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电镀装置

阅读：981发布：2020-05-12

IPRDB可以提供电镀装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明披露了电镀至少一块基板的装置，包括槽钢，两个阳极，至少一个电解槽和两个聚四氟乙烯薄片或多个基本上刚性的聚丙烯板，在该装置中，槽钢支撑基板并与其有电导通的关系，电解槽装有阳极、槽钢和电解液，其中，在工作中，在槽钢和阳极之间的电解液中存在电场，聚四氟乙烯薄片或聚丙烯板可移动，以改变流过槽钢和阳极之间的电流量。，下面是电镀装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种至少电镀一块基板的装置，其包括至少一个阳极装置，至少一个阻挡装置，至少一个容器，及能够将所述基板支撑在所述容器内并且能够与所述基板有电导通关系的支撑装置，其特征在于，所述容器容纳所述至少一个阳极装置，所述支撑装置和所述至少一个阻挡装置，及所述容器能够容纳电解液；其中在工作中，在所述支撑装置和所述至少一个阳极装置之间的所述电解液中存在电场，其中所述阻挡装置能够通过所述支撑装置移动以改变通过所述支撑装置和所述至少一个阳极装置之间的电流量，及其中所述阻挡装置能够定位在所述支撑装置和所述至少一个阳极装置之间并且能够在第一位置和第二位置之间移动，其中在所述第一位置所述阻挡装置大体水平，而在第二位置其大体向下延伸。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述阻挡装置是可移动的，以改变流过所述支撑装置的底部与所述阳极装置之间的电流量。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述阻挡装置基本上由电绝缘材料制造。

4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述绝缘材料是聚四氟乙烯。

5.如上述任何一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述阻挡装置包括多个薄片部件。

6.如上述任何一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述薄片部件可相互分开地移动。

7.如上述任何一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述阻挡装置是有弹性的。

8.如权利要求1至3中任何一项所述的装置，其特征在于，所述阻挡装置包括多个基本上刚性的阻挡部件。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述装置包括至少两块板，每块板与至少一个阻挡部件铰接啮合。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，各所述阻挡部件相对于与其铰接啮合的板可枢轴移动。

11.如权利要求8至10中任一项所述的装置，其特征在于，所述阻挡部件基本上由聚丙烯制造。

说明书全文

技术领域

本发明涉及电镀装置，特别是涉及对电镀的基板例如印刷电路板上金属的均匀分布进行改进的装置。

背景技术

美国专利No.4879007披露了用于电解槽的浮动防护板。该防护板包括把基板装入其中进行电镀的长槽钢。该基板沿垂直面固定在槽钢中，使基板的下边缘在槽钢的上边缘面以下。把一对阳极浸入电解槽，各自与浮动防护板的纵轴平行地延伸。利用一个或多个夹具，把装在槽钢中的基板与阴极母线连接。工作中，电流通过在槽中装入的电解液流过阳极和阴极母线之间，从而电镀基板。
当电镀厂从制造厂定购电镀装置时，必须特别指明准备用该装置电镀的基板的“板尺寸”。在这方面，“板尺寸”指当把基板沿垂直面固定时基板的垂直长度。在相对场中常规的作法是这样设置浮动防护板的深度，使基板的顶部边缘距电解槽的顶部边缘固定距离。因此，制造厂将设置电解槽的尺寸、阳极和电解槽中槽钢的高度，以便获得令人满意和均匀的电镀效果。实际上，可以发现，如果在电解槽中电镀比预定板尺寸短的板尺寸基板，那么基板的下边缘会出现“过电镀”。这种情况被称为“边缘效应”，它是指在基板的下边缘上或围绕基板的下边缘淀积的金属厚于在基板的其余部分淀积的金属。
当通过改变在各电镀任务中使用的阳极来降低这种“边缘效应”时，由于在单罐中阳极可能超过四十个，并且阳极很重，所以更换阳极是很困难的和不现实的。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供减轻上述缺陷的改进的电镀装置，或至少为本行业提供一个有用的可采用的方案。
按照本发明，提供一种至少电镀一块基板的装置，其包括至少一个阳极装置，至少一个阻挡装置，至少一个容器，及能够将所述基板支撑在所述容器内并且能够与所述基板有电导通关系的支撑装置，其特征在于，所述容器容纳所述至少一个阳极装置，所述支撑装置和所述至少一个阻挡装置，及所述容器能够容纳电解液；其中在工作中，在所述支撑装置和所述至少一个阳极装置之间的所述电解液中存在电场，其中所述阻挡装置能够通过所述支撑装置移动以改变通过所述支撑装置和所述至少一个阳极装置之间的电流量，及其中所述阻挡装置能够定位在所述支撑装置和所述至少一个阳极装置之间并且能够在第一位置和第二位置之间移动，其中在所述第一位置所述阻挡装置大体水平，而在第二位置其大体向下延伸。
所述阻挡装置可方便地移动，以改变通过所述支撑装置底部和所述阳极装置之间的电流量。
所述阻挡装置基本上适于由电绝缘材料制造。
所述绝缘材料可以是聚四氟乙烯。
所述阻挡装置可包括多个薄片部件。
所述薄片部件适于可相互离开的移动。
所述阻挡装置最好有弹性。
所述阻挡装置可以包括多个基本上刚性的阻挡部件。
所述装置适于包括至少两块板，每块板与至少一个阻挡部件铰接啮合。
所述阻挡部件相对于与其铰接啮合的板可便利地枢轴移动。
所述阻挡部件可方便地用聚丙烯制造。

