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流体控制阀

阅读：1062发布：2020-09-23

IPRDB可以提供流体控制阀专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种流体控制阀，能防止污染通过流体控制阀的流体，并能防止阀体相对于移动方向倾斜或振动。所述流体控制阀包括：阀体6），与阀室（52）的内侧的面隔开规定间隔配置在阀室（52）内，能与设于所述阀室（52）内的阀座4）接触或分离；驱动部件（7），对阀体（6）施加朝向开阀方向的作用力；阀体复位弹簧（8），对阀体6）施加朝向关阀方向的作用力；以及倾斜抑制弹簧（9），对阀体（6）施加朝向消除阀体（6）相对于开关方向的倾斜的方向的作用力。，下面是流体控制阀专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种流体控制阀，控制来自上游流路的流体并使该流体向下游流路流出，所述流体控制阀的特征在于包括：阀体，与阀室内侧的面隔开规定间隔配置在该阀室内，并且设置为能与设于所述阀室内的阀座接触或分离；

驱动部件，对所述阀体施加朝向开阀方向的作用力；

阀体复位弹簧，对所述阀体施加朝向关阀方向的作用力；以及倾斜抑制弹簧，对所述阀体施加朝向消除所述阀体相对于开关方向的倾斜的方向的作用力，所述阀体复位弹簧是板簧，

所述倾斜抑制弹簧是板簧，

所述阀体复位弹簧和所述倾斜抑制弹簧设置在所述阀体的外侧周面的侧方，与所述阀体的外周部分接触地支撑所述阀体。

2.一种流体控制阀，控制来自上游流路的流体并使该流体向下游流路流出，所述流体控制阀的特征在于包括：阀体，与阀室的内侧的面隔开规定间隔配置在该阀室内，并且设置为能与设于所述阀室内的阀座接触或分离；

驱动部件，对所述阀体施加朝向关阀方向的作用力；

阀体复位弹簧，对所述阀体施加朝向开阀方向的作用力；以及倾斜抑制弹簧，对所述阀体施加朝向消除所述阀体相对于开关方向的倾斜的方向的作用力，所述阀体复位弹簧是板簧，

所述倾斜抑制弹簧是板簧，

所述阀体复位弹簧和所述倾斜抑制弹簧设置在所述阀体的外侧周面的侧方，与所述阀体的外周部分接触地支撑所述阀体。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制阀，其特征在于，所述倾斜抑制弹簧包括：呈环状的主体部，与所述阀体侧或所述阀室的内侧的面侧的一方接触设置；以及多个突出部，从所述主体部伸出，并且与所述阀体侧或所述阀室的内侧的面侧的另一方接触设置。

4.根据权利要求3所述的流体控制阀，其特征在于，所述多个突出部相互呈相同形状，并且在周向上等间隔地形成。

5.根据权利要求1或2所述的流体控制阀，其特征在于，所述阀体复位弹簧对靠近所述阀体的中心轴的中央侧施加作用力，所述倾斜抑制弹簧对相对于所述阀体的中心轴位于比所述中央侧靠外侧的周围侧施加作用力。

6.根据权利要求3所述的流体控制阀，其特征在于，所述阀体复位弹簧对靠近所述阀体的中心轴的中央侧施加作用力，所述倾斜抑制弹簧对相对于所述阀体的中心轴位于比所述中央侧靠外侧的周围侧施加作用力。

7.根据权利要求4所述的流体控制阀，其特征在于，所述阀体复位弹簧对靠近所述阀体的中心轴的中央侧施加作用力，所述倾斜抑制弹簧对相对于所述阀体的中心轴位于比所述中央侧靠外侧的周围侧施加作用力。

说明书全文

流体控制阀

技术领域

[0001] 本发明涉及用于例如控制气体流量的质量流量控制器等的流体控制阀。

背景技术

[0002] 所谓流体控制阀是指，通过安装在上游流路和下游流路之间，控制在所述流路中流动的流体的流量，或者打开或关闭。例如，作为对用于半导体处理的气体的流量进行控制的流体控制阀，公知的有专利文献1所示结构的流体控制阀。

[0003] 例如如专利文献1的图7所示，常闭型的流体控制阀包括：阀体，配置在形成在主体上的阀室内，并且设置为能与设置在所述阀室内的阀座接触或分离；驱动部件，对所述阀体施加朝向开阀方向的作用力；以及阀体复位弹簧，对所述阀体施加朝向关阀方向的作用力。

