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蝶式压力控制阀

阅读：1061发布：2021-02-25

IPRDB可以提供蝶式压力控制阀专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种蝶式压力控制阀，其适合于在真空区域内进行压力控制的情况，通过来自相同驱动源的动力发挥高密封性并且从微小流量到大流量准确地进行流量控制，发挥隔离功能而从大气压到低真空高速地进行压力控制，以简单的构造实现了小型化。本发明中，阀开闭机构(10)具有：阀芯(11)，其在与流路(4)垂直的方向上旋转；座环(12)，其能够在流路(4)方向上往复运动而与阀芯(11)接触分离；凸轮机构(13)，其用于使座环(12)从阀芯(11)分离且使阀芯(11)旋转；以及往复运动机构(14)，其用于使座环(12)在阀芯(11)方向上往复运动，该阀开闭机构(10)通过凸轮机构(13)使座环(12)分离并且使阀芯(11)无滑动地旋转，在使阀芯(11)旋转至闭阀状态时通过凸轮机构(13)、往复运动机构(14)使座环(12)与阀芯(11)接触分离，从而在流路(4)内进行压力控制，并且阀开闭机构(10)设置为能够由相同驱动源进行驱动。，下面是蝶式压力控制阀专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种蝶式压力控制阀，其特征在于，该蝶式压力控制阀具有阀开闭机构，该阀开闭机构包括：阀芯，其能够在相对于阀体内的流路垂直的方向上旋转；座环，其能够在所述流路的方向上往复运动而使阀座密封部与所述阀芯接触分离；凸轮机构，其用于使该座环从所述阀芯分离且使所述阀芯旋转；以及往复运动机构，其用于使所述座环在所述阀芯方向上往复运动，该阀开闭机构是如下的开闭机构：在通过所述凸轮机构使所述座环从所述阀芯分离了的状态下使该阀芯无滑动地旋转，在所述阀芯旋转到闭阀状态时通过所述凸轮机构和所述往复运动机构使所述座环与所述阀芯接触分离，从而控制所述流路内的压力；将该阀开闭机构设置为能够由相同驱动源进行驱动。

2.根据权利要求1所述的蝶式压力控制阀，其特征在于，

所述驱动源是马达，与该马达的输出轴同轴地将所述凸轮机构的凸轮构件安装于所述阀体的外侧，在该凸轮构件设有：凸轮面，其用于使所述往复运动机构动作而使所述座环往复运动；以及凸轮槽，其用于使齿轮齿条机构动作，该齿轮齿条机构用于使所述阀芯旋转。

3.根据权利要求1或2所述的蝶式压力控制阀，其特征在于，

往复运动机构是如下的机构，其具有：连接棒，其固定于所述座环；弹簧，其在所述阀芯方向上对所述座环施力；以及2个四分之一圆状的杆，其设于所述阀体的外周侧，通过与所述凸轮面抵接的辊而以向所述流路的垂线为中心旋转；所述各杆伴随着所述凸轮构件的旋转而旋转，从而经由所述连接棒使所述座环往复运动。

4.根据权利要求2或3所述的蝶式压力控制阀，其特征在于，

将齿轮齿条机构设于所述凸轮机构的下部，该齿轮齿条机构是如下的机构，其具有相对于所述阀体滑动自如的滑动构件，设于该滑动构件的上表面侧的销与所述凸轮槽卡合，且设于中央附近的齿条与设于阀杆的小齿轮啮合，通过所述凸轮构件的旋转，所述滑动构件经由所述销和凸轮槽进行滑动，通过该滑动使所述阀芯经由所述齿条和小齿轮旋转。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的蝶式压力控制阀，其特征在于，

将所述凸轮面设于所述凸轮构件的外周面，将所述凸轮槽设于所述凸轮构件的内侧，该凸轮面和凸轮槽形成于所述凸轮构件中的如下位置：所述座环和阀芯连续地动作，且相互的动作不干扰。