附图说明

下面，利用实例和附图说明本发明，其中：
图1是表示按照本发明第一实施例的电镀装置的剖面图，在该装置中槽钢内装有垂直长度为18英寸的基板；
图2是表示用于本发明的聚丙烯隔膜的侧视图；
图3是表示图1所示的电镀装置的剖面图，在该装置中槽钢内装有垂直长度为21英寸的基板；
图4是表示图1所示的电镀装置的剖面图，在该装置中槽钢内装有垂直长度为24英寸的基板；
图5是表示按照本发明第二实施例的电镀装置的剖面图，在该装置中槽钢内装有垂直长度为18英寸的基板；
图6是表示图5所示的电镀装置的剖面图，在该装置中槽钢内装有垂直长度为21英寸的基板；
图7是表示图5所示的电镀装置的剖面图，在该装置中槽钢内装有垂直长度为24英寸的基板；
图8A和8B是分别表示用于图5所示的电镀装置中的侧板的侧视图和端视图；
图9A和9B是分别表示用于图5所示的电镀装置中的阻挡板的侧视图和端视图；和
图10是表示图5所示的电镀装置中侧板和阻挡板之间啮合的透视图。

具体实施方式

如图1所示，按照本发明第一实施例的电镀装置一般如10所示。该电镀装置10包括电解槽12，其中装有电解液，为清楚起见在这些图的任一幅中都未示出电解液。两行阳极16悬挂在电解槽12的上边缘14上，图中仅示出了两个阳极。槽钢18在电解槽12内，它可以下降到电解槽12 中或从其中升起。槽钢18包括多个接收板20，图中仅示出了其中的一个。各接收板20包括V形缺口，在该缺口中可接收待电镀基板24例如印刷电路板的下边缘22，以便基板24被固定在大体垂直的面上。在图1中，基板24的垂直长度是18英寸。槽钢18的两侧是电绝缘的聚丙烯隔膜26，其细节如图2所示，并在下面说明。各聚丙烯隔膜26与横跨电解槽12长度延伸的弹性的并且电绝缘的聚四氟乙烯薄片28连接。聚四氟乙烯薄片 28在电解槽12中呈现出大致水平的结构。聚四氟乙烯薄片28的厚度约 0.5mm。
槽钢18包括两个侧板30，当垂直长度为18英寸的基板24被装入接收板20上时，正好接触和压在聚四氟乙烯薄片28的上表面上。
转到图2，所示的聚丙烯隔膜26包括外部密封的电绝缘的聚丙烯框架 32，带有横跨内部敞口区域延伸的由电绝缘聚丙烯网眼材料制造的穿孔布 34。在本图中，为了清晰的目的，仅在布34的某些区域(五个圆的区域) 示出穿孔。但是，应该指出，整个布34是穿孔的。显然，利用这种设置，在电场能够穿过穿孔布34存在时，电场则不穿过聚丙烯框架32。聚丙烯隔膜26有效地把电解槽12分成中央的“阴极室”和两个外边的“阳极室”。穿孔布34上的孔的大小如此设置使其能防止例如阳极残渣之类的微粒从通道进入中央的“阴极室”，同时允许其内的电解液自由移动。
从图1可看出，尽管电场(以不规则线表示)横跨聚丙烯隔膜26存在，但由于该电场被聚四氟乙烯薄片28和/或聚丙烯框架32阻断，所以没有电流可从槽钢18的底部36下流过。由于到达基板24下端的电流量被降低，所以在该区域上淀积较少的金属，因此减小了“边缘效应”。