[0004] 此外，为了防止流体受到污染，所述流体控制阀的阀体与包围该阀体侧面的包围面之间形成有间隙，不仅不需要润滑油，而且阀体与包围面也不会发生磨损。

[0005] 现有技术文献

[0006] 专利文献1：日本专利公开公报特开2010-230159号

[0007] 可是，由于阀体与包围面之间存在间隙，所以因从流体受到的压力的影响等，会产生下述问题：在开关动作中阀体相对于阀体的开关方向倾斜或阀体产生振动，从而导致由驱动部件调整的阀开度发生误差。此外，存在下述问题：因阀体振动，导致该阀体与周围部件接触而产生振动噪音，此外由于与周围部件接触而导致阀体或周围部件磨损或破损。

发明内容

[0008] 本发明是用于一举解决所述的问题而做出的发明，本发明的主要目的是提供一种流体控制阀，该流体控制阀能够防止污染通过流体控制阀的流体，并且能够防止阀体相对于移动方向倾斜或振动。

[0009] 即，本发明提供一种流体控制阀，控制来自上游流路的流体并使该流体向下游流路流出，所述流体控制阀的特征在于包括：阀体，与阀室内侧的面隔开规定间隔配置在该阀室内，并且设置为能与设于所述阀室内的阀座接触或分离；驱动部件，对所述阀体施加朝向开阀方向的作用力；阀体复位弹簧，对所述阀体施加朝向关阀方向的作用力；以及倾斜抑制弹簧，对所述阀体施加朝向消除所述阀体相对于开关方向的倾斜的方向的作用力，所述阀体复位弹簧是板簧，所述倾斜抑制弹簧是板簧，所述阀体复位弹簧和所述倾斜抑制弹簧设置在所述阀体的外侧周面的侧方，与所述阀体的外周部分接触地支撑所述阀体。

[0010] 此外，本发明还提供一种流体控制阀，控制来自上游流路的流体并使该流体向下游流路流出，所述流体控制阀的特征在于包括：阀体，与阀室的内侧的面隔开规定间隔配置在该阀室内，并且设置为能与设于所述阀室内的阀座接触或分离；驱动部件，对所述阀体施加朝向关阀方向的作用力；阀体复位弹簧，对所述阀体施加朝向开阀方向的作用力；以及倾斜抑制弹簧，对所述阀体施加朝向消除所述阀体相对于开关方向的倾斜的方向的作用力，所述阀体复位弹簧是板簧，所述倾斜抑制弹簧是板簧，所述阀体复位弹簧和所述倾斜抑制弹簧设置在所述阀体的外侧周面的侧方，与所述阀体的外周部分接触地支撑所述阀体。

[0011] 按照所述的流体控制阀，由于通过倾斜抑制弹簧，朝向消除阀体相对于开关方向的倾斜的方向施加作用力，所以可以抑制阀体的倾斜，并且可以防止产生振动，该振动是由于反复进行下述动作而产生的：受流体压力影响产生阀体倾斜或因该倾斜的折返阀体向相反一侧倾斜。由此，可以使开关动作中的阀体的姿态维持为一定的姿态，能够降低由驱动部件调整的阀开度的误差。此外，由于能够防止阀体的振动，所以可以防止因与周围部件接触而产生的噪音、以及阀体和周围部件的磨损及破损。此外，由于阀体复位弹簧与倾斜抑制弹簧分别单独设置，所以可以单独设计阀体复位弹簧的弹簧常数和倾斜抑制弹簧的弹簧常数，使得各弹簧能够充分发挥固有的功能。此外，通过使用阀体复位弹簧和倾斜抑制弹簧，可以加大固有频率，所以能够防止阀体的共振。此外，由于阀体与形成阀室的内侧的面隔开规定间隔配置，所以不存在因阀体与阀室的相对滑动而产生的磨损粉末及润滑油污染流体的问题。