说明书全文

蝶式压力控制阀

技术领域

[0001] 本发明涉及一种具有隔离功能的蝶式压力控制阀，该蝶式压力控制阀在例如半导体制造工序中，能够确保高密封性，并且从微小流量到大流量准确地进行控制，并从大气压到低真空高速地进行压力控制。

背景技术

[0002] 以往，有时在例如半导体制造工序中的作为真空容器的真空腔和真空泵之间设有具有隔离功能的压力控制阀。真空用隔离阀用于从真空腔排气或者停止排气而使真空腔内接近规定的真空压力，在利用该真空用隔离阀进行压力控制的情况下，要求在闭阀时确保高密封性，在调整流量时从微小流量到大流量准确地进行控制，即使从大气压到低真空进行压力变化的情况下也抑制阀开度的急剧的变化而防止紊流并防止颗粒的飞散，并且高精度且高速地进行压力控制。

[0003] 作为在半导体制造工序中使用的真空用隔离阀，从构造能够简化、占用面积性的优越性等方面来看，使用蝶式的压力控制阀较有利。作为这种真空用隔离阀，例如提出了专利文献1的蝶式压力控制阀。该压力控制阀具有阀开闭机构，该阀开闭机构包括：座环，其能够在流路的方向上往复运动而与阀芯接触分离；空气流路，其在使座环从阀芯分离的方向上供给空气；以及弹簧，其用于在阀芯方向上对座环施力。在该阀中，利用来自空气流路的空气供给和弹簧的作用力，使座环与阀芯接触分离，使阀芯旋转，从而高精度地进行流量控制。

[0004] 现有技术文献

[0005] 专利文献

[0006] 专利文献1：日本特开2010-60133号公报

发明内容

[0007] 发明要解决的课题

[0008] 然而，在专利文献1的蝶式压力控制阀中，安装于阀体侧的座环通过由电-气比例阀进行的空气驱动来进行动作，因此由该空气的压缩性带来的响应性存在极限。在半导体制造的排气系统中，有时要求更高速的真空压力控制，有时需要发挥超过空气驱动的响应性来高速地实施微小流量时的动作。

[0009] 在该压力控制式阀中，由于是通过利用空气驱动进行的座环的动作和利用马达驱动进行的阀芯的旋转的组合而进行控制，因此存在由于由这些空气驱动系统和机械驱动系统形成的构造导致内部复杂化而使得整体大型化的倾向。因此，期望能够以更简单的构造实现小型化。

[0010] 由于分成空气驱动系统和机械驱动系统，因此容易在由于某种原因向空气驱动系统进行的空气供给停止或者停电的情况下等动力源异常时发生错误动作。特别是，在空气供给停止了的情况下，即使阀芯不在闭位置也欲仅使座环强制地返回闭位置，从而有可能成为错误动作的原因。在这样的异常时，期望的是能够紧急并安全地停止。

[0011] 本发明是鉴于上述的课题点进行专心研究而开发完成的，其目的在于提供一种蝶式压力控制阀，其是适合于在真空区域内进行压力控制的情况的蝶式压力控制阀，其中，通过来自相同驱动源的动力，能够发挥高密封性，并且从微小流量到大流量准确地进行流量控制，能够发挥隔离功能而从大气压到低真空确保安全地进行高速的压力控制，并且以简单的构造实现了小型化。

[0012] 用于解决课题的手段

[0013] 为了达到上述目的，技术方案1的发明是一种蝶式压力控制阀，该蝶式压力控制阀具有阀开闭机构，该阀开闭机构包括：阀芯，其能够在相对于阀体内的流路垂直的方向上旋转；座环，其能够在流路的方向上往复运动而使阀座密封部与阀芯接触分离；凸轮机构，其用于使该座环从阀芯分离且使阀芯旋转；以及往复运动机构，其用于使座环在阀芯方向上往复运动，该阀开闭机构是如下的开闭机构：在通过凸轮机构使座环从阀芯分离了的状态下使该阀芯无滑动地旋转，在阀芯旋转到闭阀状态时通过凸轮机构和往复运动机构使座环与阀芯接触分离，从而控制流路内的压力；将该阀开闭机构设置为能够由相同驱动源进行驱动。