转向图3，表示按照本发明的相同电镀装置10。由槽钢18的接收板20 接收的基板24现在的垂直长度为21英寸。可以看出，当一些电流在阳极 16和基板24下部之间流过时，部分电流被聚丙烯隔膜26的密封电绝缘聚丙烯框架32阻断。还可看出，当槽钢18下降到电解槽12中，侧板30 推动聚四氟乙烯薄片28相互离开。由于其弹性，当槽钢18从电解槽12 中升起时，例如在电镀之后，聚四氟乙烯薄片28将重回其位置，如图1 所示。如图3所示，侧板30与聚四氟乙烯薄片28接触，使得在侧板30 和聚四氟乙烯薄片28之间没有电流能够经过的间隙。但是，与图1中的情况相比，在阳极16和基板24的下部之间流过更大的电流。
图4表示按照本发明的又一相同的电镀装置10。由槽钢18的接收板20 接收的基板24此时的垂直长度是24英寸。可以看出，槽钢18更靠近电解槽12的底部。随着槽钢18向电解槽12底部的进一步下降，槽钢18的两行销子38(为清楚起见这里仅示出两个)推动聚四氟乙烯薄片28进一步相互离开，以便使侧板30和聚四氟乙烯薄片28之间存在间隙。如图4 的清楚地表示的那样，在阳极16和槽钢18的下部36之间流过较图1所示实施例中更大的电流。
图5中符号100表示第二实施例的电镀装置。除了弹性的聚四氟乙烯薄片28被多个由聚丙烯制成的刚性的电绝缘阻挡板102代替外，电镀装置100的结构基本上与图1至4所示的电镀装置10相同，下面说明其结构。
如图5至图7所示，阻挡板102基本上以与弹性的聚四氟乙烯薄片28 相同的方式工作，在槽钢104向下沉入时能够被推动使其相互离开。阻挡板102的密度这样设定，使其浮动和在电解液中处于如图5所示的位置，只是槽钢104可对该阻挡板102施加影响。
图8A和8B表示带有可以与阻挡板102啮合的侧板106。侧板106包括用四根棒110固定的背板108。侧板106包括用于增强的将其固定在装置100上的四个孔112。图9A和9B表示还包括棒114的阻挡板102。如图10所示，各阻挡板102的棒114可以与其中一个棒110啮合，以便当槽钢104对其产生作用时能够使阻挡板102相对于侧板106旋转。
根据上述说明，可以明白，依据本发明的电镀装置的性能是多方面的和灵活的，能够在板尺寸的较宽范围内提供令人满意的基板电镀性能。
但是，应该指出，本发明并不限于上述说明的实施例，在不脱离本发明精神的范围内，可进行各种变更和替换。

标题	发布/更新时间	阅读量
电镀装置-专利编号CN1865519B	2020-05-11	562
镀膜装置-专利编号CN1422340A	2020-05-12	72
电镀装置-专利编号CN102851723A	2020-05-11	664
镀膜装置-专利编号CN1227384C	2020-05-12	73
电镀装置-专利编号CN102851723B	2020-05-13	252
电镀装置-专利编号CN1126829C	2020-05-12	981
镀覆装置-专利编号CN104651812B	2020-05-13	550
电镀装置-专利编号CN1831209A	2020-05-11	1028
镀铜液-专利编号CN103748269B	2020-05-11	999
电镀方法-专利编号CN110735158A	2020-05-13	447

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