公开(公告)日：2007-10-04
申请号：PCT/JP2006/306270
申请日：2006-03-28
申请人：富士通株式会社 , 中村俊二
发明人：中村俊二
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0059 , B81B2201/018 , B81B2201/047 , B81B2203/0109 , B81B2203/0181 , B81B2203/053 , B81B2203/055 , B81B2203/056 , B81B2203/058
摘要： A movable element which can achieve miniaturization of submicron level, high speed operation, simplification of fabrication process, cost reduction, and high reliability simultaneously. The movable element has a basic structure comprising a lower electrode and a basic conductive layer secured onto a substrate, respectively, an elastic shaft of carbon nanotube standing with the lower end secured onto the basic conductive layer, and an upper structural body including an upper electrode secured to the upper end of the elastic shaft while spaced apart from the lower electrode, wherein the upper electrode is displaced from the lower electrode by Coulomb force acting between the both electrodes within an allowable range of elastic deformation of the elastic shaft.
摘要翻译：可实现亚微米级，高速运转小型化，制造工艺简化，成本降低，高可靠性的可移动元件。可移动元件具有基本结构，其包括分别固定在基板上的下电极和基本导电层，固定在基本导电层上的下端的碳纳米管的弹性轴以及包括上电极的上结构体固定到弹性轴的上端，同时与下电极间隔开，其中上电极通过在弹性轴的弹性变形的允许范围内作用在两电极之间的库仑力从下电极移位。

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