[0014] 技术方案2的发明是一种蝶式压力控制阀，其中，驱动源是马达，与该马达的输出轴同轴地将凸轮机构的凸轮构件安装于阀体的外侧，在该凸轮构件设有：凸轮面，其用于使往复运动机构动作而使座环往复运动；以及凸轮槽，其用于使齿轮齿条机构动作，该齿轮齿条机构用于使阀芯旋转。

[0015] 技术方案3的发明是一种蝶式压力控制阀，其中，往复运动机构是如下的机构，其具有：连接棒，其固定于座环；弹簧，其在阀芯方向上对座环施力；以及2个四分之一圆状的杆，其设于阀体的外周侧，通过与凸轮面抵接的辊而以向流路的垂线为中心旋转；各杆伴随着凸轮构件的旋转而旋转，从而经由连接棒使座环往复运动。

[0016] 技术方案4的发明是一种蝶式压力控制阀，其中，将齿轮齿条机构设于凸轮机构的下部，该齿轮齿条机构是如下的机构，其具有相对于阀体滑动自如的滑动构件，设于该滑动构件的上表面侧的销与凸轮槽卡合，且设于中央附近的齿条与设于阀杆的小齿轮相啮合，通过凸轮构件的旋转，滑动构件经由销和凸轮槽进行滑动，通过该滑动使阀芯经由齿条和小齿轮旋转。

[0017] 技术方案5的发明是一种蝶式压力控制阀，其中，将凸轮面设于所述凸轮构件的外周面，将凸轮槽设于凸轮构件的内侧，该凸轮面和凸轮槽形成于凸轮构件中的如下位置：座环和阀芯连续地动作，且相互的动作不干扰。

[0018] 发明的效果

[0019] 根据技术方案1的发明，其特别是一种适合于在真空区域内进行压力控制的情况的蝶式压力控制阀，通过来自相同驱动源的动力，利用由凸轮机构、往复运动机构进行的机械动作，能够发挥高密封性，并且从微小流量到大流量连续地进行控制而准确地进行流量控制，并能够发挥隔离功能而从大气压到低真空高速地进行压力控制，特别是，能够通过提高在微小流量时的座环的响应性而进行高精度的流量控制。通过由相同驱动源驱动阀开闭机构，能够做成简单的构造而实现小型化，这在成本、占用面积的方面较有利。即使在发生停电等的情况下，座环与阀芯不会干扰就能够安全地停止，能够避免错误动作、故障的产生。

[0020] 根据技术方案2的发明，通过将凸轮构件设于阀体的外侧，该凸轮构件不会露出到流路侧，能够防止颗粒的产生、反应生成物的附着而对高纯度的流体进行流量控制。通过来自作为驱动源的马达的输出轴的旋转使凸轮构件旋转，经由该凸轮构件使往复运动机构动作而使座环往复运动，并使齿轮齿条机构动作而使阀芯旋转，从而能够由相同的马达经由1个凸轮构件进行由座环的动作进行的闭阀密封和在微小流量区域的压力控制，且能够进行由阀芯的旋转进行的在大流量区域的压力控制。

[0021] 根据技术方案3的发明，由于往复运动机构不会露出到流路侧，因此能够防止颗粒的产生、反应生成物的附着。在凸轮构件向开阀方向旋转时，通过该凸轮构件的旋转，经由辊通过杆使连接棒向按压方向旋转而使座环从阀芯分离，在凸轮构件向闭阀方向旋转时，能够在弹簧的弹性作用力的作用下使座环切实地返回至规定的位置，从而能够在发挥高密封性的同时维持闭阀状态。

[0022] 根据技术方案4的发明，能够通过齿轮齿条机构使凸轮构件的旋转减速并且传递到阀芯，并能够细微地控制阀芯的中间开度而准确地进行流量控制。由于不使齿轮齿条机构露出到流路内就能够小型化，因此能够减小设置空间。

