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一种流量控制器与输出信号端的连接方式

阅读：1031发布：2021-01-28

IPRDB可以提供一种流量控制器与输出信号端的连接方式专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种流量控制器与输出信号端的连接方式，所述流量控制器包括若干第一信号线，所述输出信号端包括若干与第一信号线连接的第二信号线，所述第一信号线与第二信号线之间没有任何中间连接接头，所述第一信号线与第二信号线相互焊接在一起。本实用新型没有借助任何中间连接接头来达成第一信号线与第二信号线的连接，而是直接将第一信号线与第二信号线焊接在一起，如此设置，避免出现频繁牵动第一信号线与第二信号线而造成线头松动甚至断落的现象，保证了第一信号线与第二信号线之间传输信号的稳定性。，下面是一种流量控制器与输出信号端的连接方式专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种流量控制器与输出信号端的连接方式，所述流量控制器包括若干第一信号线，所述输出信号端包括若干与第一信号线连接的第二信号线，其特征在于：所述第一信号线与第二信号线之间没有任何中间连接接头，所述第一信号线与第二信号线相互焊接在一起。

2.根据权利要求1所述的流量控制器与输出信号端的连接方式，其特征在于：所述第一信号线与第二信号线之间焊接点的外部设有保护结构。

3.根据权利要求2所述的流量控制器与输出信号端的连接方式，其特征在于：所述保护结构为绕在焊接点周围的胶带。

4.根据权利要求2所述的流量控制器与输出信号端的连接方式，其特征在于：所述保护结构包括公结构及母结构，所述公结构及母结构均为中空结构且通过卡扣结构连接固定。

5.根据权利要求4所述的流量控制器与输出信号端的连接方式，其特征在于：所述公结构一端设有穿越第一信号线的第一通孔，所述公结构另一端设有卡扣部，所述母结构一端设有穿越第二信号线的第二通孔，所述母结构另一端设有与所述公结构的卡扣部卡持的卡扣槽，所述焊接点封闭在公结构及母结构中。

说明书全文

一种流量控制器与输出信号端的连接方式

技术领域

[0001] 本实用新型涉及半导体技术领域，特别是信号线接头的连接方式。

背景技术

[0002] 在半导体工业的制程设备里，几乎所有的设备都需要各程度不等的流体来维持机器的操作与制程的进行；所以在流体的控制方面，不只是某些制程的重要参数之一，更是跟机器设备是否能正常运作有着密切的关系。而控制流体最直接且最方便的方法就是测量它的流量。然而，各种半导体设备所需要的流体均不完全相同，但彼此又不兼容；所以在半导体工业里用来测量并控制流体流量的仪器的使用量非常的大，流量控制器就是其中一种。

[0003] 流量控制器(Flow Controller)是一种流量计与控制阀组的精密机电组合。它与一般流量计最大的差别在于它是利用热感温差、非接触的方式测量流体的质量流速，不同于一般测量体积流速的方法，所以能够避免环境压力与流体体积的影响，非常适合用在动态的流体流量控制上。

[0004] 现有技术中的一种用以控制研磨液流动的流量控制器，该流量控制器的接头通过一个中间连接接头与输出信号端的接头连接，所述流量控制器与输出信号端上的接头线分别连接在中间连接接头上，然后达成彼此间信号的传输，此种流量控制器与输出信号端的连接方式，在机台维修时，如果频繁牵动流量控制器或输出信号端的接头，容易出现接头线松动的现象，甚至造成接头处断落，进而出现信号接触不良，甚至信号传输中断的现象，而半导体应用中的研磨液的流动是由0-10V电压控制的，若是信号线接触不良乃至中断，会对需要高精度电压控制的研磨液流量造成很大的不稳定性波动。

[0005] 因此，针对上述技术问题，有必要提供一种新的流量控制器与输出信号端的连接方式，以克服上述缺陷。实用新型内容

[0006] 有鉴于此，本实用新型提供一种流量控制器与输出信号端的连接方式，该连接方式没有借助任何中间连接接头来达成流量控制器与输出信号端的连接线头的连接，而是直接将流量控制器与输出信号端的连接线头焊接在一起，保证了流量控制器与输出信号端之间传输信号的稳定性。

[0007] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

[0008] 一种流量控制器与输出信号端的连接方式，所述流量控制器包括若干第一信号线，所述输出信号端包括若干与第一信号线连接的第二信号线，所述第一信号线与第二信号线之间没有任何中间连接接头，所述第一信号线与第二信号线相互焊接在一起。

[0009] 优选的，在上述流量控制器与输出信号端的连接方式中，所述第一信号线与第二信号线之间焊接点的外部设有保护结构。

[0010] 优选的，在上述流量控制器与输出信号端的连接方式中，所述保护结构为绕在焊接点周围的胶带。

[0011] 优选的，在上述流量控制器与输出信号端的连接方式中，所述保护结构包括公结构及母结构，所述公结构及母结构均为中空结构且通过卡扣结构连接固定。

[0012] 优选的，在上述流量控制器与输出信号端的连接方式中，所述公结构一端设有穿越第一信号线的第一通孔，所述公结构另一端设有卡扣部，所述母结构一端设有穿越第二信号线的第二通孔，所述母结构另一端设有与所述公结构的卡扣部卡持的卡扣槽，所述焊接点封闭在公结构及母结构中。

[0013] 从上述技术方案可以看出，本实用新型实施例没有借助任何中间连接接头来达成第一信号线与第二信号线的连接，而是直接将第一信号线与第二信号线焊接在一起，如此设置，避免出现频繁牵动第一信号线与第二信号线而造成线头松动甚至断落的现象，保证了第一信号线与第二信号线之间传输信号的稳定性。