[0012] 作为倾斜抑制弹簧的具体实施方式，优选的是，所述倾斜抑制弹簧包括：呈环状的主体部，与所述阀体侧或所述阀室的内侧的面侧的一方接触设置；以及多个突出部，从所述主体部伸出，并且与所述阀体侧或所述阀室的内侧的面侧的另一方接触设置。按照该方案，由于倾斜抑制弹簧具有多个突出部，所以可以使各突出部容易弹性变形，并可以减小弹簧常数。此外，不管阀体相对于开关方向向哪一方向倾斜，都可以使某个突出部对阀体施加作用力，可以抑制阀体的倾斜。此外，环状的主体部和多个突出部是一体的，不仅能减少零件个数，还能减少组装工时。

[0013] 在此，优选的是，所述多个突出部相互呈相同形状，并且在周向上等间隔地形成。按照该方案，在阀体相对于开关方向未发生倾斜的状态下，可以使各突出部对阀体施加的作用力均匀。即，当阀体发生倾斜时，位于所述倾斜方向上的突出部比其他的突出部发生更大的弹性变形，变成朝向消除倾斜的方向对阀体作用有更大的作用力，从而能够消除倾斜。

[0014] 为了可以容易地通过阀体复位弹簧使阀体可靠地返回被驱动部件移动前的状态，并且加大倾斜抑制弹簧对阀体作用的力矩从而有效地消除阀体的倾斜，优选的是，所述阀体复位弹簧对靠近所述阀体的中心轴的中央侧施加作用力，所述倾斜抑制弹簧对相对于所述阀体的中心轴位于比所述中央侧靠外侧的周围侧施加作用力。在此，为了尽可能加大倾斜抑制弹簧对阀体作用的力矩，优选的是，所述倾斜抑制弹簧对所述阀体的具有最大外径的部分的外周部或该外周部的附近施加作用力。

[0015] 按照所述结构的本发明，能够防止污染通过流体控制阀的流体，并且不仅能够高精度地调节流体控制阀的阀开度，还能够防止因阀体的振动等产生的噪音以及因阀体与周围部件的接触产生的阀体等的破损。

附图说明

[0016] 图1是本发明的第一实施方式的质量流量控制器的整体剖视图。

[0017] 图2是与图1为相同实施方式的流体控制阀的剖视图。

[0018] 图3是与图1为相同实施方式的阀体复位弹簧的俯视图。

[0019] 图4是与图1为相同实施方式的倾斜抑制弹簧的俯视图。

[0020] 图5是本发明的第二实施方式的流体控制阀的剖视图。

[0021] 图6是从接触阀座的面(着座面)观察阀座部件的俯视图。

[0022] 附图标记说明

[0023] 3···流体控制阀

[0024] 4···阀座部件

[0025] 5···主体

[0026] 51(A)···上游流路

[0027] 51(B)···下游流路

[0028] 6···阀体部件

[0029] 7···驱动部件

[0030] 8···阀体复位弹簧

[0031] 9···倾斜抑制弹簧

[0032] 91···主体部

[0033] 92···突出部

具体实施方式

[0034] 下面参照附图说明本发明的流体控制阀的一个实施方式。

[0035] 第一实施方式

[0036] 下面参照附图说明装有本发明的流体控制阀的质量流量控制器100的一个实施方式。

[0037] 如图1所示，本实施方式的质量流量控制器100用于半导体制造装置，质量流量控制器100包括：主体5，形成有流路51，在该流路51中流过作为测量对象的、用于例如半导体处理的气体等流体；流量检测机构2，检测流过所述主体5的流路51的流体的流量；流体控制阀3，控制流过所述流路51的流体的流量；以及控制部(未图示)，控制流体控制阀3的阀开度，以使所述流量检测机构2输出的测量流量接近预定的设定流量。下面详细说明各部分。

[0038] 所述主体5为前述的流路51所贯穿的块状件，所述流路51的上游端作为上游口5A与外部流入配管(未图示)连接，并且下游端作为下游口5B与外部流出配管(未图示)连接。

[0039] 作为流量检测机构2，可以考虑热式、科里奥利式和超音波式等各种流量检测机构，在此采用所谓的热式流量检测机构。该热式流量检测机构2包括：细管21，与所述流路51并联连接，使得导入有流过所述流路51的流体中的规定比例的流体；加热器24，设置在所述细管21上；以及一对温度传感器22、23，分别设置在加热器24的前后。此外，由于当所述细管21中流过流体时，两个温度传感器22、23之间产生与所述流体的质量流量对应的温度差，所以根据该温度差测量流量。