[0023] 根据技术方案5的发明，能够使座环和阀芯连续地且不相干扰地动作，并且经由凸轮构件将来自驱动源的动力机械地传递到阀芯、座环，因此能够在从闭阀直到开阀状态进行高速且平稳的高精度的流量控制。

附图说明

[0024] 图1是表示本发明的蝶式压力控制阀的一实施方式的局部省略剖视图。

[0025] 图2是图1的局部剖切主视图。

[0026] 图3是图2的A－A放大剖视图。

[0027] 图4(a)是表示凸轮构件的俯视图。图4(b)是图4(a)的C－C剖视图。

[0028] 图5是图2的B－B放大剖视图。

[0029] 图6(a)是表示闭阀时的杆的状态的局部放大俯视图。图6(b)是表示座环的开状态下的杆的状态的局部放大俯视图。

[0030] 图7是表示闭阀时的状态的说明图。

[0031] 图8是表示座环的开状态的说明图。

[0032] 图9是表示开阀时的状态的说明图。

具体实施方式

[0033] 以下，基于附图对本发明的蝶式压力控制阀的优选实施方式详细地进行说明。图1、图2所示的本发明的蝶式压力控制阀，例如设于半导体制造工序的未图示的管路的真空腔与真空泵之间的真空排气侧，并具有阀主体1和执行机构2。

[0034] 在图1～图3中，在阀主体1的阀体3内形成有流路4，为了开闭该流路4而在阀主体1设有阀开闭机构10。阀开闭机构10包括阀芯11、座环12、凸轮机构13以及往复运动机构14。另外，在凸轮机构13与阀芯11之间设有齿轮齿条机构15。

[0035] 在阀开闭机构10中，阀芯11形成为大致圆板状，通过固定螺栓20安装于作为旋转轴的阀杆21，并能够通过该阀杆21在相对于流路4垂直的方向上旋转。在阀芯11的外周侧形成有安装槽22，在该安装槽22安装有O型密封圈23。O型密封圈23配置于与座环12的后述的阀座密封部25抵接的一侧，通过该O型密封圈23，阀座密封部25与阀芯11之间被密封。

[0036] 如图1所示，在阀杆21的上部附近安装有小齿轮26，该小齿轮26能够与阀杆21一体地旋转。在图3中，阀杆21设置为从阀芯11的中心Q向流路方向偏心。在阀杆21的上端侧设有轴承27，阀杆21被该轴承27轴支承而设置为能够与后述的凸轮构件30相对旋转。这样，阀杆21成为与作为驱动源的马达31的输出轴32断开的状态。

[0037] 在图3中，座环12具有：筒状部35，其具有阀座密封部25；以及凸缘状部36。筒状部35设成能够在阀体3内的流路4内滑动的外径，在该筒状部35的阀芯11侧设有阀座密封部25。阀座密封部25以能够供O型密封圈23抵接密封的方式形成于座环12的内周面侧，并形成为从内径侧向外径侧平缓地扩径的锥形状。虽未图示，但该锥形角度设定为防止旋转的阀芯11干扰，例如可以设定为10°～15°左右。阀座密封部25也可以是除锥形状之外的形状，例如也可以设为圆弧状。凸缘状部36设于阀座密封部25的相反侧，并形成为能够在形成于阀体3内的扩径状的引导部3a移动的外径。

[0038] 座环12将凸缘状部36引导到引导部3a地安装于流路4内，并通过设于引导部3a和凸缘状部36之间的间隙G在流路4方向上自如往复运动，从而阀座密封部25能够与阀芯11的O型密封圈23接触分离。在座环12与阀体3之间设有作为O型密封圈的密封环37，也能够利用该密封环37在座环12滑动时防止流体泄漏。

[0039] 图1、图2中的凸轮机构13具有使座环12从阀芯11分离且使该阀芯11旋转的功能，包括凸轮构件30和作为凸轮从动件的辊40。图4所示的凸轮构件30在阀体3的外侧同轴地安装于马达31的输出轴32，被输入来自马达31的旋转力而进行旋转。在凸轮构件30的外周侧设有凸轮面41，在凸轮构件30的内侧设有凸轮槽42。