附图说明

[0014] 为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本实用新型的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

[0015] 图1为现有技术中流量控制器与输出信号端的连接方式的示意图；

[0016] 图2为本实用新型流量控制器与输出信号端的连接方式的示意图。

具体实施方式

[0017] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0018] 在半导体工业的制程设备里，几乎所有的设备都需要各程度不等的流体来维持机器的操作与制程的进行；所以在流体的控制方面，不只是某些制程的重要参数之一，更是跟机器设备是否能正常运作有着密切的关系。而控制流体最直接且最方便的方法就是测量它的流量。然而，各种半导体设备所需要的流体均不完全相同，但彼此又不兼容；所以在半导体工业里用来测量并控制流体流量的仪器的使用量非常的大，流量控制器就是其中一种。

[0019] 流量控制器(Flow Controller)是一种流量计与控制阀组的精密机电组合。它与一般流量计最大的差别在于它是利用热感温差、非接触的方式测量流体的质量流速，不同于一般测量体积流速的方法，所以能够避免环境压力与流体体积的影响，非常适合用在动态的流体流量控制上。

[0020] 请参阅图1所示，现有技术中的一种用以控制研磨液流动的流量控制器，该流量控制器的接头通过一个中间连接接头与输出信号端的接头连接，所述流量控制器与输出信号端上的接头线分别连接在中间连接接头上，然后达成彼此间信号的传输，此种流量控制器与输出信号端的连接方式，在机台维修时，如果频繁牵动流量控制器或输出信号端的接头，容易出现接头线松动的现象，甚至造成接头处断落，进而出现信号接触不良，甚至信号传输中断的现象，而半导体应用中的研磨液的流动是由0-10V电压控制的，若是信号线接触不良乃至中断，会对需要高精度电压控制的研磨液流量造成很大的不稳定性波动。

[0021] 本实用新型公开了一种流量控制器与输出信号端的连接方式，该连接方式没有借助任何中间连接接头来达成流量控制器与输出信号端的连接线头的连接，而是直接将流量控制器与输出信号端的连接线头焊接在一起，使得流量控制器与输出信号端之间连接稳定，保证了流量控制器与输出信号端之间传输信号的稳定性。

[0022] 请参阅图2所示，所述流量控制器与输出信号端之间没有设置任何中间连接接头来达成流量控制器与输出信号端之间的连接。所述流量控制器包括若干第一信号线，所述输出信号端包括若干与第一信号线连接的第二信号线，所述第一信号线与第二信号线之间没有任何中间连接器。所述第一信号线与第二信号线相互焊接在一起。如此设置，区别于现有技术中借助中间连接接头来达成流量控制器与输出信号端之间连接的连接方式，采用直接将流量控制器与输出信号端的信号线接头连接的方式，即直接将第一信号线与第二信号线焊接在一起的方式，该种连接方式能避免出现频繁牵动第一信号线与第二信号线而造成线头松动甚至断落的现象，保证了第一信号线与第二信号线之间传输信号的稳定性。

[0023] 所述第一信号线与第二信号线之间焊接点的外部设有保护结构。在本实施方式中，所述保护结构为绕在焊接点周围的胶带。如此设置，将焊接点处进一步保护起来，防止第一信号线与第二信号线被不当扯开，保证焊接的稳定性，且胶带的成本低、保护可靠、操作简单方便。

[0024] 在本实用新型实施例中，所述保护结构直接采用胶带，当然在其他实施方式中，保护结构也可以是套在焊接点外部的一个起罩子作用的结构。所述保护结构包括公结构及母结构，所述公结构及母结构均为中空结构且通过卡扣结构连接固定。所述公结构一端设有穿越第一信号线的第一通孔，所述公结构另一端设有卡扣部，所述母结构一端设有穿越第二信号线的第二通孔，所述母结构另一端设有与卡扣部卡持的卡扣槽，实际组装时，先通过第一通孔将公结构套在第一信号线上，然后通过第二通孔将母结构套在第二信号线上，再将第一信号线与第二信号线焊接在一起，焊接好后将公结构与母结构借助卡扣部与卡扣槽卡持固定在一起，所述焊接点被封闭在公结构及母结构组成的收容空间内。如此设置，也能起到保护焊接点的作用，结构简单，操作方便，且美观大方。

[0025] 本实用新型区别于现有技术中借助中间连接接头来达成流量控制器与输出信号端之间连接的连接方式，采用直接将流量控制器与输出信号端的信号线接头连接的方式，即直接将第一信号线与第二信号线焊接在一起的方式，该种连接方式能避免出现频繁牵动第一信号线与第二信号线而造成线头松动甚至断落的现象，保证了第一信号线与第二信号线之间传输信号的稳定性。

[0026] 本实用新型采用胶带绕在焊接点周围，以此将焊接点处进一步保护起来，防止第一信号线与第二信号线被不当扯开，保证焊接的稳定性，且胶带的成本低、保护可靠、操作简单方便。

[0027] 本实用新型也可以采用卡扣配合的保护结构，该种保护结构利用公结构及母结构配合后形成的内部收容空间来收容焊接点，从而将焊接点保护起来，该种公母配合的结构，结构简单，操作方便，且美观大方。

[0028] 对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

标题	发布/更新时间	阅读量
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输出信号调节系统-专利编号CN101964649A	2020-05-11	541
输出信号生成装置-专利编号CN101346875A	2020-05-11	873
输出信号生成电路-专利编号CN107765759A	2020-05-12	329

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