[0040] 在所述实施方式中，设置有长条状的箱体25，该箱体25收容所述细管21、加热器24、温度传感器22、23和它们周围的电路，另一方面，从主体5的流路51起设置一对分支流路
2a、2b，将所述箱体25安装在所述主体5上，由此所述细管21的导入口与上游的分支流路2a连接，并且该细管21的导出口与下游的分支流路2b连接。另外，流量传感器不限于所述方式。

[0041] 流体控制阀3为常闭型，设置在所述流路51上，流体控制阀3包括：作为一对阀部件的阀座部件4和阀体部件6，收容在所述主体5内；以及驱动部件7，驱动所述阀体部件6来设定阀开度亦即阀座部件4与阀体部件6的分离距离。

[0042] 如图2所示，阀座部件4构成阀座，阀座部件4的下侧的面为阀座面4a，阀座部件4呈下侧的面一侧直径小、上侧的面一侧直径大的两段圆柱形状，在阀座部件4的内部形成有多个内部流路41，内部流路41的一端开口于阀座面4a，另一端开口于侧周面。所述多个内部流路41的阀座面4a上的开口形成为同心圆状。

[0043] 所述阀座部件4嵌入圆柱状的凹部52，该凹部52设于主体5。该凹部52以切断主体5的流路51的方式进行配置，在被所述凹部52切断的流路51中，上游的流路(以下也称为上游流路)51(A)开口于例如该凹部52的底面，从凹部52起的下游的流路(以下也称为下游流路)51(B)开口于例如所述凹部52的侧面。另外，所述凹部52形成阀室，在该阀室中配置有构成阀座的阀座部件4和后述的构成阀体的阀体部件6。

[0044] 此外，在将阀座部件4嵌入凹部52的状态下，该阀座部件4的大直径部分与凹部52的内侧周面大体无间隙地嵌合，另一方面，阀座部件4的小直径部分与凹部52的内侧周面之间形成有间隙，主体5的下游流路51(B)通过凹部52的侧周面与所述内部流路41连通。

[0045] 阀体部件6构成阀体，阀体部件6在主体5的凹部52中与所述阀座部件4相对配置，并且不接触凹部52的内侧周面而与该内侧周面隔开规定间隔配置，阀体部件6的上侧的面是大体呈圆板状的接触阀座的面6a。阀体部件6的内部形成有多个内部流路61，内部流路61一端开口于阀体部件6的下侧的面，另一端开口于接触阀座的面6a。所述多个内部流路61的接触阀座的面6a上的开口形成同心圆状，并且与前述的多个内部流路41的阀座面4a上的开口相互不重叠。

[0046] 所述阀体部件6受到驱动部件(驱动部)7的驱动力，从与阀座部件4接触从而切断上游流路51(A)和下游流路51(B)的关闭状态，向离开阀座部件4从而使上游流路51(A)和下游流路51(B)连通的打开状态移动。从关闭状态朝向打开状态的方向，即针对阀体部件6的驱动部件7的驱动力的作用方向为开阀方向。另一方面，从打开状态朝向关闭状态的方向，即与针对阀体部件6的驱动部件7的驱动力的作用方向相反的方向为关阀方向。

[0047] 驱动部件7例如包括：压电堆71，是通过层叠多个压电元件而形成的；以及动作部72，因所述压电堆的伸长而位移。所述压电堆71收容在所述外壳部件74内，其前端部通过中间连接部件73与动作部72连接。本实施方式的动作部72包括：隔板部件721；以及连接棒
722，设置在所述隔板部件721的中心，贯穿所述阀座部件4的中心与阀体部件6抵接。通过施加规定电压使压电堆71伸长，动作部72对阀体部件6施加朝向开阀方向的作用力，阀座面4a离开接触阀座的面6a从而成为打开状态。此外，如果电压是低于规定电压的电压，则阀座面
4a与接触阀座的面6a仅分开与该电压值对应的距离。通过分开的间隙，上游流路51(A)与下游流路(B)连通。

[0048] 此外，在阀体部件6上接触设置有阀体复位弹簧8，该阀体复位弹簧8对所述阀体部件6施加朝向关阀方向的作用力，通过所述阀体复位弹簧8，在驱动部件7上未施加电压的通常状态下，阀体部件6为关闭状态。