[0040] 凸轮面41是为了将凸轮构件30的旋转运动变换为辊40向流路方向的往复运动并使座环12经由该辊40在往复运动机构14的动作的作用下进行往复运动而设置的。在图4中，在设凸轮构件30在旋转前(阀全闭状态)的与辊40的接触点为0°的情况下，凸轮面41中的圆弧45由变形正弦曲线形成，圆弧46由构成以点P为中心的正圆的一部分的曲线形成，该圆弧45是凸轮构件30绕顺时针从0°旋转至90°时的与辊40的接触点，该圆弧46是凸轮构件30绕顺时针从90°旋转至270°时的与辊40的接触点。

[0041] 凸轮槽42是为了将凸轮构件30的旋转运动传递到后述的销47而使齿轮齿条机构15动作而使阀芯11旋转而设置的。在图4中，凸轮槽42中的、凸轮面41的圆弧45与辊40抵接时(凸轮构件30从0°旋转至90°时)的供销47卡合的槽部(在图4(a)中，从270°到0°的范围的槽)48由将以点P为中心的正圆的一部分作为节圆的曲线状的槽形成，凸轮面41的圆弧46与辊40抵接时(凸轮构件30旋转90°以上时)的供销47卡合的槽部(在图4(a)中，从0°到180°以内的范围的槽)49由变形正弦曲线形成。

[0042] 如上所述，凸轮面41的圆弧45、46和凸轮槽42的槽部48、49错开地配置，凸轮面41与凸轮槽42形成于凸轮构件30中的如下位置：座环12和阀芯11连续地动作且相互的动作不干扰，因此在座环12、阀芯11中的一侧经由变形正弦曲线使旋转运动变换为直线运动时，在另一侧通过构成正圆的一部分的圆弧不会进行运动的变换。

[0043] 图3所示的往复运动机构14具有对座环12向阀芯11的方向施力的功能，并具有连接棒50、弹簧51以及杆52。连接棒50的一端侧通过螺栓53固定于座环12，另一端侧通过螺栓53固定于圆板状的板构件54，该板构件54向流路4方向的直线运动经由连接棒50传递到座环12而使座环12往复运动，从而该座环12与阀芯11接触分离。在板构件54的外周侧形成有卡定凹部55，在该卡定凹部55卡定有固定于杆52的卡定销56。

[0044] 弹簧51以弹性状态设置在形成于阀体3的凹状槽3b和板构件54之间，并相对于板构件54对座环12向阀芯11的方向弹性施力。通过该弹簧51，通常时板构件54在图3中向右方移动，从而座环12与闭阀状态的阀芯11紧贴密封。在本实施方式中，弹簧51在座环12的圆周方向上等间隔地安装有8个，但也可以适当增减该弹簧51的数量。

[0045] 在图1、图2中，2个杆52、52分别设为四分之一圆状，并经由轴承57通过轴支承部58将中央附近安装于阀体3的外周侧，从而2个杆52、52以向流路4的垂线L为中心旋转。如图6所示，在一方的杆52设有与凸轮构件30的凸轮面41抵接的辊40，在另一方的杆52安装有与辊40卡定的L字形的卡定片59。若凸轮构件30的位移量从辊40传递到一侧的杆52，则该杆52和卡定片59与辊40卡定了的杆52分别以轴支承部58为中心旋转，各杆52、52的顶端侧按行程S向按压板构件54的方向移动。此外，在图6中，为了表示2个杆52、52，绘制了不同方向的阴影线。

[0046] 而且，在任一方的杆52的上部均安装有板状的开关片60，在执行机构2设有通过该开关片60接通/断开的限位开关61。在杆52旋转时，通过开关片60接通限位开关61，能够确认座环12进行了开动作。

[0047] 上述的阀开闭机构10，在通过凸轮机构13使座环12从阀芯11分离了的状态下使该阀芯11无滑动地旋转，并在将阀芯11旋转为闭阀状态时通过凸轮机构13和往复运动机构14使座环12与阀芯11接触分离，从而控制流路4内的压力。该凸轮机构13和往复运动机构14设置为能够通过由马达31构成的相同驱动源进行驱动。

[0048] 在图1中，齿轮齿条机构15设于凸轮机构13的下部，并由滑动构件70和设于阀杆21的前述的小齿轮26构成。如图5所示，滑动构件70形成为矩形状，并设置为能够沿着并列设置于阀体3上部的轨道构件71相对于阀体3自如滑动。在滑动构件70的上表面侧一体地安装有销47，该销47与凸轮槽42卡合。在滑动构件70的中央附近设有长孔72，并以沿着该长孔72的方式一体地安装有齿条73，小齿轮26与该齿条73啮合。通过该结构，在凸轮构件30旋转时，销47沿着凸轮槽42移动，滑动构件70经由该销47和凸轮槽42滑动，通过该滑动，阀杆21经由与齿条73啮合的小齿轮26旋转，从而阀芯11开闭。

[0049] 图1、图2的执行机构2搭载于阀主体1，并能够将旋转从搭载于内部的马达31的输出轴32传递到凸轮构件30。马达31优选为例如步进马达，在该情况下，能够实现利用高精度的旋转控制进行的流量调节。

[0050] 上述的蝶式压力控制阀，通过具有锥形状的阀座密封部25的座环12在配管流动方向上往复动作而能够进行阀芯11的密封和在微小流量区域的压力控制，安装于与配管流动方向垂直的方向上的阀芯11通过旋转90°来进行开闭动作，从而能够进行在大流量区域的压力控制。

[0051] 接下来，说明本发明的蝶式压力控制阀的上述实施方式的动作。

[0052] 首先，在使阀从闭阀状态到开阀状态的情况下，在图7的阀主体1的闭阀状态下，若使马达31的输出轴32从图7(a)的状态向箭头的顺时针方向旋转，则通过该输出轴32的旋转使凸轮构件30一体地旋转。如图7(a)、图8(a)所示，在凸轮构件30从0°旋转到90°时，由于凸轮面41的圆弧45为变形正弦曲线，所以与凸轮构件30抵接的辊40随着凸轮构件30的半径的增加而从图7(b)的状态移动至图8(b)的状态，与该辊40一体的杆52和与辊40卡定的杆52分别以轴支承部58为中心进行旋转运动，并如图6(b)所示，各杆52、
52的顶端侧以行程S移动。此时，由于在弹簧51的作用力的作用下辊40被按压到凸轮构件30，因此杆52通过凸轮构件30的旋转而切实地工作，弹簧51伴随着该杆52的旋转而压缩。

[0053] 当杆52的顶端侧移动时，安装于其顶端侧的卡定销56经由卡定凹部55按压板构件54，如图8(c)所示，从该板构件54经由连接棒50使座环12直线运动，该座环12从阀芯11分离行程S的量。

[0054] 此时，凸轮槽42的槽部48为使以点P为中心的正圆的一部分为节圆的曲线状的槽，从而在凸轮构件30从0°旋转至90°时，该旋转不会传递到销47，由此滑动构件70不会滑动到超出图8的状态。

[0055] 在凸轮构件30从该状态旋转至如图9(a)所示的90°以上时，凸轮面41的圆弧46由构成以点P为中心的正圆的一部分的曲线形成，因此与凸轮构件30抵接的辊40不会从图8(b)的状态进一步移动，而如图9(c)所示保持座环12的规定的分离状态。

[0056] 另一方面，在凸轮槽42侧，槽部49是根据变形正弦曲线设置的，从而如图9(b)所示销47沿着该槽部49移动并且滑动构件70沿着轨道构件71通过直线运动来滑动，利用安装于滑动构件70的齿条73，小齿轮26向逆时针方向旋转运动而使阀杆21向开方向旋转，从而阀芯11成为开状态。在该情况下，将凸轮槽42的长度设定为，在销47到达了凸轮槽42的端部侧时阀芯11成为全开状态，因此如图9(c)所示，在凸轮构件30旋转到最大限度时阀芯11旋转90°而成为全开状态。