[0049] 所述阀体复位弹簧8是板簧，阀体复位弹簧8支承在弹簧引导部件10上，该弹簧引导部件10收容在主体5的凹部52内，如图3所示，所述阀体复位弹簧8包括：外环部81，与弹簧引导部件10接触设置；内环部82，与阀体部件6接触设置；以及多个弹簧部83，连接所述外环部81和所述内环部82。所述多个弹簧部83在周向上等间隔配置，并且为了尽可能加大弹簧部83的长度，弹簧部83以各弹簧部83的外环侧连接部分与内环侧连接部分在周向上处于不同的位置的方式沿径向弯曲。另外，只要能对阀体部件6施加作用力，则阀体复位弹簧8可以使用板簧以外的弹性体。弹性体可以直接或间接对阀体部件6施加作用力。

[0050] 弹簧引导部件10是截面为凹形的大体呈旋转体形状的部件，用于在所述凹部52内支承阀体复位弹簧8，在弹簧引导部件10的底壁上形成有开口部10x，该开口部10x与在凹部52的底面上开口的上游流路51(A)连通，弹簧引导部件10的侧周壁的上端部与阀座部件4的周向边缘部接触。此外，所述阀体复位弹簧8设于弹簧引导部件10的内侧周面。在本实施方式中，阀体部件6收容在由阀座部件4和弹簧引导部件10形成的空间内。此外，阀体部件6配置成从弹簧引导部件10的内侧周面离开规定间隔，阀体部件6的外侧周面从与该外侧周面相对的弹簧引导部件10的内侧周面离开。

[0051] 此外，本实施方式的流体控制阀3包括倾斜抑制弹簧9，该倾斜抑制弹簧9对阀体部件6施加朝向消除阀体部件6相对于开关方向的倾斜的方向的作用力，从而抑制阀体部件6的倾斜。

[0052] 所述倾斜抑制弹簧9是板簧，倾斜抑制弹簧9支承在所述弹簧引导部件10上，如图4所示，所述倾斜抑制弹簧9包括：主体部91，呈圆环板状，与弹簧引导部件10接触设置；以及多个(图4中为四个)突出部92，从所述主体部91的内侧的面向径向内侧延伸，与阀体部件6的外周部分接触而弹性变形。所述多个突出部92相互呈相同形状，且在周向上等间隔地形成。此外，各突出部92在周向上具有相同的突出长度(径向长度)。

[0053] 在阀体部件6从关闭状态向打开状态移动时，所述倾斜抑制弹簧9对阀体部件6施加朝向关阀方向的作用力。即，在从关闭状态向打开状态移动时，阀体部件6被阀体复位弹簧8和倾斜抑制弹簧9双方施加朝向关阀方向的作用力。另外，只要能对阀体部件6施加作用力，则倾斜抑制弹簧9可以使用板簧以外的弹性体。弹性体可以对阀体部件6直接或间接施加作用力。

[0054] 在此，如图2所示，阀体复位弹簧8对靠近阀体部件6的中心轴的中央侧下侧的面施加作用力，倾斜抑制弹簧9对周围侧下侧的面施加作用力，该周围侧下侧的面相对于阀体部件6的中心轴，位于比阀体复位弹簧8施加作用力的中央侧更靠外侧。即，在阀体部件6中，阀体复位弹簧8的内环部82的接触位置为内径一侧，倾斜抑制弹簧9的突出部92的接触位置为外径一侧。更具体而言，阀体复位弹簧8接触形成在阀体部件6的下侧的面上的小直径的阀体复位弹簧用台阶部62，倾斜抑制弹簧9接触大直径的倾斜抑制弹簧用台阶部63，该倾斜抑制弹簧用台阶部63在阀体部件6上，形成在比所述阀体复位弹簧用台阶部62更靠上侧的面一侧。此外，阀体复位弹簧8和倾斜抑制弹簧9配置为同心状，并且以阀体复位弹簧8在下侧、倾斜抑制弹簧9在上侧的方式固定于弹簧引导部件10。这样，仅仅将所述的阀体复位弹簧8和倾斜抑制弹簧9安装到弹簧引导部件10上，并把该弹簧引导部件10收容在主体5的凹部52内，就可以配置所述的阀体复位弹簧8、倾斜抑制弹簧9，所以组装操作变得容易。另外，也可以将阀体复位弹簧8和倾斜抑制弹簧9安装在阀体部件6上，并将安装有所述阀体复位弹簧弹簧8、倾斜抑制弹簧9的阀体部件6收容在凹部52内。