[0057] 接下来，在从开阀状态到闭阀状态的情况下，在图9的开阀状态下，使马达31的输出轴32向逆时针方向旋转。若通过该输出轴32的旋转，凸轮构件30向逆时针方向旋转至图8(a)的状态，则在图8(c)中，滑动构件70以与开阀动作相反的动作滑动，阀芯11经由齿条73和小齿轮26旋转至闭状态位置。此时，座环12利用凸轮面41的圆弧46的形状保持为从阀芯11分离了的状态。

[0058] 而且，在凸轮构件30旋转至图7(a)的状态的情况下，利用在阀体3和板构件54之间被压缩的弹簧51的弹性作用力，辊40追随凸轮构件30的半径的减小而移动，板构件54从图8(b)的状态移动至图7(b)的状态，杆52向开阀动作的相反方向旋转，经由连接棒50固定于该杆52的座环12直线运动至图7(c)的状态，阀座密封部25与阀芯11抵接而成为闭阀状态。在该闭阀状态下，由于阀座密封部被弹簧51强力地按压到阀芯11，因此发挥高密封性。

[0059] 如上所述，本发明的蝶式压力控制阀经由阀开闭机构10的凸轮机构13、往复运动机构14、齿轮齿条机构15来控制座环12的位置且控制阀芯11的旋转而进行流量控制，从而在阀开闭时的整个区域提高响应性，特别是，通过凸轮机构13使座环12进行往复动作而能够控制微小流量，从而能够高精度地进行压力控制。

[0060] 由作为相同驱动源的马达31驱动阀开闭机构10，从而能够简化阀主体1、执行机构2的内部构造而实现整体的小型化。

[0061] 在执行机构主体1动作过程中，在由于停电等而使来自马达31的旋转力停止了的情况下凸轮构件30也停止旋转，座环12和阀芯11经由该凸轮构件30分别在中途位置停止，因此座环12和阀芯11不会相互接触，能够在马达31的旋转再次开始时从动作的中途平稳地再次开始动作。

[0062] 而且，通过不露出到流路4内地设置凸轮机构13、往复运动机构14以及齿轮齿条机构15，即使在使用于半导体制造装置的情况下也不易产生由于反应生成物等的附着而导致的工作故障，检修、维护也变得容易。

[0063] 附图标记说明

[0064] 1、阀主体

[0065] 3、阀体

[0066] 4、流路

[0067] 10、阀开闭机构

[0068] 11、阀芯

[0069] 12、座环

[0070] 13、凸轮机构

[0071] 14、往复运动机构

[0072] 15、齿轮齿条机构

[0073] 21、阀杆

[0074] 25、阀座密封部

[0075] 26、小齿轮

[0076] 30、凸轮构件

[0077] 31、马达(驱动源)

[0078] 40、辊

[0079] 41、凸轮面

[0080] 42、凸轮槽

[0081] 47、销

[0082] 50、连接棒

[0083] 51、弹簧

[0084] 52、杆

[0085] 70、滑动构件

[0086] 73、齿条

[0087] L、垂线。

标题	发布/更新时间	阅读量
一种减压控制阀阀体-专利编号CN102563165A	2020-05-12	889
电动控制阀装配工装-专利编号CN110788618A	2020-05-13	377
控制阀-专利编号CN106979356A	2020-05-11	158
使用寿命长的控制阀-专利编号CN106286853A	2020-05-13	101
新型降速控制阀-专利编号CN103375616A	2020-05-11	581
一种控制阀阀座-专利编号CN102537511A	2020-05-11	77
组合式多通道控制阀-专利编号CN109442066A	2020-05-13	184
直通式控制阀-专利编号CN106286957B	2020-05-11	202
直通式控制阀-专利编号CN106286957A	2020-05-12	483
控制阀-专利编号CN204922019U	2020-05-12	426

蝶式压力控制阀

蝶式压力控制阀

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