[0055] 此外，当阀体部件6相对于开关方向发生倾斜时，倾斜抑制弹簧9的位于倾斜方向上的突出部(例如图4中的突出部92a)的变形大于其他的突出部92(例如图4中的突出部92b～92d)，该突出部92a的弹性恢复力大于其他的突出部92b～92d的弹性恢复力，作为阀体部件6整体被施加朝向消除所述倾斜的方向的作用力(被施加与倾斜方向相反方向的力矩)，由此阀体部件6的倾斜被消除。

[0056] 此外，倾斜抑制弹簧9的板厚比阀体复位弹簧8的板厚薄。倾斜抑制弹簧9的主要目的在于消除阀体部件6的倾斜，需要在尽可能远离阀体部件6的中心轴的部位(周向边缘部)施加作用力，从而需要缩短突出部92的径向长度。因此，为了使突出部92容易弹性变形，倾斜抑制弹簧9需要成为薄的板厚。另一方面，阀体复位弹簧8的主要目的在于使阀体部件6向关阀方向返回，不仅需要加大机械强度，而且为了可靠地对阀体部件6施加朝向关阀方向的作用力而需要加厚。此外，即使阀体复位弹簧8的板厚加大，由于对阀体部件6施加作用力的部位没有特别限定，所以可以加大弹簧部83的长度从而可以使弹性变形达到规定的大小，并且也不会对由驱动部件7引起的阀体部件6的动作造成障碍。另外，为了加大机械性强度和弹簧常数，阀体复位弹簧8的弹簧部83需要加长，因此需要将内环部82设置为靠近阀体部件6的中央。

[0057] 按照所述结构的本实施方式的质量流量控制器100，由于对阀体部件6施加朝向消除阀体部件6倾斜的方向的作用力，所以能抑制阀体部件6的倾斜，因此可以防止因受到流体压力影响而产生的阀体部件6的倾斜或振动。由此，可以在开关动作中将阀体部件6的姿态维持为一定的姿态，能够通过驱动部件7高精度地进行阀开度的调整，从而可以高精度地进行流体的流量控制。此外，由于能防止阀体部件6的振动，所以能够防止因接触周围部件而产生的振动噪音，并且能够防止因接触周围部件而导致阀体部件6及周围部件磨损和破损。此外，由于阀体复位弹簧8和倾斜抑制弹簧9分别单独设置，所以可以独立设计阀体复位弹簧8的弹簧常数和倾斜抑制弹簧9的弹簧常数，从而能够充分发挥阀体复位弹簧8、倾斜抑制弹簧9各弹簧的功能。此外，通过使用阀体复位弹簧8和倾斜抑制弹簧9可以加大固有频率，能够防止阀体部件6的共振。而且，由于阀体部件6与形成阀室的内侧的面隔开规定间隔配置，所以不存在因阀体部件6与阀室之间的滑动而产生的磨损粉末以及润滑油污染流体的问题。

[0058] 此外，由于内部流路41的开口在阀座面4a上形成有多个，并且内部流路61的开口在接触阀座的面6a上形成有多个，所以因流入各开口的流体流量的差异或从各开口流出的流体流量的差异，会导致作用在接触阀座的面6a或阀座面4a上的流体压力产生不均。由此，尽管认为这会诱发阀体部件6的倾斜或振动，但是由于设有倾斜抑制弹簧9，所以可以很好地解决该问题。

[0059] 第二实施方式

[0060] 该第二实施方式的流体控制阀3为常开型阀，与所述第一实施方式不同的是：阀座部件4和阀体部件6的配置相反。另外，对与所述第一实施方式对应的部件标注了相同的附图标记。

[0061] 如图5所示，在驱动部件7一侧设有由该驱动部件7移动的阀体部件6，在该阀体部件6的与驱动部件7相反的一侧亦即主体5一侧设有阀座部件4。此外，所述阀座部件4和阀体部件6嵌入凹部52，该凹部52设置于主体5。该凹部52与所述第一实施方式相同，以切断主体5的流路51的方式配置。

[0062] 在驱动部件7上不施加电压的通常状态下，阀体部件6受到周围的弹性体(此处为板簧)的作用力，处于离开阀座部件4的打开状态，当在驱动部件7上施加电压使驱动部件7伸长时，阀体部件6向关阀方向移动，阀体部件6与阀座部件4紧密接触成为关闭状态。

[0063] 按照所述结构的本实施方式的流体控制阀3，在所述实施方式的效果以外，即使将作为驱动部件7的动作部72的隔板部件721直径减小，也可以将该隔板部件721的位移传递给阀体部件6，从而可以解决以往将隔板部件721作为阀体部件使用的常开型流量控制阀存在的问题，可以使阀座部件4直径加大，所以能够实现大流量化。

[0064] 此外，如图6所示，所述第一实施方式和第二实施方式的阀座部件4的阀座面4a上，以同心圆状的方式形成有多重(图6中为四重)圆环状的有底槽4M。分隔该有底槽4M的凸条的上侧的面与阀体部件6接触。此外，在有底槽4M的底面上形成有内部流路41的开口。

[0065] 由于形成在阀座面4a上的凸条的上侧的面与接触阀座的面6a接触，所以可以减小阀座面4a与接触阀座的面6a的接触面积，即使在驱动部件7的按压力小的情况下也可以提高关闭性。此外，因接触面积小，所以能降低压力损失。

[0066] 如上所述，由于在形成为同心圆状的每个有底槽4M上形成有内部流路的开口，因此实际上可以视为从直径与有底槽4M的外径相同的开口流入流体，在降低压力损失的同时，可以流过大流量的流体。另外，同样地，在接触阀座的面6a上也可以以同心圆状的方式形成多重的圆环状有底槽。

[0067] 另外，本发明不限于所述实施方式。例如，所述各实施方式为流量控制阀，但是本发明也可以用于ON/OFF开关阀。此外，驱动部件不限于压电式，也可以使用电磁线圈等。此外，不限于组装有流体控制阀的质量流量控制器，也可以由流体控制阀单独构成。此外，作为流体控制阀，可以是控制流体的压力的压力控制阀。

[0068] 此外，所述实施方式的倾斜抑制弹簧，与阀体复位弹簧相同，对阀体部件施加朝向与驱动部件的驱动力相反一侧(开阀方向或关阀方向)的作用力，但是倾斜抑制弹簧也可以与阀体部件的侧周面接触，从垂直于阀体部件的开关方向的方向施加作用力。此时，优选的是，在轴向的上下两个部位配置倾斜抑制弹簧。

[0069] 此外，所述实施方式的倾斜抑制弹簧的主体部与阀室侧(具体为弹簧引导部件)接触设置，突出部与阀体部件接触设置，但是也可以反过来配置，即：倾斜抑制弹簧的主体部与阀体部件接触设置，突出部与阀室侧(具体为弹簧引导部件)接触设置。此外，还可以将多个倾斜抑制弹簧配置在周向上。此外，可以不使用弹簧引导部件，而是将阀体复位弹簧或倾斜抑制弹簧与形成于主体的凹部接触设置。

[0070] 此外，如果着眼于消除阀体部件相对于开关方向的倾斜，则也可以不具备阀体复位弹簧。在该情况下，优选的是，倾斜抑制弹簧对阀体部件的具有最大外径部分的外周部或该外周部附近施加作用力。由此，可以尽可能地加大对阀体部件作用的力矩，能够很好地消除阀体部件相对于开关方向的倾斜。

[0071] 此外，可以恰当地组合前述实施方式和变形实施方式的一部分或全部，此外本发明不限于所述实施方式，在不脱离本发明技术思想的范围内当然可以进行各种变形。

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一种减压控制阀阀体-专利编号CN102563165A	2020-05-12	888
电动控制阀装配工装-专利编号CN110788618A	2020-05-13	375
控制阀-专利编号CN106979356A	2020-05-11	157
使用寿命长的控制阀-专利编号CN106286853A	2020-05-13	99
新型降速控制阀-专利编号CN103375616A	2020-05-11	580
一种控制阀阀座-专利编号CN102537511A	2020-05-11	75
组合式多通道控制阀-专利编号CN109442066A	2020-05-13	184
直通式控制阀-专利编号CN106286957B	2020-05-11	202
直通式控制阀-专利编号CN106286957A	2020-05-12	482
控制阀-专利编号CN204922019U	2020-05-12	425

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